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    • 31. 发明公开
    • 하프 미러를 이용한 타원계측기
    • ELLIPSOMETER使用半透镜
    • KR1020100135121A
    • 2010-12-24
    • KR1020090053593
    • 2009-06-16
    • 한국표준과학연구원
    • 조용재조현모제갈원
    • G01N21/21G01N21/25G01N21/41G02B5/08
    • G01N21/211G02B27/143
    • PURPOSE: An ellipsometer using a half mirror is provided to analyze the exact property of matter by preventing optical interference due to a beam splitter. CONSTITUTION: An ellipsometer using a half mirror comprises a light source device(210), a polarized light device(220), a half mirror(230), an objective lens(240), an analyzer(260), and an optical detector(270). The polarized light device makes polarized light emitted from the light source device into a linear polarized light. The half mirror reflects the light passing through the polarized light device. The objective lens focuses light reflected from the half mirror to a specimen(250). The optical detector comprises a unit element for detecting the distribution of the intensity of the light passing through the analyzer.
    • 目的:提供使用半反射镜的椭圆光度计,通过防止由于分束器引起的光学干扰来分析物质的确切属性。 构成:使用半反射镜的椭偏仪包括光源装置(210),偏振光装置(220),半反射镜(230),物镜(240),分析器(260)和光学检测器 270)。 偏振光装置使从光源装置发出的偏振光成为线偏振光。 半反射镜反射通过偏振光装置的光。 物镜将从半反射镜反射的光聚焦到样品(250)。 光学检测器包括用于检测通过分析器的光的强度分布的单位元件。
    • 34. 发明公开
    • 고속 대면적 정밀측정 장치 및 방법
    • 用于定速和大面积的分钟测量仪器及其方法
    • KR1020090049954A
    • 2009-05-19
    • KR1020070116340
    • 2007-11-14
    • 한국표준과학연구원
    • 조용재제갈원조현모
    • G01B11/06G01N21/00G01B11/00B82Y35/00
    • G01B11/06G01Q30/02
    • 본 발명은 고속 대면적 정밀측정 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 초점 타원계측부에서 시편의 특성을 고속으로 측정한 후에, 특이점이 나타나는 위치를 정밀측정부에서 보다 상세하게 측정하는 고속 대면적 정밀측정 장치 및 방법에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명은 편광된 빛을 시편에 집중 조사한 후, 상기 시편으로부터 반사된 빛을 검출하여 상기 시편의 광학적 특성을 고속으로 측정하는 초점 타원계측부; 및 상기 시편의 광학적 특성 중 특이점이 나타나는 위치를 다시 원자 단위까지 측정하는 정밀측정부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 고속 대면적 정밀측정 장치를 제공한다. 상기 고속 대면적 정밀측정 장치는 초점 타원계측부에서 고속으로 시편의 광학적 특성을 측정한 후에, 특이점이 나타나는 위치를 정밀측정부에서 다시 세밀하게 측정함으로써 시편의 광학적 특이점을 신속하고 정밀하게 측정할 수 있는 효과가 있다.
      타원계측기, SPM, 탐침