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61. 发明公开

KR1020120123205A 랩온어칩에 장착되는 마이크로밸브 소자의 제작방법 및 이로부터 제작되는 마이크로밸브 소자 有权
标题翻译：用于制造安装在芯片实验室上的微型阀元件的方法，以及由此产生的微型阀元件
公开(公告)号：KR1020120123205A
公开(公告)日：2012-11-08
申请号：KR1020120038887
申请日：2012-04-16
申请人： 주식회사 바이오포커스 , 손문탁
发明人： 손문탁
IPC分类号： G01N33/48 , G01N35/00 , B81B7/00 , B81C1/00
摘要： PURPOSE: A method for manufacturing a microvalve of a lab-on-a-chip is provided to enable injection molding and to easily and reliably implement a hard substrate/film/hard substrate structure. CONSTITUTION: A method for manufacturing a microvalve of a lab-on-a-chip comprises: a step of injection molding of a gas circuit substrate with a fluid circuit substrate and a through-hole using a hard polymer material; a step of inserting a polyvinylidene chloride film between the fluid circuit substrate and gas circuit substrate; a step of applying vacuum to the through-hole of the gas circuit substrate; and a step of performing hot pressure welding of a laminate including fluid circuit substrate, polyvinylidene chloride film, and gas circuit substrate at 4-30 of atmospheric pressure and 80-120 Deg. C.
摘要翻译：目的：提供一种用于制造芯片实验室的微型阀的方法，以实现注射成型，并且容易且可靠地实现硬质基底/薄膜/硬质基底结构。构成：一种用于制造芯片实验室的微型阀的方法，包括：使用硬质聚合物材料注入具有流体回路衬底的气体回路衬底和通孔的步骤; 在所述流体回路基板和所述气体回路基板之间插入聚偏二氯乙烯膜的工序; 对气体回路基板的贯通孔施加真空的工序; 以及在大气压4-30和80-120度下进行包括流体回路基板，聚偏二氯乙烯膜和气体回路基板的层叠体的热压焊接的步骤。 C。

62. 发明授权

KR101179411B1 생화학적 분석을 위한 점적 조작용 장치, 상기 장치의 제조방법 및 마이크로 흐름 분석용 시스템 失效
标题翻译：用于处理生物化学分析的装置的装置，用于生产装置的方法和用于微流感分析的系统
公开(公告)号：KR101179411B1
公开(公告)日：2012-09-07
申请号：KR1020067025513
申请日：2005-06-06
申请人： 위니베르시떼 데 시앙스 에 테크놀로지 드 릴레 , 상뜨르 나쇼날 드 라 러쉐르쉬 샹띠피끄
发明人： 장-크리스토퍼포우리어 , 프랑쇼이즈카롱 , 피에르타보리에 , 크리스챤드루온
IPC分类号： B81B7/00 , B81C1/00 , B01F13/00 , B01L99/00
CPC分类号： B01L3/502792 , B01L3/502707 , B01L3/502746 , B01L2300/0887 , B01L2300/165 , B01L2400/0427 , B01L2400/088 , F04B19/006 , F05C2225/04
摘要： 본 발명은 본 적어도 하나의 전치 트랙을 포함하여 전기습윤에 의한 점적을 조작하는 장치에 관한 것이다. 상기 트랙은 두 개 이상의 서로 끼워진 전도 전극의 표면에 있는 전기적으로 절연 기판을 포함한다. 상기 전극은 절연 유전체 층으로 커버되고, 그 자체는 부분적 침지 층으로 커버된다. 본 발명은 또한 기판 상에 광민감성 물질을 증착하고, 그런 다음 포토리쏘그라피하고, 그리고 광민감성의 노광함에 의해 광민감성 물질에 마스크를 부여하는 단계, 상기 마스크 상에 젖지 않는 물질을 증착하는 단계, 용해 전에 적어도 하나의 어닐링 단계, 상기 마스크의 용해 단계, 용해 후에 적어도 하나의 어닐링 단계를 포함하는 상기 장치의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 또한 적어도 하나의 액체 샘플을 조제하는 수단, 상기 조제 수단에 연결되는 점적 조작 장치, 상기 점적 조작 장치에 연결된 적어도 하나의 분석 수단을 포함하는 액체 샘플의 마이크로유체의 분석 시스템에 관한 것이다.

63. 发明公开

KR1020120068850A 캡슐화된 미세기계 구성 요소 제조 방법, 상응하는 미세기계 구성 요소 및 미세기계 구성 요소용 캡슐 无效
标题翻译：包装微生物组分的生产方法，相应的微生物组分和微生物组分的包封
公开(公告)号：KR1020120068850A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：KR1020127005655
申请日：2010-08-02
申请人： 로베르트 보쉬 게엠베하
发明人： 핀터슈테판
IPC分类号： B81C1/00 , B81B7/00 , B81B1/00
CPC分类号： B81C1/00333 , B81C2201/019 , B81C2203/0118
摘要： 본 발명은 캡슐화된 미세기계 구성 요소 제조 방법과, 상응하는 미세기계 구성 요소 및, 미세기계 구성 요소용 캡슐에 관한 것이다. 상기 방법은, 복수의 구멍들(K; K')을 갖는 중간 기판(1, 1', 1"; 2, 2')을 형성하는 단계와, 전방면(VS; VS')의 구멍들(K; K")을 폐쇄하는 캡슐 기판(KD; KD')을 중간 기판(1, 1', 1"; 2, 2')의 전방면(VS; VS') 상에 적층하는 단계와, 중간 기판(1, 1', 1"; 2, 2')의 후방면(RS; RS') 상에 MEMS 기능 웨이퍼(3; 3')를 적층하는 단계를 포함하며, 이 경우 MEMS 기능 웨이퍼(3; 3')는 MEMS 기능 웨이퍼(3; 3')의 상응하는 기능 영역들(FB; FB') 상에 구멍들(K; K')이 각각의 공동부를 형성하도록 중간 기판(1, 1', 1"; 2, 2')에 대해 정렬된다.

64. 发明公开

KR1020120058138A 마이크로 히터 및 마이크로 히터 어레이 无效
标题翻译：微加热器和微加热器阵列
公开(公告)号：KR1020120058138A
公开(公告)日：2012-06-07
申请号：KR1020100119787
申请日：2010-11-29
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 최준희 , 이주호 , 송미정
IPC分类号： B81B7/00 , H05B3/20
CPC分类号： H05B3/265 , H05B2203/012 , H05B2214/04
摘要： PURPOSE: A micro heater and micro heater array are provided to obtain a micro heater having a uniform temperature distribution overall a supporting unit and bridge and to provide a micro heater array comprising the micro heater having the uniform temperature distribution overall. CONSTITUTION: A micro heater comprises a substrate(10), a supporting unit(11), and a bridge(12). The supporting unit is formed on the substrate. The supporting unit supports the bridge so that the bridge is spaced from the supporting unit and a width of the bridge is changed. A width of a portion where the bridge contacts to the supporting unit is narrower than widths of other portions of the bridge. The supporting unit is formed into a silicon oxide and a silicon nitride or an insulating metal oxide.
摘要翻译：目的：提供微加热器和微加热器阵列以获得总体上具有均匀的温度分布的支撑单元和桥接器的微加热器，并且提供包括总体上具有均匀温度分布的微加热器的微加热器阵列。构成：微加热器包括基底（10），支撑单元（11）和桥（12）。支撑单元形成在基板上。支撑单元支撑桥，使得桥与支撑单元间隔开，桥的宽度改变。桥接触支撑单元的部分的宽度比桥的其它部分的宽度窄。支撑单元形成为氧化硅和氮化硅或绝缘金属氧化物。

65. 发明授权

KR101120205B1 상이한 내부 압력 및/또는 상이한 가스 조성을 갖는 두 개 이상의 공동부를 포함하는 마이크로 공학적인 하우징 그리고 이 하우징을 제조하기 위한 방법 有权
标题翻译：包含具有不同内部压力和/或不同气体组成的至少两个腔室的微生物壳体及其生产方法
公开(公告)号：KR101120205B1
公开(公告)日：2012-03-19
申请号：KR1020087027274
申请日：2007-04-04
申请人： 프라운호퍼-게젤샤프트 츄어 푀르더룽 데어 안게반텐 포르슝에.파우.
发明人： 메르츠,페터 , 라이네르트,볼프강 , 올드센,마르텐 , 슈바르첼바흐,올리버
IPC分类号： B81B7/00 , B81C1/00
CPC分类号： B81B7/0038 , B81B7/02 , B81C1/00285
摘要： 본 발명은 활성 구조물을 포함하는 컴포넌트의 형성하에 추후 분리 공정을 실행하기 위해 제공된 다중-컴포넌트, 그리고 마이크로 시스템 기술에 사용할 수 있는 상응하는 컴포넌트에 관한 것이며, 이 경우 다중-컴포넌트 또는 컴포넌트는 편평한 기판 및 마찬가지로 편평한 캡 구조물을 구비하며, 이 기판 및 캡 구조물은 서로 연결되어 전술한 컴포넌트마다 제공된 하나 이상의 제 1 공동부 및 제 2 공동부를 둘러싸고, 상기 공동부들은 상호 그리고 외부 환경에 대하여 밀봉되어 있다. 본 발명은 상기 두 개의 공동부 중에 제 1 공동부에 게터 물질이 제공되고, 제 1 공동부가 게터 물질 때문에 제 2 공동부와 다른 내부 압력 및/또는 다른 가스 조성을 갖는 것을 특징으로 한다. 본 발명은 또한 전술한 유형의 컴포넌트 또는 부품을 제조하기 위한 방법과도 관련이 있으며, 이 방법을 위해서는 다양한 가스 종류로 이루어진 가스 혼합물이 사용되고, 이 다양한 가스 종류들은 게터 물질에 대하여 상이한 흡수율을 갖는다.

66. 发明公开

KR1020120025020A 마이크로 믹서 및 이의 제조 방법 有权
标题翻译：微混合器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020120025020A
公开(公告)日：2012-03-15
申请号：KR1020100074013
申请日：2010-07-30
申请人： 광주과학기술원
发明人： 양성 , 이동희 , 최종찬
IPC分类号： B01F5/00 , B01F3/08 , B81B7/00
摘要： PURPOSE: A micro mixer and a manufacturing method thereof are provided to remarkably enhance the mixing performance of a micro mixer by inducing mixing, increasing interfaces between fluids in geometric series. CONSTITUTION: A micro mixer comprises a first injecting port(11), a second injecting port(21), an inlet(12), an outlet(17), and mixing units(16). Different fluids are respectively injected into the first and second injecting ports. Each fluid injected into the first and second injecting ports joins at the inlet. The fluids injected are mixed and sent at the outlet. One or more of the mixing units are arranged between the inlet and the outlet in a series. The mixing unit comprises a main flow path, a branch flow path, and an auxiliary flow path. The main flow path is extended from the inlet. The branch flow path is branched and stopped from the main flow path.
摘要翻译：目的：提供微型混合器及其制造方法，以通过诱导混合显着增强微混合器的混合性能，增加几何系列中流体之间的界面。构成：微型混合器包括第一注入口（11），第二注入口（21），入口（12），出口（17）和混合单元（16）。不同的流体分别注入到第一和第二注入口中。注入第一和第二注入口的每个流体在入口连接。注入的流体混合并在出口处送出。一个或多个混合单元以串联方式布置在入口和出口之间。混合单元包括主流路，分支流路和辅助流路。主流路从入口延伸。分支流路从主流路分支并停止。

67. 发明授权

KR101103627B1 미세유체소자 및 그 제조방법 有权
标题翻译： MINUTENESS流体元件及其制造方法
公开(公告)号：KR101103627B1
公开(公告)日：2012-01-09
申请号：KR1020090091550
申请日：2009-09-28
申请人： 광주과학기술원
发明人： 이종현 , 문병필
IPC分类号： B81B7/00 , G01N35/00 , G01N37/00
摘要： 본 발명은 미세유체의 유동 효율 및 유동 제어 효율 향상을 위해 구조가 개선된 미세유체소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 미세유체소자는 기판과, 기판 상에 적층되며 유체가 수용되는 적어도 한 쌍의 챔버 및 한 쌍의 챔버 사이에 연결되고 한 쌍의 챔버 중 어느 하나에 수용된 유체를 다른 하나로 안내하는 유동채널이 형성된 제1레이어(layer)와, 제1레이어 상에 적층되며 유동채널과 십자 형상을 이루며 배치 형성되고 외부로부터의 가압력에 기초하여 유동채널을 가압 및 가압 해제하는 제어채널을 갖는 제2레이어(layer)를 포함하며, 유동채널은 제어채널에 의해 가압 및 가압 해제되는 유동채널의 중심을 기준으로 각각 상이한 단면적을 갖는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 미세유체가 유동되는 제1유동채널부 및 제2유동채널부가 상이한 단면적을 갖도록 형성하고 단일의 제어채널로 미세유체 유동 흐름을 제어할 수 있으므로, 미세유체소자의 유동 효율을 향상시킬 수 있다.
미세유체, 챔버, 레이어(layer), 유동채널, 제어채널

68. 发明公开

KR1020110131570A 마이크로 열-동특성 복합시험장치 有权
标题翻译：用于测量微尺度测试片的热动力特征的多个测试仪
公开(公告)号：KR1020110131570A
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：KR1020100051072
申请日：2010-05-31
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 이혜진 , 이낙규 , 이근안 , 송정한
IPC分类号： G01N3/18 , G01N3/02 , B81B7/00 , G01M99/00
CPC分类号： G01N3/18 , B81B7/00 , G01M99/002 , G01N3/02 , G01N2203/0032 , G01N2203/0202
摘要： PURPOSE: A multi tester for measuring the thermal-dynamic feature of a micro test piece is provided to ensure alignment and prevent slip by horizontally fixing and measuring a test piece. CONSTITUTION: A multi tester for measuring the thermal-dynamic feature of a micro test piece comprises a plurality of test-piece holding units(10), an external-force applying unit(30), an environment forming unit(20), and a plurality of paths. The test-piece holding units fix and align the ends of the external-force applying direction of test pieces. The external-force applying unit is connected to at least one of the test-piece holding units and applies external force. The environment forming unit protects the test pieces to make a plurality of media atmospheres to isolate the test pieces from air.
摘要翻译：目的：提供用于测量微型测试件的热动力特性的多重测试仪，以确保对准，并通过水平固定和测量测试件来防止滑动。构成：用于测量微测试件的热动力学特征的多测试器包括多个试件保持单元（10），外力施加单元（30），环境形成单元（20）和多条路径。试件保持单元固定并对准试件的外力施加方向的端部。外力施加单元连接到至少一个试件保持单元并施加外力。环境形成单元保护测试件以形成多个介质气氛以将测试件与空气隔离。

69. 发明授权

KR101074993B1 ＭＥＭＳ구동기를 이용한 수직형 마이크로 구동기의 조립장치, 이를 구비한 수직형 마이크로 구동기 및 그 제조방법 有权
标题翻译：使用MEMS致动器的静电垂直微型致动器的组装装置，具有该致动器的静电垂直微型致动器及其制造方法
公开(公告)号：KR101074993B1
公开(公告)日：2011-10-18
申请号：KR1020090015659
申请日：2009-02-25
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김종백 , 은영기
IPC分类号： B81B7/00 , B81C1/00 , B81C99/00
摘要： 본발명은 MEMS구동기를이용한수직형마이크로구동기의조립장치, 이를구비한수직형마이크로구동기및 그제조방법에관한것으로, MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)구동기(210); 마이크로구동기의토션바(torsion bar)(140)의수직방향일측부에편중되게연결되는토션바연결빔(240); 및상기 MEMS구동기(210)에연결형성되는구동기연결부(221)와, 상기토션바연결빔(240)에연결형성되고조립에의해상기구동기연결부(221)와체결되는빔연결부(222)가구비되며, 상기 MEMS구동기(210)의작동에의해결정되는상기구동기연결부(221)와빔연결부(222)간의상대위치에따라상기토션바연결빔(240)을당기거나밀어내며상기토션바(140)의각도를조정하게되는조립연결장치(220);를포함하여구성되는것을기술적요지로하여, 마이크로가공공정을거쳐소자를제작한후 간단한조립에의해제작, 완성가능하여, 복잡하고번거로운화학적, 열적처리공정을추가로거치지않고, 보다간단하게제작가능하여높은제작수율을기대할수 있는 MEMS구동기를이용한수직형마이크로구동기의조립장치, 이를구비한수직형마이크로구동기및 그제조방법에관한것이다.

70. 发明授权

KR101068844B1 이중 고폭비를 갖는 마이크로 구조물의 제조장치 有权
标题翻译：具有双重长宽比的微结构制造装置
公开(公告)号：KR101068844B1
公开(公告)日：2011-09-29
申请号：KR1020090000648
申请日：2009-01-06
申请人： 국방과학연구소
发明人： 권태헌 , 이현섭 , 조치영 , 조요한
IPC分类号： B81B7/00 , B81C1/00 , B29C33/00
摘要： 본 발명은 각종 센서에 사용되는 높은 고폭비를 갖는 모사(毛絲)형태의 감응소자 등에 사용할 수 있도록 높은 고폭비를 갖는 부분과 낮은 고폭비를 갖는 부분이 일체로 형성된 단일형상의 마이크로 구조물을 제조하기 위한 이중 고폭비를 갖는 마이크로 구조물의 제조장치에 관한 것으로서,
진공환경하에서 몰드의 요철형상을 소재에 전사(轉寫)하여 마이크로미터(㎛) 내지 나노미터(nm) 단위의 미세구조물을 성형하는 마이크로 구조물 제조장치에 있어서,
프레임(1)에 고정 설치되는 프레스다이(press die, 4)와; 프레임에 승강 가능하게 설치되어 프레스다이의 상측에서 상하로 왕복 이동하는 몰드이송부(2)와; 프레스다이 및 몰드이송부에 내장된 가열 및 냉각유닛(8)과; 프레스다이에 장착되고 그 표면에 고폭비(aspect ratio)가 작은 원반형상의 오목형상부를 갖는 고정측 몰드(6)와; 몰드이송부에 장착되고 그 표면에 고폭비가 큰 기둥형상의 오목형상부를 갖는 가동측 몰드(5);를 포함하고, 몰드이송부에 의해 가동측 몰드가 상기 고정측 몰드와 접촉될 때 고정측 몰드의 오목형상부와 가동측 몰드의 오목형상부의 결합에 의해 주위로부터 폐쇄되는 하나의 공동(空洞, 9)을 형성하여, 고폭비가 작은 부분과 고폭비가 큰 부분이 일체로 이루어진 단일 형상의 마이크로 구조물을 형성하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 각 몰드의 접촉면끼리의 맞닿음과 이에 의한 칼날작용에 의해 마이크로미터(㎛) 내지 나노미터(nm) 단위크기의 단일형상 마이크로 구조물을 얻을 수 있다.
마이크로 구조물, 핫엠보스, 몰드 시스템, 핫프레스, 감응소자, 지지구조물, 센서, 고폭비

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