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31. 发明公开

KR1020120079900A 기판 검사방법 및 장치 有权
标题翻译：基板检查方法及装置
公开(公告)号：KR1020120079900A
公开(公告)日：2012-07-16
申请号：KR1020110001235
申请日：2011-01-06
申请人： (주)에이앤아이
发明人： 오병준 , 전동철 , 박재성 , 김태영 , 박창건
IPC分类号： H05K13/08 , G01N21/88
CPC分类号： G01N21/9501
摘要： PURPOSE: A substrate test method and apparatus are provided to shorten inspection time by controlling a lot inspection in order to match with tact time of a sampling inspection or a process. CONSTITUTION: An indentation impression crack inspection table(200) inspects an indentation impression inspection and a crack inspection at the same time. The indentation impression inspection inspects the state of a conduction ball attached to a substrate. The crack inspection inspects cracks of a portion of the substrate in which a tap is attached. A tap align inspection table(300) is included in one housing(100). The tap align inspection table completely inspects tap align. An indentation impression inspection camera and a crack inspection camera are installed at the align inspection table.
摘要翻译：目的：提供一种基板测试方法和装置，通过控制批次检查来缩短检验时间，以便与采样检查或过程的节拍时间相匹配。构成：压痕印模裂纹检查台（200）同时检查压痕印模检查和裂纹检查。压痕印模检查检查附着在基板上的传导球的状态。裂纹检查检查其中附接有龙头的基板的一部分的裂纹。一个外壳（100）中包括一个丝锥对准检查台（300）。水龙头对准检查表完全检查水龙头对齐。对准检查台安装有压痕印模检查照相机和裂纹检查照相机。

32. 发明授权

KR101101980B1 디스플레이 기판의 이물질 검사장치 有权
标题翻译：用于检测显示器用基板颗粒的装置
公开(公告)号：KR101101980B1
公开(公告)日：2012-01-02
申请号：KR1020090083317
申请日：2009-09-04
申请人： (주)에이앤아이
发明人： 전동철 , 이철희 , 조기헌 , 박만석
IPC分类号： G01N21/89 , B65H7/02
摘要： 본 발명은 디스플레이 기판의 하면에 존재하는 이물질을 검사하는 수단을 설치하지 못하였던 종래 기술의 한계점을 극복한 것으로, 회전 롤러 샤프트간의 이격 간격 및 가이드 롤러의 직경의 제약을 받지않으면서도 디스플레이 기판의 하면에 형성된 이물질을 검출할 수 있도록 하며, 부가적으로 이동되고 있는 디스플레이 기판의 상하면에 존재하는 이물질을 동시에 검출할수 있게 되어, 이물질 검사에 소요되는 시간을 획기적으로 감축시킬 수 있도록 한 디스플레이 기판의 이물질 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 하며,
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 평행하게 설치된 다수의 회전 롤러 샤프트(11)와, 상기 각각의 회전 롤러 샤프트(11)상에 그 축방향으로 일정 간격 이격되게 장착되어 디스플레이 기판(1)의 하면(1b)을 지지하면서 상기 디스플레이 기판(1)을 이송 안내하는 다수의 가이드 롤러(12)로 이루어진 디스플레이 기판 반송수단(10)을 포함하여 이루어진 디스플레이 기판의 이물질 검사장치에 있어서, 상기 디스플레이 기판(1)의 하면(1b)에 존재하는 이물질을 검사하는 하면 이물질 검사수단(50)을 더 포함하되, 상기 하면 이물질 검사수단(50)은 상기 회전 롤러 샤프트(11)와 이웃한 다른 회전 롤러 샤프트(11) 각각에 장착된 가이드 롤러(12) 사이에 설치되되, 반사면(51a)에서 반사된 반사광(51b)이 상기 디스플레이 기판(1)의 하면(1b)에 도달하도록 일정한 각도로 경사지게 설치된 한 쌍의 광반사 미러(51)와; 상기 광반사 미러(51)의 반사면(51a)으로 광을 주사하는 한 쌍의 조명수단(52)과; 상기 광반사 미러(51)에서 반사되어 상기 디스플레이 기판(1)의 하면(1b)에도달된 반사광을 촬영하는 카메라(53)를 포함하여 구성되고, 상기 광반사 미러(51)는 반사면(51a)이 서로 마주보도록 대칭되게 일정 각도로 경사지게 설치되어 기판(1)의 하면(1b)에서 광 중첩을 형성하도록 배치되며; 상기 광반사 미러(51) 및 조명수단(52)은 상기 회전 롤러 샤프트(11)의 축방향과 동일한 방향으로 일정한 길이를 갖도록 설치되고; 상기 카메라(53)는 중첩된 반사광을 촬영하도록 배치되며; 상기 디스플레이 기판(1)의 상면(1a)으로 상향으로 이격되게 설치되어, 상기 디스플레이 기판(1) 상면(1b)에 존재하는 이물질을 검사하는 상면 이물질 검사수단(20)을 더 구비하되, 상기 상면 이물질 검사수단(20)은 상기 하면 이물질 검사수단(50)과 엇갈리게 설치된 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판의 이물질 검사장치를 제공한다.
디스플레이, 기판, 검사, 이물질

33. 发明授权

KR101023935B1 반도체 칩 배출방법 및 그 장치 失效
标题翻译：半导体芯片的放电方法及其器件
公开(公告)号：KR101023935B1
公开(公告)日：2011-03-29
申请号：KR1020090021640
申请日：2009-03-13
申请人： (주)에이앤아이
发明人： 오병준 , 임근영 , 황성찬 , 소순진 , 이형주 , 김천수
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/683 , H01L21/687 , H01L21/66
摘要： 본 발명은 반도체 칩 배출방법 및 그 장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 XY 스테이지를 통해 웨이퍼의 불량칩들을 에어리어 카메라 하부의 노즐 흡입위치로 이동한 후 노즐의 진공을 이용하여 불량칩을 직접 흡입하여 배출하기 때문에 노즐의 이동이 필요없어서 불량칩의 배출속도 및 생산성을 향상할 수 있고, 아울러 이젝트핀으로 불량칩을 미리 들어올려주기 때문에 노즐을 통한 불량칩의 흡입을 원활하게 할 수 있으며, 이젝트핀이 솔레이드에 의해 승하강 동작하므로 장시간 사용에 따른 마모가 거의 없어 유지보수에 유리한 반도체 칩 배출방법 및 그 장치에 관한 것이다.
반도체 칩, 웨이퍼, 배출, 노즐, 이젝트핀

34. 发明公开

KR1020090030368A 라벨 박리장치 无效
标题翻译：标签剥离装置
公开(公告)号：KR1020090030368A
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：KR1020070095613
申请日：2007-09-20
申请人： (주)에이앤아이 , 김성열
发明人： 김성열 , 오병준
IPC分类号： B65C9/12 , B65C9/00 , B65C9/08
CPC分类号： B65C9/0006 , B65C9/18 , B65C2009/0009 , B65C2009/0096
摘要： A label exfoliation device is provided to reduce the manufacturing cost as a label can be accurately positioned to the location of an absorber. A label exfoliation device comprises: a cancel unit(500) formed in the vertical hem unit surface(311) of exfoliation t edge unit(310) of exfoliation plate(300); a back and front driving unit(330) adhering a ground(100) closely to the vertical hem unit surface of the exfoliation edge part while the exfoliation plate is progressing; and a absorber(400) vacuum-absorbing a label(110).
摘要翻译：提供标签剥离装置以降低制造成本，因为标签可以准确地定位到吸收体的位置。标签剥离装置包括：形成在剥离板（300）的剥离性边缘单元（310）的垂直下摆单元表面（311）中的取消单元（500）; 背部和前部驱动单元（330），其在剥离板正在进行时将接地（100）紧密地粘附到剥离边缘部分的垂直下摆单元表面; 以及真空吸收标签（110）的吸收器（400）。

35. 实用新型

KR200420595Y1 광관련판요소의 검사장치 失效
标题翻译：背光单元的测试装置
公开(公告)号：KR200420595Y1
公开(公告)日：2006-07-04
申请号：KR2020060011012
申请日：2006-04-25
申请人： (주)에이앤아이
发明人： 전동철 , 이규호 , 박재성 , 신화영
IPC分类号： G02F1/13
CPC分类号： G02F1/1309 , G01N21/8806 , G02F1/133504
摘要： 광관련판요소의 검사장치가 개시된다. 개시된 광관련판요소의 검사장치는, 광관련판요소의 결함을 검사하는 광관련판요소의 검사장치에 있어서, 상기 광관련판요소의 영상을 촬영하는 적어도 하나의 카메라; 상기 카메라에서 촬영된 영상의 그레이값을 산출하고, 상기 영상의 그레이값을 이용하여 상기 카메라의 셔터 노출시간을 조절하는 제어부;를 포함한다.
광관련판요소, 백라이트유닛, 결함, 검사장치, 디스플레이장치

36. 实用新型

KR200401900Y1 3점 지지를 이용한 고정밀 틸트 스테이지 장치 失效
标题翻译：用于高精度倾斜台的装置由三个点支撑
公开(公告)号：KR200401900Y1
公开(公告)日：2005-11-22
申请号：KR2020050025831
申请日：2005-09-07
申请人： (주)에이앤아이
发明人： 오병준 , 이규호
IPC分类号： G01D11/30
摘要： 본 고안은 3점 지지를 이용한 고정밀 틸트 스테이지 장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 틸트 플레이트의 3점을 지지하여 평면도(기울기)를 조절할 수 있도록 함과 동시에 각 지점에 일대일 대응하도록 거리센서를 설치하여 피대상물과의 거리를 측정하도록 함으로서 피대상물의 평면도에 따라 카메라가 설치된 틸트 플레이트의 평면도가 가변조절되어 정확한 측정/검사작업이 가능하고 고부하에 견딜 수 있으며 정밀한 조정이 가능한 3점 지지를 이용한 고정밀 틸트 스테이지 장치에 관한 것이다.
이에 본 고안은 일정한 형태의 베이스 플레이트(11); 상기 베이스 플레이트(11)의 상측으로 일정간격 이격되어 설치되는 틸트 플레이트(20); 상기 베이스 플레이트(11)와 틸트 플레이트(20)의 사이에서 틸트 플레이트(20)의 적어도 3점을 지지하도록 설치되어 틸트 플레이트(20)의 기울기를 조절하는 기울기조절수단(30)을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

37. 发明公开

KR1020050099208A 물류이송 케이지 시스템 失效
标题翻译：用于分配的笼式系统
公开(公告)号：KR1020050099208A
公开(公告)日：2005-10-13
申请号：KR1020040024423
申请日：2004-04-09
申请人： (주)에이앤아이
发明人： 유형국 , 김형모
IPC分类号： B65G1/04
摘要： 본 발명은 케이지 내에 대용량의 화물을 신속히 실어 나를 수 있어 화물운송시간을 줄일 수 있도록 하는 물류이송 케이지 시스템을 제공한다.
상기 목적을 위하여 본 발명은 이동경로를 따라서 움직이는 대차의 하부에 설치되어 화물을 실고, 부릴 수 있는 물류이송 케이지 시스템에 있어서: 중심에 모터가 설치된 다각형상으로 이루어져 상기 대차에 연결부재에 연결된 프레임판; 상기 모터의 회전축에 일체로 회전되되, 복수개의 제 1 캠 홈들이 상기 회전축에 대칭되도록 형성된 캠 회전판; 상기 캠 홈들 내에서 상기 캠 회전판의 회전 운동에 의하여 직선운동으로 변환하는 제 1 캠 핀들과, 상기 제 1 캠 핀들의 직선운동에 의하여 내부의 화물을 적재하거나 부릴 수 있도록 하는 개폐수단을 포함하는 기술 구성이 개시된다.

38. 发明公开

KR1020040089781A 초정밀부품 장착설비의 칩 마운트 헤드 失效
标题翻译：用于超声波组件装载头的芯片安装头检查发送到喷嘴和喷嘴夹的负载
公开(公告)号：KR1020040089781A
公开(公告)日：2004-10-22
申请号：KR1020030023571
申请日：2003-04-15
申请人： (주)에이앤아이 , 오재윤
发明人： 오재윤 , 오병준
IPC分类号： H01L21/52
摘要： PURPOSE: A chip mount head for ultraprecision component loading equipment is provided to check a load transmitted to a nozzle and a nozzle clamp by installing a load cell at a nozzle clamp of the chip mount head. CONSTITUTION: A body(1) is used for setting a semiconductor chip package on a substrate. A head coupling member(3) is installed at the body. A motor(5) is installed at an upper side of the head coupling member. A head(9) is coupled to the head coupling member. A nozzle clamp(11) is installed in the inside of the head. A load cell(50) is installed in the inside of the head in order to be coupled to the nozzle clamp. A controller is installed at one side of the body in order to control the body according to a signal of the load cell.
摘要翻译：目的：提供用于超精密部件加载设备的芯片安装头，通过在芯片安装头的喷嘴夹具处安装称重传感器来检查传输到喷嘴和喷嘴夹具的负载。构成：本体（1）用于在基板上设置半导体芯片封装。头部联接构件（3）安装在身体上。马达（5）安装在头部联接构件的上侧。头部（9）联接到头部联接构件。喷嘴夹（11）安装在头部的内部。负载传感器（50）安装在头部的内部，以便联接到喷嘴夹。控制器安装在身体的一侧，以便根据称重传感器的信号来控制身体。

39. 发明授权

KR102037446B1 하부접속방식의 평판 디스플레이 패널용 검사장치 有权
公开(公告)号：KR102037446B1
公开(公告)日：2019-10-28
申请号：KR1020180095133
申请日：2018-08-14
申请人： 주식회사 티에스아이코리아 , (주)에이앤아이
发明人： 이철희 , 이을진 , 오병준 , 최성진 , 박창건
IPC分类号： G01R31/28 , G09G3/00 , H01L51/00

40. 发明授权

KR101782364B1 케이평균군집화를 통한 학습기반의 비전검사 방법 有权
标题翻译：基于均值聚类的视觉聚类K学习方法
公开(公告)号：KR101782364B1
公开(公告)日：2017-09-27
申请号：KR1020160062786
申请日：2016-05-23
申请人： (주)에이앤아이
发明人： 오병준 , 전동철 , 신원종
IPC分类号： G06T7/00 , G01N21/88 , G01N21/17 , G06F15/18
CPC分类号： G06T7/0004 , G01N21/88 , G01N2021/177 , G06F15/18 , G06T7/0008 , G06T7/001
摘要： 본발명의케이평균군집화를통한학습기반의비전검사방법은진성불량품의샘플인진성표본및 가성불량품의샘플인가성표본을동일한수로포함하여제1학습군이형성되고, 제1학습군으로부터수식화된진성데이터및 가성데이터가동일한수로구비되는제1데이터군을추출하고, 제1데이터군은 k개의그룹으로그룹핑되며각각의그룹별로특징점평균을구하여 k개의평균점으로구성되는케이평균군집화가수행되는케이평균군집화단계를거치고, k개의평균점에대입된제1데이터군을특징공간상에도식화하여진성데이터가위치하는진성영역및 가성데이터가위치하는가성영역의경계인분류기준을도출하는사전학습단계, 검사대상물인편광층이접착된디스플레이패널로부터추출되어수식화된피검데이터를특징공간상에대입하고분류기준을경계로하여특징공간상에서피검데이터가위치하는영역을판단하여검사대상물을진성불량또는가성불량으로판단하는불량판별단계및 사전학습단계에피검데이터를적용하여특징공간상의분류기준을수정하는추가학습단계를포함하고, k값은특징공간상에서진성영역및 가성영역의평균점간의거리가최대가되도록설정되고, 불량판별단계및 추가학습단계가반복수행된다.
摘要翻译：本发明的学习系通过K个均值聚类的视觉检查方法是具有相同数量的样品形成的第一研究组在本征缺陷从第一研究组样品固有样品和苛性缺陷，制剂的性样品第一个数据组被分组到k个组中，对每个组分组特征点平均值，并且执行由k个平均点组成的K个平均聚类。平均经受聚类步骤，用于示出分配给第k点平均在特征空间中得出的本征区域的区域苛性的边界段和所述伪数据的第一数据组之前的学习步骤，所述固有数据位置的位置，检查从附着有偏振层的显示面板提取并修改的测试数据代替特征空间，特征空间上的测试数据和它确定在其中施加到所述测试数据到缺陷判定步骤和确定对象的之前的学习步骤剪刀值与内在缺陷或苛性缺陷包括该特征空间上修改的片段，并且额外的学习步骤被检查的区域中，k的值是特征将空间中的本征区域与伪区域的平均点之间的距离设定为最大，并且重复执行故障判定步骤和附加学习步骤。

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