基本信息:
- 专利标题： 유체제어 시스템 및 이것에 사용되는 밸브
- 专利标题（英）：Fluid control system and valve to be used therein
- 专利标题（中）：流体控制系统及其使用的阀门
- 申请号：KR1019960014034 申请日：1996-04-30
- 公开(公告)号：KR100201048B1 公开(公告)日：1999-06-15
- 发明人： 오미다다히로 , 야마지미치로 , 이케다노부카즈 , 모로코시히로시
- 申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로
- 申请人地址： 일본 오사카후 오사카시 니시쿠 이타치보리 *-*-*
- 专利权人： 가부시키가이샤 후지킨,오미 다다히로
- 当前专利权人： 가부시키가이샤 후지킨,오미 다다히로
- 当前专利权人地址： 일본 오사카후 오사카시 니시쿠 이타치보리 *-*-*
- 代理人： 하상구; 하영욱
- 优先权： JP95-178374 1995-07-14
- 主分类号： F16K31/06
- IPC分类号： F16K31/06
처리장치(C) 내로 여러종류의 유체(G
1 ),(G
2 ),… ,를 공급하는 주 제어라인(L) 및 분기 제어라인(L
1 ),(L
2 ),… 과 분기제어라인(L
1 ),(L
2 )에 설치되어 처리장치(C)내로 공급되는 각종 유체(G
1 ),(G
2 ),… ,의 전환을 실시하는 복수의 밸브(V)로 이루어진 유체제어 시스템에 있어서, 상기한 밸브(V)를 유체압 액츄에이터(1)를 구비한 유체구동형 밸브(V')와, 유체구동형 밸브(V')에 일체적으로 부착되어 유체압 액츄에이터(1)에 작동유체(A)를 공급하는 전자밸브(V)로 구성된 것을 특징으로 하는 유체제어 시스템.
In the fluid control system and a valve used for this used in the manufacture of manufacturing a semiconductor manufacturing or magnetic thin film, the bio-related products, faster operation (opening and closing) of the valve, and also, to the suspension to control the supply of fluid to perform accurate be so. Several types of fluid into the processing apparatus (C) (G 1), (G 2), ... A main control line (L) and the branch control lines (L 1) for supplying,, (L 2), ... And branch control lines (L 1), (L 2 ) various kinds of fluids (G 1) is fed into the processing device (C) installed on, (G 2), ... In the fluid control system including a plurality of valves (V) to conduct, switching, and the valve (V) to a fluid-driven valve (V ') with a fluid pressure actuator (1), the fluid-driven valve (V ') is integrally attached to the fluid control system, characterized in that consisting of a solenoid valve (V) for supplying a working fluid (a) to a fluid pressure actuator (1).
公开/授权文献:
- KR1019970007029A 유체제어 시스템 및 이것에 사용되는 밸브 公开/授权日：1997-02-21
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| F | 机械工程；照明；加热；武器；爆破 |
| --F16 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热 |
| ----F16K | 阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置 |
| ------F16K31/00 | 操作装置；释放装置 |
| --------F16K31/02 | .电力的；磁力的 |
| ----------F16K31/06 | ..使用磁铁 |