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21. 发明授权

KR101379547B1 자기 유동학적 마감 처리를 이용한 광학 소자의 처리 방법 및 시스템 有权
标题翻译：使用磁流体整理处理光学元件的方法和系统
公开(公告)号：KR101379547B1
公开(公告)日：2014-03-28
申请号：KR1020127005535
申请日：2010-08-02
申请人： 로렌스 리버모어 내쇼날 시큐리티, 엘엘시
发明人： 메나페이스조셉아써 , 샤퍼스캐슬린아이린 , 베이래미안앤드류제임스 , 몰랜더윌리엄에이.
IPC分类号： B24B49/00 , B24B13/00
CPC分类号： B24B31/112 , B24B1/005 , B24B13/00 , B24B49/12 , B24B51/00
摘要： 광학 소자의 마감 처리 방법은, 상기 광학 소자와 중첩되는 복수의 기준자(fiducial)를 포함하는 광학 마운트(optical mount)에 상기 광학 소자를 장착하는 단계, 및 상기 광학 소자와 상기 복수의 기준자에 대한 제1 측정 지도(metrology map)를 획득하는 단계를 포함한다. 상기 마감 처리 방법은 또한, 상기 복수의 기준자가 제외된 상기 광학 소자에 대한 제2 측정 지도를 획득하는 단계, 상기 제1 측정 지도 및 상기 제2 측정 지도 사이의 불일치 지도(difference map)를 형성하는 단계, 및 상기 제1 측정 지도와 상기 제2 측정 지도를 정렬하는 단계를 포함한다. 상기 마감 처리 방법은 또한, 제3 측정 지도를 형성하기 위하여 상기 불일치 지도를 이용하여 상기 제2 측정 지도에 수학적 기준자(mathematical fiducial)를 위치시키는 단계 및 상기 제3 측정 지도를 상기 광학 소자에 연관(associate)시키는 단계를 포함한다. 게다가, 상기 마감 처리 방법은, MRF 도구의 고정물(fixture)에 상기 광학 소자를 장착하는 단계, 상기 고정물에 상기 광학 소자를 위치시키는 단계, 상기 복수의 고정물을 제거하는 단계, 및 상기 광학 소자를 마감 처리하는 단계를 포함한다.

22. 发明授权

KR101333479B1 기판의 자기유변 마감을 수행하는 시스템 有权
标题翻译：一种基质的磁化学整理系统
公开(公告)号：KR101333479B1
公开(公告)日：2013-11-26
申请号：KR1020117018728
申请日：2010-03-02
申请人： 퀘드 테크놀러지즈 인터내셔날, 인크.
发明人： 코르돈스키윌리엄
IPC分类号： B24B57/02 , B24B31/00 , B24B37/00
CPC分类号： B24B1/005 , B24B31/102 , B24B31/112
摘要： 본 발명은 기판을 자기유변 마감하는 시스템으로서, 자기유변 마감 유체를 운반하는 구형의 휠은 제 1 및 제 2 갭에 의해 분리된 북극 및 남극 조각을 구비하는 중심을 관통하여 실린더형 공동이 형성된 가변-필드 영구자석시스템을 수용한다. 실린더 축에 수직으로 자화된 실린더형 영구자석은 공동 내에 회전 가능하게 배치된다. 액츄에이터는 상기 영구자석이 임의의 각도로 회전하는 것을 가능하게 하고, 상기 회전은 자극 조각을 통해 자기 회로에서 자속의 분포를 변경한다. 따라서, 필요한 자기장 세기를 제공하는 어떤 각도라도 영구자석을 위치시킴으로써 갭 내의 자기장 세기를 제어하는 것이 가능하다. 자기장은 또한 자극 조각 위를 통과하기 때문에, 휠 표면 외부에 프린징 필드를 정의하면, 가변 필드는 휠 위의 MR 유체층을 통해 연장하고, 따라서 마감 제어를 위한 필요에 따라 MR 유체의 경도를 변경한다.

23. 发明公开

KR1020120016850A 자기유변유체를 이용한 소형연마장치 有权
标题翻译：使用磁流变液的小型抛光装置
公开(公告)号：KR1020120016850A
公开(公告)日：2012-02-27
申请号：KR1020100079337
申请日：2010-08-17
申请人： 인하대학교 산학협력단
发明人： 조명우 , 김동우 , 홍광표
IPC分类号： B24B11/02 , B24B19/00 , B24D99/00
CPC分类号： B24B1/005 , B24B11/00
摘要： PURPOSE: A small grinder using magnetorheological fluid is provided to improve an availability of the grinder because a supporting bar is connected to a spindle of a CNC machining center or a micro machining center. CONSTITUTION: A small grinder using magnetorheological fluid comprises a permanent magnet(20), a cap(40), and a supporting bar(60). The permanent magnet is inserted to a receiving groove(42) of the cap. The supporting bar is joined to an end of the cap. The magnetic field of the permanent magnetic is generated by a rotation to a longitudinal direction. Magnetorheological fluid is flown by the magnetic field of the permanent magnetic, thereby grinding workpieces.
摘要翻译：目的：提供使用磁流变流体的小型磨床，以提高研磨机的可用性，因为支撑杆连接到CNC加工中心或微加工中心的主轴。构成：使用磁流变流体的小型研磨机包括永磁体（20），盖（40）和支撑杆（60）。永久磁铁被插入到盖的接收槽（42）中。支撑杆连接到盖的一端。永磁体的磁场通过向长度方向的旋转产生。磁流变流体由永磁体的磁场流动，从而研磨工件。

24. 发明公开

KR1020070116333A 절삭공구의 성능 향상을 위한 자기연마장치 有权
标题翻译：用于切割工具的磨料喷砂机
公开(公告)号：KR1020070116333A
公开(公告)日：2007-12-10
申请号：KR1020060050230
申请日：2006-06-05
申请人： 주식회사 윈트
发明人： 양순철 , 김창운 , 정윤교 , 조종래
IPC分类号： B24B3/00 , B24B1/00
CPC分类号： B24B1/005 , B24B31/003 , B24B47/12
摘要： A magnetic abrasive polishing machine for a cutting tool is provided to perform precise polishing of 3-dimensional compound shapes and to polish a workpiece having complex shape, since a magnetic abrasive arranged linearly to a line of magnetic force compresses and polishes the workpiece by magnetic force. A magnetic abrasive polishing machine for a cutting tool comprises a driving motor(10), a multi-head(12), a vessel(16), and a magnet(14). The driving motor generates a predetermined driving force. The multi-head receives driving force from the driving motor for up/down reciprocating movement while rotating, and is provided with a chuck(12a) for clamping the cutting tool. The container is disposed below the multi-head and charged with a magnetic abrasive(18) mixed with magnetic fluid and abrasive media. The magnet is respectively disposed on opposite sides of the vessel, having a predetermined space therebetween, and forms a magnetic field.
摘要翻译：提供了一种用于切削工具的磁性研磨抛光机，用于对三维复合形状进行精确抛光，并对具有复杂形状的工件进行抛光，因为与磁力线直线配置的磁性磨料通过磁力压缩和抛光工件。一种用于切削工具的磁性研磨抛光机包括驱动马达（10），多头（12），容器（16）和磁体（14）。驱动电动机产生预定的驱动力。多头在旋转的同时接受来自驱动电动机的上下往复运动的驱动力，并设有用于夹紧切削工具的卡盘（12a）。容器设置在多头下方，并装有与磁性流体和磨料介质混合的磁性磨料（18）。磁体分别设置在容器的相对侧上，其间具有预定的间隔，并形成磁场。

25. 发明公开

KR1020030036039A 초상자성 도메인을 갖는 열분해법으로 제조된 연마제 입자를 함유하는 분산액, 이의 제조방법 및 이를 사용한 화학적 기계적 연마방법 失效
标题翻译：含有超级颗粒的磨粒和通过热解法生产的分散体，其制备方法和使用分散体的化学机械抛光方法
公开(公告)号：KR1020030036039A
公开(公告)日：2003-05-09
申请号：KR1020020066444
申请日：2002-10-30
申请人： 에보니크 데구사 게엠베하
发明人： 고트프리트하이코 , 프리될마르쿠스 , 트라게저베르톨트 , 짐머만귀도 , 헤베러슈테판 , 뮐렌벡하이케
IPC分类号： C09K3/14
CPC分类号： B82Y25/00 , B24B1/005 , H01F1/0063 , H01F1/36 , H01F1/44
摘要： PURPOSE: A dispersion containing an abrasive grain having the superparamagnetic domain and produced by the pyrolytic process, its preparation method and a chemical mechanical polishing method using the dispersion are provided, to prevent the reduction of surface removing rate and the uneven polishing. CONSTITUTION: The dispersion comprises the abrasive grain showing the superparamagnetic metal oxide domain in non-magnetic metal matrix or metalloid oxide matrix and produced by the pyrolytic process; and optionally 0.3-20 wt% of at least one oxidizing agent, 0.001-2 wt% of at least one oxidation activator, 0.001-2 wt% of at least one corrosion inhibitor and/or 0.001-10 wt% of at least one surface activator. Preferably the particle of the dispersion has an average particle size less than 400 nm, a BET surface area of 50-600 m2/g, a pH of 3-12 and a solid content of 0.1-70 wt%.
摘要翻译：目的：提供含有具有超顺磁性结构并由热解法制造的磨粒的分散体，其制备方法和使用该分散体的化学机械研磨方法，以防止表面去除率降低和不均匀抛光。构成：分散体包括在非磁性金属基体或准金属氧化物基体中显示超顺磁性金属氧化物结构的磨粒，并通过热解过程产生; 和任选的0.3-20重量％的至少一种氧化剂，0.001-2重量％的至少一种氧化活化剂，0.001-2重量％的至少一种腐蚀抑制剂和/或0.001-10重量％的至少一个表面活化剂。优选地，分散体的颗粒的平均粒度小于400nm，BET表面积为50-600m 2 / g，pH为3-12，固体含量为0.1-70重量％。

26. 发明授权

KR1019950004923B1 미소연마방법 및 미소연마공구 失效
标题翻译：研磨方法与工具
公开(公告)号：KR1019950004923B1
公开(公告)日：1995-05-16
申请号：KR1019920007781
申请日：1992-05-08
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 미즈구치신이치 , 카토코지 , 우메하라노리쯔구
IPC分类号： B24B37/00 , B24B13/00
CPC分类号： B23Q1/34 , B24B1/005 , B24B1/04 , B24B13/00 , B24B35/00
摘要： 내용 없음.

27. 发明授权

KR101680866B1 마스크블랭크용 기판 有权
标题翻译：掩蔽空白基板
公开(公告)号：KR101680866B1
公开(公告)日：2016-11-29
申请号：KR1020127023276
申请日：2009-11-25
申请人： 호야 가부시키가이샤
发明人： 사사키다츠야 , 미야자키다카히로
IPC分类号： G03F1/38 , G03F1/80 , H01L21/027 , C03C17/36
CPC分类号： G03F1/50 , B24B1/005 , B24B37/042 , C03C19/00 , G03F1/14 , G03F1/60 , G03F7/20
摘要： 척전후의주표면의평탄도변화를보다작게하고, 포토마스크기인의위치어긋남을매우적게할 수있고, 또한, 포토마스크마다의척 전후의기판변형경향의상위를매우적게할 수있는것. 본발명의마스크블랭용기판은 2개의주표면과 4개의단면을가지는기판의주표면에중심점을설정하고, 그중심점을지나어느한 단면에평행한제 1 대칭축과, 상기중심점을지나제 1 대칭축에직교하는제 2 대칭축을각각설정하고, 상기제 1 대칭축및 제 2 대칭축을기준으로그리드형상으로측정점을설정하여기준면으로부터의상기주표면의높이를각각측정하고, 상기제 1 대칭축을기준으로선대칭위치에있는측정점끼리에대해높이측정값의차분을산출하고, 산출한높이측정값의차분에대해서, 모든개수중 적어도 95%에해당하는개수의차분이소정값이내인것을특징으로한다.
摘要翻译：提供了一种掩模基板，其能够减少夹紧前后的主表面的平坦度的变化，从而使得由光掩模引起的位置偏移非常小，并且可以显着地减少夹具之前和之后的基板变形趋势之间的差异光掩膜。在具有两个主表面和四个端面的掩模坯料基板中，中心点设置在主表面上，第一对称轴线穿过中心点并平行于一个端面，第二轴线分别设置穿过中心点并且垂直于第一对称轴线的对称性，测量点相对于第一对称轴和第二对称轴设置为网格的形式，以便测量高度在测量点处从参考平面分别计算在位于相对于第一对称轴对称的位置的那些测量点处的测量高度值之间的差异，并且这些差异对应于至少95 计算出的测量高度值之差的总数的百分比在预定值内。

28. 发明授权

KR101391810B1 MR유체를 이용한 연마시스템 有权
标题翻译：使用MR流体的抛光系统
公开(公告)号：KR101391810B1
公开(公告)日：2014-05-12
申请号：KR1020130015885
申请日：2013-02-14
申请人： 인하대학교 산학협력단
发明人： 조명우 , 이정원 , 하석재 , 조용규
IPC分类号： B24B1/00 , B24B57/02
CPC分类号： B24B1/005 , B24B57/02
摘要： The present invention provides a polishing system using an MR fluid. The polishing system comprises: a wheel member vertically arranged into the shape of a disk and rotated by a driving unit; a workpiece support member coupled to a workpiece to support the workpiece so that the workpiece can be arranged close to the horizontal direction of the wheel member and to longitudinally and laterally move the workpiece; a magnetic field supply unit connected to the wheel member to form a magnetic field on the wheel member; an MR fluid supply unit arranged close to the wheel member to supply MR fluid to the surface of the wheel member; and a polishing material supply unit arranged close to the wheel member to supply polishing materials to the surface of the MR fluid. The magnetic field supply unit comprises: an electromagnet core part having an electromagnet; a pair of rotary member cores arranged close to the upper part of the electromagnet core part, facing each other on the wheel member to surround both sides of the wheel member, and receiving the magnetic field of the electromagnet to form the magnetic field on the wheel member; and a rotation unit supporting upward the pair of rotary member cores and rotating the pair of rotary member cores on a vertical shaft perpendicular to a rotary shaft of the wheel member as a rotary shaft. Thus, the present invention can reduce rotary transportation load against the axial rotation by separating the electromagnet core part and the rotary member core parts and can ultraprecisely polish the workpiece, such as a lens, because it enables precise transportation.
摘要翻译：本发明提供一种使用MR流体的抛光系统。抛光系统包括：垂直地布置成盘形并由驱动单元旋转的轮构件; 工件支撑构件，其联接到工件以支撑工件，使得工件可以布置成靠近轮构件的水平方向并且纵向和横向移动工件; 连接到所述车轮构件以在所述车轮构件上形成磁场的磁场供应单元; 布置在所述轮构件附近的MR流体供应单元，以向所述轮构件的表面供应MR流体; 以及抛光材料供给单元，其布置成靠近所述轮构件以将抛光材料供应到所述MR流体的表面。磁场供给单元包括：具有电磁体的电磁铁芯部; 一对旋转构件芯，其布置在电磁铁芯部分的上部附近，在轮构件上彼此面对以围绕车轮构件的两侧，并且接收电磁体的磁场以在车轮上形成磁场会员; 以及旋转单元，其向上支撑所述一对旋转构件芯，并且将所述一对旋转构件芯作为旋转轴在垂直于所述轮构件的旋转轴的垂直轴上旋转。因此，通过分离电磁铁部件和旋转部件芯部，本发明能够降低旋转运送负荷，因此能够精确地进行运输，因此可以对透镜等工件进行超精密抛光。

29. 发明公开

KR1020120066631A 자기 유동학적 마감 처리를 이용한 광학 소자의 처리 방법 및 시스템 有权
标题翻译：使用磁流体整理处理光学元件的方法和系统
公开(公告)号：KR1020120066631A
公开(公告)日：2012-06-22
申请号：KR1020127005535
申请日：2010-08-02
申请人： 로렌스 리버모어 내쇼날 시큐리티, 엘엘시
发明人： 메나페이스조셉아써 , 샤퍼스캐슬린아이린 , 베이래미안앤드류제임스 , 몰랜더윌리엄에이.
IPC分类号： B24B49/00 , B24B13/00
CPC分类号： B24B31/112 , B24B1/005 , B24B13/00 , B24B49/12 , B24B51/00
摘要： 광학 소자의 마감 처리 방법은, 상기 광학 소자와 중첩되는 복수의 기준자(fiducial)를 포함하는 광학 마운트(optical mount)에 상기 광학 소자를 장착하는 단계, 및 상기 광학 소자와 상기 복수의 기준자에 대한 제1 측정 지도(metrology map)를 획득하는 단계를 포함한다. 상기 마감 처리 방법은 또한, 상기 복수의 기준자가 제외된 상기 광학 소자에 대한 제2 측정 지도를 획득하는 단계, 상기 제1 측정 지도 및 상기 제2 측정 지도 사이의 불일치 지도(difference map)를 형성하는 단계, 및 상기 제1 측정 지도와 상기 제2 측정 지도를 정렬하는 단계를 포함한다. 상기 마감 처리 방법은 또한, 제3 측정 지도를 형성하기 위하여 상기 불일치 지도를 이용하여 상기 제2 측정 지도에 수학적 기준자(mathematical fiducial)를 위치시키는 단계 및 상기 제3 측정 지도를 상기 광학 소자에 연관(associate)시키는 단계를 포함한다. 게다가, 상기 마감 처리 방법은, MRF 도구의 고정물(fixture)에 상기 광학 소자를 장착하는 단계, 상기 고정물에 상기 광학 소자를 위치시키는 단계, 상기 복수의 고정물을 제거하는 단계, 및 상기 광학 소자를 마감 처리하는 단계를 포함한다.

30. 发明公开

KR1020110117149A 기판의 자기유변 마감을 수행하는 시스템 有权
标题翻译：一种基质的磁化学整理系统
公开(公告)号：KR1020110117149A
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：KR1020117018728
申请日：2010-03-02
申请人： 퀘드 테크놀러지즈 인터내셔날, 인크.
发明人： 코르돈스키윌리엄
IPC分类号： B24B57/02 , B24B31/00 , B24B37/00
CPC分类号： B24B1/005 , B24B31/102 , B24B31/112
摘要： 본 발명은 기판을 자기유변 마감하는 시스템으로서, 자기유변 마감 유체를 운반하는 구형의 휠은 제 1 및 제 2 갭에 의해 분리된 북극 및 남극 조각을 구비하는 중심을 관통하여 실린더형 공동이 형성된 가변-필드 영구자석시스템을 수용한다. 실린더 축에 수직으로 자화된 실린더형 영구자석은 공동 내에 회전 가능하게 배치된다. 액츄에이터는 상기 영구자석이 임의의 각도로 회전하는 것을 가능하게 하고, 상기 회전은 자극 조각을 통해 자기 회로에서 자속의 분포를 변경한다. 따라서, 필요한 자기장 세기를 제공하는 어떤 각도라도 영구자석을 위치시킴으로써 갭 내의 자기장 세기를 제어하는 것이 가능하다. 자기장은 또한 자극 조각 위를 통과하기 때문에, 휠 표면 외부에 프린징 필드를 정의하면, 가변 필드는 휠 위의 MR 유체층을 통해 연장하고, 따라서 마감 제어를 위한 필요에 따라 MR 유체의 경도를 변경한다.

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