专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

41. 发明公开

KR1020060017557A 다공성 연마지 및 그 제조방법 有权
标题翻译：多孔抛光纸及其制备方法
公开(公告)号：KR1020060017557A
公开(公告)日：2006-02-23
申请号：KR1020060012110
申请日：2006-02-08
申请人： 엠.씨.케이 (주)
发明人： 문덕주 , 이하용 , 전윤진
IPC分类号： B24D3/18 , B24D11/00
CPC分类号： B24D3/28 , B24D11/001 , B24D18/0009 , B24D2203/00
摘要： 다공성 연마지 및 그것의 제조방법으로서 일정형태의 패턴(pattern;문양)지의 돌출부 위에 연마제와 바인더를 혼합한 연마제층을 도포한 연마지에 있어서, 도1에 도시한 바와 같이, 상기 패턴지 없이 관용되는 연마제와 바인더를 혼합한 연마제층(2)을 이형지층(1)위에 일정두께로 도포한 다음, 상기 연마제층(2)에 목적하는 일정한 형태의 연마면 문양(패턴;pattern)을 금형으로 프레싱하여 이형지층(1)에까지 이르도록 패턴홀(4)을 형성한 다음, 그 일정한 패턴으로 홀(4)이 형성된 연마제층(2)으로부터 이형지층(1)을 박리시켜 연마제층(2)만 남긴 다음 그 연마제층(2)의 저면에 벨크로(일명 매직테이프)를 접착제로 부착하거나 양면테이프를 그 자체의 접착력에 의해 접착하는 것중 어느 한가지 방법으로 피착물에 부착시킬 매개층(3)을 부착하거나, 도2에 도시한 바와 같이 상기에서 이형지층(1)에 연마제층(2)을 도포하기 전에 그 이형지층(1)과 연마제층(2)사이에 소정의 연마면을 이루는 패턴지(5)를 내재시켜 상기와 같은 방법으로 금형의 프레싱에 의해 패턴홀(4')을 형성한 다음 상기 패턴지(5)위에 원통형 롤(미도시)과 같은 장치를 이용하여 연마제를 도포하여 연마제층(2)을 형성한 다음 상기 도1의 예와 동일한 방법으로 이형지(1)를 제거하고 상기와 동일한 매개층(3)을 부착하여 다공성 연마지를 얻는 것이다.

42. 发明公开

KR20200138393A 거친 조직 균질 구조의 비트리파이드 지석 审中-公开
公开(公告)号：KR20200138393A
公开(公告)日：2020-12-09
申请号：KR20207031880
申请日：2019-03-01
申请人： NORITAKE CO LTD
发明人： OGASAWARA KOUSEI , MIZUTANI TOMONORI , OHYAMA HIROSHI
IPC分类号： B24D3/18 , B24D3/34
摘要： 난삭재여도, 형상유지성을유지하면서번을발생시키지않고연삭가능한거친조직 (다기공) 균질구조의비트리파이드지석을제공한다. 본실시예의거친조직균질구조의비트리파이드지석에의하면, 지립은, 23 ∼ 35 vol% 의비율로, 무기중공필러와함께충전되어있고, 비트리파이드지석의단면에있어서의복수지점의단위면적당의상기지립을포함하는고형물의비율인지립면적률의도수분포도에있어서 8.7 이하의표준편차σ 를갖는균질성을구비하고있다. 이로써, 낮은지립체적률의거친조직이어도, 지석구조의균질성이높고형상유지성 (지석마모량의감소) 이유지되므로, 난삭재여도, 형상유지성이유지되면서, 피삭재에번을발생시키는것이억제된다.

43. 发明授权

KR101799972B1 연마패드 및 이의 제조방법 有权
标题翻译：研磨垫及其制造方法
公开(公告)号：KR101799972B1
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：KR1020170000090
申请日：2017-01-02
申请人： 에스케이씨 주식회사
发明人： 연제원 , 서장원 , 한혁희 , 허혜영 , 권태경 , 류준성
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/306 , H01L21/321 , H01L21/461 , B24B37/24 , B24D3/18 , B24D18/00
摘要： 본발명은반도체의화학적기계적평탄화(CMP) 공정에사용되는연마패드및 이를제조하는방법에관한것으로서, 본발명에따르면이소시아네이트말단기를갖는프리폴리머와경화제의혼합시에불활성가스를투입하여포어들을형성하는과정에, 반응속도조절제를직접투입하여상기포어들의입경을조절함으로써, 포어의입경사이즈를조절하고, 상부와하부간의입경편차를줄여품질이높은다공성폴리우레탄연마패드를제조할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种抛光垫和用于制造该用于在半导体的化学机械平坦化（CMP）工艺中使用的方法，根据本发明通过在预聚物的混合和具有异氰酸酯基末端以形成孔隙的固化剂的时间引入惰性气体在这个过程中，通过直接导入反应速率调节剂调节所述孔的颗粒直径，可以调整孔径的直径和通过减少的顶部和底部之间的偏差的粒度产生具有高质量的多孔聚氨酯抛光垫。

44. 发明公开

KR1020170086588A 접합된 연마 용품 및 제조 방법 审中-实审
标题翻译：粘结磨料制品和制造方法
公开(公告)号：KR1020170086588A
公开(公告)日：2017-07-26
申请号：KR1020177016570
申请日：2015-11-13
申请人： 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니
发明人： 루코우스키마크에이
IPC分类号： B24D18/00 , B24D3/18
CPC分类号： B24D3/18 , B24D3/32 , B24D3/342 , B24D18/00 , B24D18/0009 , C09K3/1409 , B24D18/0072
摘要： 접합된연마용품, 예를들어유리화되고접합된연삭휠을제조하기위한방법이있다. 연마입자, 결합제매체및 에틸말톨과같은감마-피론공극유도재료를포함하는접합가능연마조성물이제조된다. 전구체연마구조물은조성물로부터형성된다. 감마-피론공극유도재료는전구체연마구조물로부터제거되어추가로가공되는다공성전구체연마구조물을제공하여접합된연마용품을제공한다. 일부실시형태에서, 결합제매체는유리질접합재료를포함하고, 접합된연마용품은다공성유리화되고접합된연삭휠이다.
摘要翻译：有一种制造粘结的磨料制品的方法，例如，玻璃化的和粘结的磨轮。制备包含研磨颗粒，粘合剂介质和诱导伽马射线的空隙材料如乙基麦芽酚的可粘合研磨组合物。前体磨料结构由该组合物形成。从前体磨料结构中除去γ-塔柱空隙诱导材料以提供多孔前体磨料结构，该磨料结构被进一步处理以提供粘结的磨料物品。在一些实施例中，粘合剂介质包含玻璃状粘合材料，并且粘合的磨料制品是多孔玻璃化粘合磨轮。

45. 发明公开

KR1020120098903A 연마지석 제품의 제조방법 有权
标题翻译：制造粘结磨具的方法
公开(公告)号：KR1020120098903A
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：KR1020127019049
申请日：2008-03-13
申请人： 생-고뱅 어브레이시브즈, 인코포레이티드 , 생-고벵 아브라시프
发明人： 쿼렐길스 , 단도,폴,에스 , 쥬쏨므세실 , 홀,리차드,더블유
IPC分类号： B24D3/18 , B24D18/00 , B24D3/14
CPC分类号： B24D3/18 , B24D18/0009
摘要： 본 발명은 연마지석 제품 제조 방법으로서, 1200℃ 이상의 온도에서 상기 연마지석 제품을 형성하는 단계를 포함하고,상기 연마지석 제품은, 다결정 세라믹상을 포함하는 결합기재 재료내에 입방정 질화붕소(cBN)을 포함하는 연마 입자; 5.0 용적% 이상의 기공률; 및 40 MPa 이상의 파단계수(MOR)를 포함한다.

46. 发明授权

KR101096005B1 연마패드 및 그의 제조방법 有权
标题翻译：抛光垫及其制造方法
公开(公告)号：KR101096005B1
公开(公告)日：2011-12-19
申请号：KR1020080087257
申请日：2008-09-04
申请人： 코오롱인더스트리 주식회사
发明人： 박양수 , 김원준
IPC分类号： B24B37/16 , B24B37/14 , B24D3/28 , B24D3/18
摘要： 본 발명은 실리콘 웨이퍼 등의 폴리싱 공정에 사용되는 연마패드에 관한 것으로서, 본 발명의 연마패드는 연마면의 반대측인 이면에 유체 흐름 조절용 홈(A4)을 1개 이상 갖는 연마층(A)를 포함한다.
본 발명에 따른 연마패드는 연마층의 이면에서의 유체(슬러리) 유동성을 조절할 수 있어서 연마공정시 연마조건 및 연마특성을 필요에 따라 섬세하게 조절 가능하다.
따라서, 본 발명은 실리콘 웨이퍼, 반도체 디바이스, 디스플레이용 판상유리 등의 폴리싱 공정에 사용되는 연마패드로 유용하다.
연마패드, 유체흐름, 홈, 폴리싱, 기공, 균일성

47. 发明授权

KR101089191B1 비트리파이드 본드 숫돌 및 그 제조방법 有权
标题翻译：经修补的粘结剂及其制造方法
公开(公告)号：KR101089191B1
公开(公告)日：2011-12-02
申请号：KR1020050042514
申请日：2005-05-20
申请人： 가부시기가이샤 디스코
发明人： 세키야신노스케 , 이와오카테이지
IPC分类号： B24D3/18 , B24D3/00
CPC分类号： B24D7/066 , B24D3/18 , C03C11/007 , C03C14/004 , C03C2214/04 , C03C2214/05 , C03C2214/30 , C09K3/1463
摘要： 본 발명은 초숫돌 입자를 비트리파이드 본드로 결합하는 동시에 무수한 기공을 가진 비트리파이드 본드 숫돌로서, 상기 기공은 독립한 기공으로 이루어져 있으며, 그 기공률은 75~95용량%이다.
초숫돌, 비트리파이드 본드

48. 发明公开

KR1020100007856A 연마지석 제품 및 그의 제조방법 有权
标题翻译：粘结磨砂制品及其制造方法
公开(公告)号：KR1020100007856A
公开(公告)日：2010-01-22
申请号：KR1020097021340
申请日：2008-03-13
申请人： 생-고뱅 어브레이시브즈, 인코포레이티드 , 생-고벵 아브라시프
发明人： 쿼렐길스 , 단도,폴,에스 , 쥬쏨므세실 , 홀,리차드,더블유
IPC分类号： B24D3/18 , B24D18/00 , B24D3/14
CPC分类号： B24D3/18 , B24D18/0009
摘要： A bonded abrasive article is provided that includes abrasive grains within a bond matrix, the abrasive grains including cubic boron nitride (cBN) and the bond matrix including a polycrystalline ceramic phase. The bonded abrasive may have a Modulus of Rupture (MOR) of not less than about 40 MPa. Certain embodiments may have porosity, such as greater than about 5.0 vol%.
摘要翻译：提供了一种粘结磨料制品，其包括在接合基质内的磨料颗粒，所述磨粒包括立方氮化硼（cBN）和包含多晶陶瓷相的粘结基体。粘合磨料可以具有不小于约40MPa的断裂模量（MOR）。某些实施方案可具有孔隙率，例如大于约5.0vol％。

49. 发明授权

KR100623900B1 다공성 연마 공구 및 그 제조 방법 有权
标题翻译：多孔研磨工具及其制作方法
公开(公告)号：KR100623900B1
公开(公告)日：2006-09-19
申请号：KR1020047007600
申请日：2002-11-14
申请人： 생-고뱅 어브레이시브즈, 인코포레이티드
发明人： 라마나스스리니바산 , 불잔세르게이-토미스라프 , 윌슨제이슨알. , 이케다제리앤에스.
IPC分类号： B24D3/18
CPC分类号： B24D99/005 , B24D3/10 , C09K3/1409
摘要： Production of a porous abrasive article with an interconnected porosity of at least 50 (or 40-80) vol.% comprises pressing a mixture of 0.5-25 vol.% abrasive particles, 19.5-49.5 vol.% binder and 50-80 (or 40-80) vol.% dispersoid particles, heat treating the resulting composite and immersing it in a solvent to dissolve out the dispersoid. Independent claims are also included for: (1) an abrasive article produced as above; (2) an abrasive segment for a segmented grindstone, comprising a composite including superabrasive particles and a fritted metal binder matrix, where: the composite comprises 0.5-25 vol.% abrasive particles, 19.5-49.5 vol.% binder and 50-80 (or 40-80) vol.% interconnected pores; the binder matrix comprises 35-70 wt.% copper, 30-65 wt.% tin and 0.2-1.0 wt.% phosphorus; and the superabrasive particles are of diamond or cubic boron nitride and have an average size below 300 mu m; (3) a segmented grindstone comprising a circular core with specific strength of at least 2.4 MPa-cm /g and a density of 0.5-8 g/cm ; a series of abrasive segments comprising a composite including abrasive particles and a fritted metal binder matrix, where the composite has an interconnected porosity of 50-80 (or 40-80) vol.%; and a thermally stable adhesive between the core and the segments.

50. 发明授权

KR100386764B1 고투과성 연마 제품 有权
标题翻译： 고투과성연마제품
公开(公告)号：KR100386764B1
公开(公告)日：2003-06-09
申请号：KR1019997000808
申请日：1997-06-23
申请人： 생-고뱅 어브레이시브즈, 인코포레이티드
发明人： 유메엔슈이 , 코빈노만드디. , 폭스스티븐이. , 엘링선토마스 , 카맨리에이.
IPC分类号： B24D3/18
CPC分类号： B24D3/18
摘要： An abrasive article having certain minimum levels of permeability to fluids comprises about 40 to 80%, by volume interconnected porosity and effective amounts of abrasive grain and bond to carry out soft grinding and deep cut grinding operations. The high permeability to the passage of fluids and interconnected porosity provides an open structure of channels to permit the passage of fluid through the abrasive article and the removal of swarf from the workpiece during grinding operations.
摘要翻译：对流体具有一定的最小渗透水平的磨料制品包含约40-80体积％的互连孔隙率和有效量的磨粒和粘结剂，以进行软研磨和深切割研磨操作。流体通道和相互连接的孔隙的高渗透性提供了通道的开放结构，以允许流体通过磨料物品并且在研磨操作期间从工件上除去切屑。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式