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41. 发明授权

KR101439926B1 캐필러리부가 구비된 판상형 전극을 이용한 롤투롤 플라즈마 처리 시스템 有权
标题翻译：使用板状电极与毛细管的等离子体处理辊对辊系统
公开(公告)号：KR101439926B1
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：KR1020130066298
申请日：2013-06-11
申请人： 한국기계연구원
发明人： 권정대 , 남기석 , 조병진 , 윤정흠 , 김동호 , 정용수 , 김창수 , 박성규
IPC分类号： H05H1/24 , H01L21/205
摘要： The present invention relates to a high density plasma generating apparatus and a plasma processing system and method for a substrate using the same. Provided is a plasma processing roll-to-roll system using a plate-shaped electrode with a capillary unit, the system comprising a susceptor including a cylindrical substrate heater having a dielectric substance formed on the outer circumferential surface; at least one plate-shaped electrode comprising a conductive body with multiple capillary units, arranged along the circumference of the substrate heater to be separated from the susceptor; and a pair of rolls rolling a flexible substrate by a roll-to-roll method to be separated from the plate-shaped electrode and in contact with the susceptor.
摘要翻译：本发明涉及一种高密度等离子体发生装置和等离子体处理系统及其使用方法。提供一种使用具有毛细管单元的板状电极的等离子体处理卷对卷系统，该系统包括：基座，其包括具有形成在外周面上的电介质的圆筒状基板加热器; 至少一个板状电极，其包括具有多个毛细管单元的导电体，沿着所述基板加热器的圆周布置以与所述基座分离; 以及通过卷对卷方法将柔性基板滚动以与板状电极分离并与基座接触的一对辊。

42. 发明公开

KR1020140011150A 플라즈마 발생장치용 회전 전극의 제조방법 有权
标题翻译：制造等离子体发生装置的方法和基板的等离子体处理方法
公开(公告)号：KR1020140011150A
公开(公告)日：2014-01-28
申请号：KR1020120077974
申请日：2012-07-17
申请人： 한국기계연구원
发明人： 권정대 , 남기석 , 박성규 , 정용수 , 김동호 , 이성훈 , 김창수 , 류승윤
IPC分类号： H05H1/24 , H01L21/3065 , C23C16/50
CPC分类号： H05H1/46 , C23C16/503 , H01J37/32055 , H01J37/32541 , H01J37/3255 , H05H2001/4695
摘要： For stably generating plasma near atmospheric pressure by suppressing a transition phenomenon from plasma to an arc, the present invention provides a method for manufacturing a rotating electrode for a plasma generating apparatus, which includes the steps of: providing a conductive body including a plurality of capillary parts; and forming an insulation shielding layer on the outer side of the conductive body to expose a part of at least the lower sides of the capillary parts.
摘要翻译：为了通过抑制从等离子体到电弧的转变现象来稳定地产生接近大气压的等离子体，本发明提供了一种用于制造等离子体发生装置的旋转电极的方法，其包括以下步骤：提供包括多个毛细管部分; 以及在所述导电体的外侧上形成绝缘屏蔽层，以暴露所述毛细管部分的至少下侧的一部分。

43. 发明公开

KR1020130114525A 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치 및 이를 이용한 대상물의 가공방법 有权
标题翻译：等离子体发生装置和使用该方法处理对象的方法
公开(公告)号：KR1020130114525A
公开(公告)日：2013-10-18
申请号：KR1020120036961
申请日：2012-04-09
申请人： 한국기계연구원
发明人： 남기석 , 강재욱 , 권정대 , 김동호 , 김창수 , 류승윤 , 박성규 , 윤정흠 , 이건환 , 이성훈 , 정용수
IPC分类号： H05H1/34 , H05H1/46 , C23C16/50 , H01L21/205
CPC分类号： H01J37/32568 , C23C14/34 , H01J37/32366 , H01J37/3244 , H01J37/3255 , H01J37/32559 , H01J37/32577 , H01J37/32715 , H01J2237/3321
摘要： PURPOSE: A plasma generator and a processing method using the same are provided to effectively execute a vacuum evaporation without a lithography process. CONSTITUTION: A plasma generator comprises a first electrode (120), a target (130), and a plurality of second electrodes (150a, 150b, 150c). The first electrode includes a plurality of conductive patterns (124). The target is arranged on the first electrode by directly connecting to a part of the conductive patterns. The plurality of the second electrodes is separated from the target, and atmospheric pressure is individually generated with the target.
摘要翻译：目的：提供等离子体发生器及其使用方法，以有效地执行真空蒸发而不进行光刻处理。构成：等离子体发生器包括第一电极（120），靶（130）和多个第二电极（150a，150b，150c）。第一电极包括多个导电图案（124）。目标通过直接连接到导电图案的一部分而布置在第一电极上。多个第二电极与靶分离，并且大气压力与目标分别产生。

44. 发明授权

KR102077694B1 표면 증강 라만 산란용-활성 하전 마이크로젤, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 분자 검출용 조성물 有权
公开(公告)号：KR102077694B1
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：KR1020180072273
申请日：2018-06-22
申请人： 한국기계연구원
发明人： 김신현 , 김동재 , 김동호 , 박성규
IPC分类号： G01N33/58 , G01N21/65 , G01N33/543 , B82Y15/00

45. 发明授权

KR101914986B1 분광분석용 기판 및 이의 제조방법 有权
公开(公告)号：KR101914986B1
公开(公告)日：2019-01-31
申请号：KR1020170049870
申请日：2017-04-18
申请人： 한국기계연구원
发明人： 박성규 , 김동호 , 정호상
IPC分类号： G01N21/552 , G01N21/65

46. 发明授权

KR101734355B1 가스센서 및 그 제조방법 有权
标题翻译：气体传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR101734355B1
公开(公告)日：2017-05-15
申请号：KR1020150062778
申请日：2015-05-04
申请人： 한국기계연구원
发明人： 조병진 , 함명관 , 김동호 , 이규환 , 박성규 , 김아라
IPC分类号： G01N27/12
摘要： 본발명은가스센서및 그제조방법을제공한다. 본발명의일 측면에따른가스센서는기판, 가스와접촉하면전기전도도가변화되도록상기기판의일면에반도체성 2차원전이금속디칼코지나이드계화합물이증착되어형성되는가스감지필름및 전류가유입또는유출되도록상기가스감지필름의일면에금속성 2차원전이금속디칼코지나이드계화합물이증착되어형성되는전극을포함할수 있다.
摘要翻译：本发明提供了一种气体传感器及其制造方法。根据本发明的一个方面，该气体传感器包括：基板，在与气体传导率接触是d 2半导体在基板的一个表面上，使得变化的过渡金属的自由基曲基于砷化物的化合物沉积而形成的气体感应膜和电流流动或并且通过在气体感应膜的一个表面上沉积金属化的二维过渡金属硫属化合物化合物而形成电极以排出。

47. 发明授权

KR101639684B1 나노갭이 조절된 기판 및 이의 제조방법 有权
标题翻译：调整后的纳米间隙衬底及其制造方法
公开(公告)号：KR101639684B1
公开(公告)日：2016-07-15
申请号：KR1020140130608
申请日：2014-09-29
申请人： 한국기계연구원
发明人： 박성규 , 김동호 , 윤정흠 , 조병진 , 문채원
IPC分类号： G01J3/44 , G01N21/65
摘要： 본발명은나노갭이조절된기판및 이의제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는연신가능한기판; 상기기판을가공하여상기기판의표면에서로이격되어형성된돌기형구조체; 상기돌기형구조체에형성된금속함유나노입자; 및상기금속함유나노입자사이에형성되고, 상기기판을연신하여조절될수 있는나노갭;을포함하는것을특징으로하는나노갭이조절된기판에관한것으로, 기판의연신률을이용하여외력이없이도금속함유나노입자간의이격거리가조절되는효과가있다.

48. 发明公开

KR1020160037852A 무기물-금속 구조체가 형성된 기판 및 이의 제조방법 审中-实审
标题翻译：具有无机金属结构的底物及其制造方法
公开(公告)号：KR1020160037852A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：KR1020160005617
申请日：2016-01-15
申请人： 한국기계연구원
发明人： 윤정흠 , 박성규 , 김동호 , 문채원
IPC分类号： G01J3/44 , G01N21/65 , C23C16/44 , C23C14/34 , C23C14/22
摘要： 본발명은무기물-금속구조체가형성된기판및 이의제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는서로이격된상부돌출곡면을갖는돌기형구조체가형성된기판; 상기돌기형구조체상에형성된금속함유나노입자; 상기기판표면에형성된금속함유박막; 및상기금속함유나노입자와상기돌기형구조체사이및 상기금속함유박막과상기기판표면사이에형성된무기물함유박막;을포함하되, 상기금속함유나노입자와상기금속함유박막층은상기기판에라만활성물질을동시에진공증착시켜형성되며, 상기라만활성물질은초기에는상기금속박막및 상기돌기형구조체에균일하게증착되나증착이진행됨에따라상기돌기형구조체의상부에집중적으로증착되는것을특징으로하는무기물-금속구조체가형성된기판에관한것으로, 나노갭을용이하게조절할수 있고무기물함유박막을도입하여접착력및 열적안정성을확보할수 있는효과가있다.
摘要翻译：本发明涉及一种具有无机金属结构的基板及其制造方法，更具体地涉及一种基板，其特征在于，包括：基板，具有突出形结构，具有彼此分离的上部突出曲面; 形成在突出形结构上的含金属纳米颗粒; 形成在所述基板的表面上的含金属的薄膜; 以及在含金属的纳米粒子和突起状结构体之间以及含金属的薄膜与基材的表面之间形成的含有无机物的薄膜。通过在基板上同时进行拉曼活性物质的真空沉积来形成含金属的纳米粒子和含金属的薄膜层。拉曼活性物质均匀地沉积在金属薄膜和突起状结构上，而是根据沉积的进展而集中沉积在突起状结构的上部。因此，本发明通过加强与无机材料的介导作用的粘附性来提供结构稳定性。

49. 发明公开

KR1020160037372A 무기물-금속 구조체가 형성된 기판 및 이의 제조방법 无效
标题翻译：具有无机金属结构的底物及其制造方法
公开(公告)号：KR1020160037372A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：KR1020140129535
申请日：2014-09-26
申请人： 한국기계연구원
发明人： 윤정흠 , 박성규 , 김동호 , 문채원
IPC分类号： G01J3/44
CPC分类号： G01J3/44 , G01N21/65
摘要： 본발명은무기물-금속구조체가형성된기판및 이의제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는서로이격된상부돌출곡면을갖는돌기형구조체가형성된기판; 상기돌기형구조체상에형성된금속함유나노입자; 상기기판표면에형성된금속함유박막; 및상기금속함유나노입자와상기돌기형구조체사이및 상기금속함유박막과상기기판표면사이에형성된무기물함유박막;을포함하되, 상기금속함유나노입자와상기금속함유박막층은상기기판에라만활성물질을동시에진공증착시켜형성되며, 상기라만활성물질은초기에는상기금속박막및 상기돌기형구조체에균일하게증착되나증착이진행됨에따라상기돌기형구조체의상부에집중적으로증착되는것을특징으로하는무기물-금속구조체가형성된기판에관한것으로, 나노갭을용이하게조절할수 있고무기물함유박막을도입하여접착력및 열적안정성을확보할수 있는효과가있다.
摘要翻译：本发明涉及具有无机金属结构的基板及其制造方法，更具体地说，涉及具有无机金属结构的基板，其特征在于，具有：具有彼此分离的上部突出曲面的突起状结构的基板; 形成在突出形结构上的含金属纳米颗粒; 形成在所述基板的表面上的含金属的薄膜; 以及在含金属的纳米粒子和突起状结构体之间以及含金属的薄膜与基材的表面之间形成的含有无机物的薄膜。通过在基板上同时进行拉曼活性物质的真空沉积来形成含金属的纳米粒子和含金属的薄膜层。拉曼活性物质均匀地沉积在金属薄膜和突起状结构上，而是根据沉积的进展而集中沉积在突起状结构的上部。因此，本发明提供了能够容易地调节纳米间隙的效果，并且通过引入含有无机物的薄膜来确保粘附性和热稳定性。

50. 发明授权

KR101581533B1 광결정 및 광결정의 제어방법 有权
标题翻译：光电晶体及其制造方法
公开(公告)号：KR101581533B1
公开(公告)日：2015-12-31
申请号：KR1020140029978
申请日：2014-03-14
申请人： 한국기계연구원
发明人： 박성규 , 권정대 , 김동호
IPC分类号： B82B3/00
摘要： 본발명에의한희생템플레이트를이용한광결정의형성방법은, 상호연결된포어들이형성된 3차원나노구조를가지는고분자희생템플레이트를형성하는제1 단계, 상기형성된고분자희생템플레이트의상기포어들에프레임물질을필링(filling)하여복합체를형성하는제2 단계, 및상기복합체중 상기고분자희생템플레이트를제거하여 3차원역 나노구조를가지는광결정을형성하는제3 단계를포함한다.

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