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31. 发明授权

KR100694666B1 원자층 증착 챔버의 에어 밸브 장치 失效
标题翻译：原子层沉积室中的空气阀单元
公开(公告)号：KR100694666B1
公开(公告)日：2007-03-13
申请号：KR1020050077928
申请日：2005-08-24
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이병근 , 백상천 , 김현철 , 주환석
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/02
CPC分类号： C23C16/45525 , C23C16/45544 , C23C16/45561 , F16K31/1226 , Y10T436/12
摘要： 원자층 증착 챔버의 에어 밸브 장치이 개시되어 있다. 상기 에어 밸브 장치은 장치 제어부, 장치 제어부의 제어 신호에 의해 작동하는 솔레노이드 밸브, 솔레노이드 밸브로부터 에어가 공급되는 에어 밸브, 에어 밸브의 작동에 따라 증착 챔버 내로 가스를 공급하는 가스 라인 및 에어 밸브에 부착되고 에어 밸브의 개폐 상태를 감지하는 감지기를 구비한다. 감지기에서 감지된 신호가 장치 제어부로 송신되고, 장치 제어부는 제어 신호의 에어 밸브 개방 시간과 감지 신호의 에어 밸브 개방 시간을 비교하여 에어 밸브 장치의 이상 유무를 판단한다. 에어 밸브, 솔레노이드 밸브 또는 에어 라인에서의 고장에 대해 신속하게 대처하여 제품 불량 및 공정 사고를 방지할 수 있다.
摘要翻译：公开了一种用于原子层沉积室的气阀装置。空气阀jangchieun装置控制单元，附接至气体管线和用于根据所述电磁阀，所述空气阀，其将空气从通过从单元控制部的控制信号而动作的电磁阀供应的空气阀的操作将气体送入沉积室中的空气阀以及用于检测空气阀的打开/关闭状态的传感器。由传感器检测到的信号被发送到控制装置，所述控制装置进行比较的空气阀打开时间，控制信号的检测到的信号的空气阀打开时间，以确定错误的空气中的阀装置的存在。它可以快速响应空气阀，电磁阀或空气管路中的故障，以防止产品故障和加工事故。

32. 实用新型

KR200424122Y1 공기압을 이용한 개폐밸브장치 失效
标题翻译：使用空气压力开启和切断阀门装置
公开(公告)号：KR200424122Y1
公开(公告)日：2006-08-16
申请号：KR2020060013686
申请日：2006-05-22
申请人： 강성기
发明人： 강성기
IPC分类号： F16K31/122
CPC分类号： F16K31/1226 , F16K27/041
摘要： 본 고안은 공기압에 의해 개폐작동하는 밸브장치에 관한 것으로서, 좀더 상세하게는 공기유통관을 개폐제어하되, 밸브하우징(5)의 폭 방향으로 내부에 경사안내로(20)를 형성하는 피스톤(15)과, 좌우에 좌우 에어포트(11)(12)를 갖는 에어실린더(10)를 구비하고, 개폐구(30)의 지지블럭(32)에 축설된 축핀(33)이 상기 작동안내로(20)에 삽입 설치되어 피스톤(15)의 좌우 이동과 축핀(33)의 경사 안내작동으로 개폐구(30)가 전후 이동제어되면서, 공기압에 의한 실린더 작동으로 자동 개폐작동함은 물론 상기 공기압을 공급할 수 없는 정전시, 수리시에 수동 개폐작동하도록 하므로서 사용상의 편리성을 극대화함과 함께 간단한 구조에 의해 잦은 고장방지는 물론 설치 비용을 절감하도록 하는데 그 특징이 있다.
공기압, 개폐밸브, 공기유통관, 자동, 수동, 개페구, 피스톤

33. 发明授权

KR100201048B1 유체제어 시스템 및 이것에 사용되는 밸브 失效
标题翻译：流体控制系统及其使用的阀门
公开(公告)号：KR100201048B1
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR1019960014034
申请日：1996-04-30
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로
发明人： 오미다다히로 , 야마지미치로 , 이케다노부카즈 , 모로코시히로시
IPC分类号： F16K31/06
CPC分类号： C23C16/45561 , B01J4/008 , C30B25/14 , C30B31/16 , F16K31/1226 , F16K31/42 , Y10T137/87684
摘要： 반도체 제조나 자성박막의 제조, 바이오 관련제품의 제조 등에 사용되는 유체제어시스템 및 이것에 사용되는 밸브에 있어서, 밸브의 작동(개폐)을 신속하고 또한, 정확하게 실시하도록 유체의 공급을 정학하게 제어할 수 있도록 한다.
처리장치(C) 내로 여러종류의 유체(G
1 ),(G
2 ),… ,를 공급하는 주 제어라인(L) 및 분기 제어라인(L
1 ),(L
2 ),… 과 분기제어라인(L
1 ),(L
2 )에 설치되어 처리장치(C)내로 공급되는 각종 유체(G
1 ),(G
2 ),… ,의 전환을 실시하는 복수의 밸브(V)로 이루어진 유체제어 시스템에 있어서, 상기한 밸브(V)를 유체압 액츄에이터(1)를 구비한 유체구동형 밸브(V')와, 유체구동형 밸브(V')에 일체적으로 부착되어 유체압 액츄에이터(1)에 작동유체(A)를 공급하는 전자밸브(V)로 구성된 것을 특징으로 하는 유체제어 시스템.

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