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31. 发明公开

KR1020160116019A 항법 장치 및 방법 审中-实审
标题翻译：装置和导航方法
公开(公告)号：KR1020160116019A
公开(公告)日：2016-10-06
申请号：KR1020167026238
申请日：2010-09-21
申请人： 보로텍 리미티드
发明人： 보로비트치크슬로모
IPC分类号： G01J4/00 , G01J4/04
CPC分类号： G01J4/04 , G01C17/34 , G01C21/02 , G01J2004/005 , G01J4/00
摘要： 천체의위치판정에사용하기위한방법으로서, 제1 편광방향을갖는필터셀 및상기제1 편광방향과상이한제2 편광방향을갖는필터셀을포함하는적어도두 개의편광필터셀 어레이를통과하도록주변광을지향하는단계; 적어도두 개의광 센서엘리먼트를포함하는광 센서유닛에의하여상기제1 및제2 편광방향의상기적어도두 개의필터셀을통과하는광 성분을탐지하고, 상기탐지된광 성분의강도에있어서의차이를탐지하여상기주변광의편광패턴을나타내는탐지데이터를산출하는단계; 및상기편광패턴을나타내는데이터를프로세싱하고, 상기천체의방위각및 고도중 적어도하나를확인하는단계를포함하는천체의위치판정에사용하기위한방법이개시된다.

32. 发明公开

KR1020160109786A 무색수차 광소자-회전형 타원계측기 및 이를 이용한 시편의 뮬러-행렬 측정 방법 有权
标题翻译：用于测量样品的MUELLER-MATIRX元素的旋光元件ELLIPSOMETER和方法
公开(公告)号：KR1020160109786A
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：KR1020150034847
申请日：2015-03-13
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 조용재 , 제갈원 , 조현모
IPC分类号： G01D21/00 , G01B11/06 , G01B11/24 , G01N21/21 , G01J4/04
CPC分类号： G01N21/211 , G01B11/0641 , G01B11/24 , G01J4/04 , G01N21/8422 , G01D21/00
摘要： 본발명은광소자회전형타원계측기에관한것으로서, 보다상세하게는시편에의해반사또는투과된광의편광상태변화를측정및 분석하여시편의뮬러행렬성분을측정하는데사용되는타원계측기에관한것이다. 본발명은일 실시예는시편을향하여입사광을방사하는광원, 상기입사광의진행경로상 상기광원과상기시편사이에배치되며상기광원에서방사된상기입사광을편광시키는고정편광자, 상기입사광의진행경로상 상기고정편광자와상기시편사이에배치되며상기고정편광자를통과한광이입사되며상기입사된광을편광시키는등속으로회전하는등속회전편광자, 상기등속회전편광자를통과하여편광된광이상기시편에의해반사또는투과되면서편광상태가변화되어입사되며상기입사된광을편광시키는등속으로회전하는등속회전검광자, 상기등속회전검광자를통과하여편광된광이입사되며상기입사된광을편광시키는고정검광자, 상기고정검광자를통과하여편광된광이입사되며입사된광의노광량을검출하고상기노광량에상응하는광의복사속의값을출력하는광검출기를포함할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及具有旋转无彩色光学元件的椭偏仪，更具体地说，涉及一种能够通过测量和分析由样品透射或反射的光的偏振状态的变化来测量样品的mueller矩阵分量的椭偏仪。根据实施例，本发明包括：将入射光辐射到样品的光源; 在入射光的进行路线上放置在样品和光源之间的固定的偏振片，并且偏振从光源辐射的入射光; 在入射光的进行路线上放置在样品和固定偏振器之间的恒定旋转偏振器，使光通过固定偏振器，并以恒定速度旋转以使入射光偏振; 通过改变由于样品的透射或反射而产生的偏振状态并以恒定的速度旋转以使入射光偏振的恒定旋转分析仪，通过恒定旋转偏振器偏振光，采用恒定旋转分析仪进行偏振的固定分光仪，使入射光偏振; 以及通过固定分析器偏振的光的光检测器，检测入射光的曝光量，并输出与曝光量对应的光的辐射通量的值。

33. 发明授权

KR100992839B1 마이크로 스폿 분광타원계 失效
标题翻译：具有微点模块的光谱椭圆计
公开(公告)号：KR100992839B1
公开(公告)日：2010-11-08
申请号：KR1020080092199
申请日：2008-09-19
申请人： (주)엘립소테크놀러지
发明人： 김상열 , 이종웅
IPC分类号： G01J4/04 , G01N21/21 , G01J3/447
摘要： 본 발명은 광원, 편광자, 집속광학계, 검광자 및 분광기를 포함하여 구성되는 분광타원계에 있어서, 상기 집속광학계는 반사면이 오목 거울 형태로서 중앙에 관통공이 형성되는 부경과 반사면이 볼록 거울 형태로서 상기 부경보다 작은 유효구경을 갖는 주경으로 구성되는 역 카세그레인(Inverse Cassegrain) 형 광학계가 사용되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 자외선 영역에서부터 근 적외선 영역까지의 넓은 파장 대역에서 구동되며 시료위치에서 약 10 ㎛ 크기의 작은 빔 직경을 구현할 수 있고, 반사경을 이용하면서도 광축이 틀어지지 않아 편광상태가 변화되지 않아 측정 정밀도를 현저하게 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
분광타원계, 마이크로스폿, 분해능, 반사형, 거울, 미러, 집속광학계, 진공자외선.

34. 发明公开

KR1020100033164A 마이크로 스폿 분광타원계 失效
标题翻译：具有MICROSPOT模块的光谱仪
公开(公告)号：KR1020100033164A
公开(公告)日：2010-03-29
申请号：KR1020080092199
申请日：2008-09-19
申请人： (주)엘립소테크놀러지
发明人： 김상열 , 이종웅
IPC分类号： G01J4/04 , G01N21/21 , G01J3/447
摘要： PURPOSE: A spectroscopic ellipsometer with a microspot module is provided to apply the spectroscopic ellipsometer to a wide wavelength band from far-infrared rays to near-infrared rays. CONSTITUTION: A spectroscopic ellipsometer with a microspot module comprises a light source(100), a polarized light control module(200), and a light analyzer module(500). The light emitted from the light source is transferred through an optical fiber. The polarized light control module passes the light, emitted from the optical fiber, through a focusing lens. The light analyzer module changes the light to parallel rays, and measures light intensity. The light penetrated through the polarized light control module forms a microspot module.
摘要翻译：目的：提供具有微点模组的光谱椭偏仪，以将分光椭偏仪应用于从远红外线到近红外线的宽波段。构成：具有微型模块的分光椭偏仪包括光源（100），偏振光控制模块（200）和光分析器模块（500）。从光源发射的光通过光纤传输。偏振光控制模块将从光纤发射的光通过聚焦透镜。光分析器模块将光线变为平行光线，并测量光强度。穿过偏振光控制模块的光形成微点模组。

35. 发明授权

KR100873531B1 측정방법 失效
标题翻译：测量方法
公开(公告)号：KR100873531B1
公开(公告)日：2008-12-11
申请号：KR1020070008207
申请日：2007-01-26
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 시오데요시히로
IPC分类号： G01J4/04 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/706 , G01J4/00 , G01J2009/0261 , G03F7/70566
摘要： 피검광학계에 편광방향이 서로 다른 복수의 직선 편광의 광을 조사하고, 상기 피검광학계의 복굴절량(R)과 진상축(φ)을 포함한 편광특성을 측정하는 방법은, 상기 피검광학계에 편광방향(θ)을 가진 직선편광의 광을 조사하는 스텝과, 상기 피검광학계를 투과한 광의 중심량(P)를 취득하는 스텝과, P=－R·cos(2θ-φ) 또는 P=R·cos(2θ-φ)로부터 상기 복굴절량(R)과 상기 진상축(φ)을 취득하는 스텝을 포함하고 있다.

36. 发明公开

KR1020070078394A 측정방법 失效
标题翻译：测量方法
公开(公告)号：KR1020070078394A
公开(公告)日：2007-07-31
申请号：KR1020070008207
申请日：2007-01-26
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 시오데요시히로
IPC分类号： G01J4/04 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/706 , G01J4/00 , G01J2009/0261 , G03F7/70566 , G02B27/286
摘要： A measurement method is provided to simply measure polarization property of a optical system to be detected without an optical device such as a wavelength plate and a polarizer. A measurement method includes the steps of illuminating linear polarization in a direction of 0° by an illumination optical system(1002), measuring a centroid amount of light transmitting a projection optical system to save the measured value into a data process system(1004), rotating a polarization unit to repeat a measurement by an illumination having a different polarization direction and repeating a store of the result in whole predetermined polarization directions(1006,1008), analyzing a polarization property on the data process system using the value of saved measurement results and each of the polarization directions corresponding to each of the saved measurement results to calculate an amount of correction of the optimized projection optical system, a reticle pattern, and an illumination optical system(1010), and saving the amount of correction into an exposure device as feedback(1012).
摘要翻译：提供测量方法以简单地测量待检测的光学系统的偏振特性，而不需要波长板和偏振器等光学装置。测量方法包括通过照明光学系统（1002）照亮0°方向的线偏振的步骤，测量透射投影光学系统的光的重心量，以将测量值保存到数据处理系统（1004）中，旋转偏振单元以通过具有不同偏振方向的照明重复测量，并重复将结果存储在整个预定偏振方向上（1006,1008），使用保存的测量结果的值分析数据处理系统上的偏振特性并且每个所述偏振方向对应于所保存的测量结果中的每一个，以计算优化的投影光学系统，标线图案和照明光学系统（1010）的校正量，并将校正量保存到曝光装置作为反馈（1012）。

37. 发明授权

KR100593690B1 편광 측정 모듈 失效
标题翻译：偏振测量模块
公开(公告)号：KR100593690B1
公开(公告)日：2006-06-30
申请号：KR1020030097062
申请日：2003-12-26
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 박용우 , 서동우 , 류호준 , 표현봉 , 백문철 , 손영준 , 김남 , 안준원
IPC分类号： G01J4/04
摘要： 본 발명은 집적 광 픽업 헤드(integrated optical pickup head, IOPH)를 광 자기 헤드로 구현하기 위해 필요한 Kerr 각도 측정 모듈에 관한 것이다. 본 발명의 Kerr 측정 모듈은 포토 다이오드, 홀로그래픽(holographic) 입력 커플러, 홀로그래픽 편광빔 분리기, 프리즘 등으로 구성되며, 실리카 기판으로 만들어진 광 도파로 격자렌즈(Focusing waveguide grating coupler)와 결합되어 광 자기 디스크로부터 반사되는 빔의 회전된 편광각을 검출하는 기능을 갖는다. 디스크에 반사된 빔은 격자렌즈에 의해 도파로를 따라 커플링되지만, 그 중 일부는 커플링되지 않고 실리카 기판을 투과하여 입력 커플러로 입사한다. 홀로그래픽 격자로 이루어진 입력 커플러는 홀로그래픽 편광빔 분리기의 빔 입사각을 만든다. 입력 커플러에 의해 회절된 빔 중 p 파는 편광빔 분리기를 투과하고(0차 회절), s 파는 브래그(Bragg) 조건을 만족하는 각도로 회절(1차 회절)한다. 편광 분리된 두 빔은 프리즘을 투과하여 분리되고, 공간적으로 분리된 빔은 포토 다이오드에 의해 각각의 파워가 검출된다.
격자렌즈, 입력 커플러, 편광빔 분리기, 회절격자, 홀로그래픽
摘要翻译：本发明涉及实现具有磁光头的集成光学拾取头（IOPH）所需的克尔角测量模块。本发明的克尔测量装置是一个光电二极管，全息（全息）输入耦合器，全息偏振光束分离器，由棱镜或类似的，在与光学波导光栅透镜组合（聚焦波导光栅耦合器）制成的二氧化硅基体磁光盘的以及检测从光束反射的光束的旋转偏振角的功能。光盘上的反射光束通过光栅透镜沿波导耦合，但其中一些透过硅衬底而不耦合并进入输入耦合器。由全息光栅组成的输入耦合器产生全息偏振分束器的光束入射角。通过在满足布拉格（布拉格）条件（第一衍射）的角度通过偏振分束器传输的输入耦合器P波，和（零阶衍射）中，s波衍射光束的衍射。由偏振光分开的两个光束被棱镜透射并分开，并且由光电二极管检测空间分离的光束。

38. 发明公开

KR1020060016621A 자동 위상지연값 측정용 분광 타원 해석기 有权
标题翻译：用于自动测量延迟的光谱仪
公开(公告)号：KR1020060016621A
公开(公告)日：2006-02-22
申请号：KR1020040065127
申请日：2004-08-18
申请人： 한양대학교 산학협력단
发明人： 안일신 , 경재선 , 성덕경 , 오혜근
IPC分类号： G01J4/00 , G01J4/04
摘要： 본 발명은 자동 위상지연값 측정용 분광 타원 해석기에 관한 것으로, 광원과, 상기 광원의 빛을 편광시키는 편광 발생기와, 제 1 각속도로 회전하는 시편과, 제 2 각속도로 회전하는 회전 보상기와, 상기 편광 발생기로부터 상기 시편 및 상기 회전 보상기를 거쳐 입사된 빛을 분석하는 편광 분석기 및 상기 편광 분석기를 통과한 분광을 검출하는 검출기를 포함하는 분광 타원 해석기에 관한 것이다. 여기서, 상기 편광 발생기 및 상기 편광 분석기는 고정되어 있으며, 상기 시편이 상기 회전 보상기와 일정한 비로 동기화 되어 회전한다.
이로써, 시편이 지닌 위상지연값과 광축방향이 자동으로 측정할 수 있어 캘리브레이션 과정을 생략할 수 있으며, 이로인해 측정시간을 현저하게 감소시킬 수 있고, 캘리브레이션에 의한 측정오차를 없앨 수 있어 좀더 정확한 시편 정보를 얻을 수 있을 뿐만 아니라, 시편의 특성에 관계없이 측정값이 자동으로 나옴으로 인해 누구나 쉽게 분광 타원 해석기를 사용할 수 있다. 또한, 편광 발생기가 고정되어 있어 광원이 가진 잔류편광에 의한 오차를 없앨 수 있고, 광부품의 위치각을 제어하기 위한 제어 시스템이 필요 없기에 제작이 매우 간단해지는 효과가 있다.
분광 타원 해석기, 편광 발생기, 시편, 회전 보상기, 검출기, 위상지연값

39. 发明授权

KR100550161B1 편광 분석장치 및 편광 분석방법 有权
标题翻译：用于检测极化的装置和方法
公开(公告)号：KR100550161B1
公开(公告)日：2006-02-08
申请号：KR1020040042552
申请日：2004-06-10
申请人： (주)파이버프로
发明人： 이봉완 , 정호진
IPC分类号： G01J4/00 , G01J4/04
摘要： 본 발명은 빛의 편광 상태를 측정하는 장치 및 그 측정 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 편광 측정 장치는 회전하는 위상 지연판, 위상 지연판을 통과한 빛을 복수개의 편광성분으로 분할하는 편광 분할기, 복수개의 광 검출기, 및 광 검출기에서 검출된 신호로부터 편광 상태를 분석하는 신호 처리부를 포함하여 구성된다. 본 발명에 따른 편광 측정 방법은 위상 지연판과 편광 분할기를 통과한 광신호를 검출하고 검출된 광신호의 여러 주파수 성분을 분석함으로써 편광 상태를 나타내는 스톡스 파라미터를 구하는 것을 특징으로 한다. 특히 복수개의 광 검출기를 사용함으로써 광원의 세기 노이즈에 의한 에러를 감소시키는 것을 특징으로 한다.

40. 发明公开

KR1019920701801A 빛 편광면의 회전각 검출 및 측정 센서 无效
标题翻译：光偏振平面的旋转角度检测和测量传感器
公开(公告)号：KR1019920701801A
公开(公告)日：1992-08-12
申请号：KR1019910701036
申请日：1991-01-11
申请人： 베르뗑 에 세이에
发明人： 레끼메미셸
IPC分类号： G01J4/04
摘要： 내용 없음

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