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21. 发明公开

KR1020110082949A 절연용 유리부분을 포함하는 수직관통형 금속 전극의 제작 방법 无效
标题翻译：通过金属的制造方法，包括用于绝缘的玻璃区域
公开(公告)号：KR1020110082949A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：KR1020100002897
申请日：2010-01-12
申请人： 서울대학교산학협력단
发明人： 김용권 , 박재형 , 유병욱
IPC分类号： H01L21/60 , H01L23/48 , H01L23/12
摘要： PURPOSE: A method for manufacturing a vertically penetrated metal electrode including an insulating glass part is provided to plate or deposit metal on the circumference of a low resistive silicon pillar, thereby lowering the resistance of a penetration resistor under an existing via resistance. CONSTITUTION: A protection pattern for forming a low resistance silicon pillar is formed on one side of a low resistance silicon wafer(S100). The low resistance silicon wafer is etched to form a low resistance silicon pillar(S200). Metal is plated or deposited on the low resistance silicon wafer(S300). The low resistance silicon wafer is bonded with a glass wafer(S400). The bonded glass wafer is dissolved(S500). The bonded low resistance silicon wafer and both sides of the glass wafer are processed(S600).
摘要翻译：目的：提供一种用于制造包括绝缘玻璃部件的垂直穿透的金属电极的方法，以在低电阻硅柱的圆周上镀金或沉积金属，从而降低了现有通孔电阻下的穿透电阻器的电阻。构成：在低电阻硅晶片的一侧形成用于形成低电阻硅柱的保护图案（S100）。蚀刻低电阻硅晶片以形成低电阻硅柱（S200）。将金属电镀或沉积在低电阻硅晶片上（S300）。低电阻硅晶片与玻璃晶片（S400）接合。粘合玻璃晶片溶解（S500）。处理粘合低电阻硅晶片和玻璃晶片的两侧（S600）。

22. 发明公开

KR1020100096661A 마이크로전자기계시스템을 이용한 가속도 가변 관성 스위치 失效
标题翻译：使用MEMS的加速度变量的INERTIA开关
公开(公告)号：KR1020100096661A
公开(公告)日：2010-09-02
申请号：KR1020090015654
申请日：2009-02-25
申请人： 전북대학교산학협력단 , 서울대학교산학협력단
发明人： 김정무 , 김용권 , 장윤호
IPC分类号： G01P15/00 , G01P15/08
CPC分类号： G01P15/0802 , G01B7/003 , G01P2015/0808 , G01P2015/0868
摘要： PURPOSE: An acceleration varying inertia switch using a micro electro mechanical system is provided to prevent the abuse of resources by varying the acceleration of the inertia switch by varying an elastic member constant value. CONSTITUTION: A first driver(100) is secured to the bottom of a stator. A second driver(200) is separated from the bottom of the first driver by a predetermined length. A contact unit(300) is switched with a gap of the transmission line through vertical feeding and horizontal feeding. An elastic member(400) supports the driver.
摘要翻译：目的：提供使用微机电系统的加速度变化惯性开关，通过改变弹性构件常数值来改变惯性开关的加速度来防止资源的滥用。构成：第一个驱动器（100）固定在定子的底部。第二驱动器（200）与第一驱动器的底部分开预定的长度。接触单元（300）通过垂直馈送和水平馈送通过传输线的间隙切换。弹性构件（400）支撑驾驶员。

23. 发明公开

KR1020170106079A 이중 질량체 구조의 가속도 스위치 및 이의 제조방법 有权
标题翻译：双质量结构加速度计开关及其制造方法
公开(公告)号：KR1020170106079A
公开(公告)日：2017-09-20
申请号：KR1020160029750
申请日：2016-03-11
申请人： 서울대학교산학협력단
发明人： 장석원 , 김용권 , 황정기
IPC分类号： H02N1/08 , G01P15/08 , G11B23/00
摘要： 본발명은이중질량체구조의가속도스위치에관한것으로, 가속도스위치에인가된가속도가 0이될 경우, 주질량체에복원력을인가하여고정형접촉스위치로부터주 질량체가이격되도록하는보조질량체를이용해주 질량체와고정형접촉스위치접촉에의한점착(Stiction) 현상을해결할수 있어가속도스위치의신뢰성을향상할수 있도록한 것이다.
摘要翻译：本发明涉及到双质量结构，该加速度在加速度被施加到开关的加速度开关达到零，让使用了在该主要质量施加恢复力上的辅块，使得主质量与固定触点开关的质量和固定远离可以解决接触开关触点造成的静摩擦现象，从而提高加速度开关的可靠性。

24. 发明授权

KR101712940B1 미세 유체칩을 이용한 나노입자 분리 및 이를 이용한 생체물질분석방법 有权
标题翻译：使用微流控芯片进行纳米粒子分离和使用相同的生物材料测定方法
公开(公告)号：KR101712940B1
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：KR1020160015542
申请日：2016-02-11
申请人： 서울대학교산학협력단
发明人： 김용권 , 이윤식 , 고율 , 강호만
IPC分类号： G01N35/08 , G01N35/00 , B01L3/00 , C01B21/068 , C23C16/24 , C23C16/44
CPC分类号： G01N33/54326 , B01L3/502753 , B01L2200/12 , B01L2300/0867 , B01L2300/0874 , B01L2400/043 , B01L2400/086 , C23C16/0245 , C23C16/345 , C23C16/401 , Y10T436/255
摘要： 본발명은미세유체칩을이용한나노입자의분리및 이를이용하는생체물질분석방법에관한발명이다. 본발명에따른미세유체칩은보다민감하고정밀하게분석대상을검출하는효과가있으며, 상기본 발명에따른미세유체칩을이용하여생체물질분석방법을통해분석을실시하면본 발명과같은나노입자분리홀을이용하여크기에따른나노입자의분리가가능하므로신뢰성높은생체물질의분석이가능하다. 결과적으로본 발명에따른미세유체칩은분리하려는나노입자의크기에맞는맞춤형나노입자분리홀을제작한후, 이를이용하여생체물질분석의신뢰도를크게높일수 있는발명에관한것으로서, 미세유체공학및 미세유체시스템을통한분석의신뢰도를크게향상시킬수 있다.
摘要翻译：本发明涉及使用微流控芯片分离纳米粒子并分析生物物质的方法。本发明的微流体芯片对于分析物的敏感性和精确度的检测是有效的。根据本发明，微流控芯片的使用使得能够基于尺寸将分离孔分离成纳米粒子，实现对生物物质的高度可靠的分析。总之，本发明的微流体芯片使用适合于纳米颗粒尺寸的分离孔，以大大提高生物物质分析的可靠性，这将有助于基于微流体和微流体系统的分析可靠性的显着提高。

25. 发明授权

KR101380497B1 마이크로 렌즈를 구비한 광학장치 및 이의 제작방법 有权
标题翻译：具有微生物的光学装置及其制造方法
公开(公告)号：KR101380497B1
公开(公告)日：2014-04-01
申请号：KR1020130036210
申请日：2013-04-03
申请人： 서울대학교산학협력단
发明人： 유승현 , 김용권 , 진주영 , 하준근
IPC分类号： B81C1/00 , B81B7/02 , G02B3/00 , G02B7/00
摘要： According to an embodiment of the present invention, in a method for fabricating an optical device having a micro lens, an optical device fabricating method comprises a step of bonding a first glass substrate to a main substrate formed with a first cavity; a step of filling the cavity with glass by a first thermal reflow process; a step of forming a glass column from the glass filled in the cavity; a step of forming a micro lens from the glass column by a second thermal reflow process; and a step of forming a driving apparatus of an optical device on the main substrate. [Reference numerals] (AA) Start; (BB) End; (S110) Etch a silicon substrate; (S120) Bond glass to the silicon substrate; (S130) First thermal reflow; (S140) Form a glass column; (S150) Form a lens by a second thermal reflow process; (S160) Wet etch the glass; (S170) Anodic bonding; (S180) Polish the silicon substrate and deposit a mask; (S190) Etch the silicon substrate; (S200) Package
摘要翻译：根据本发明的实施例，在一种具有微透镜的光学器件的制造方法中，光学器件制造方法包括将第一玻璃衬底接合到形成有第一腔的主衬底的步骤; 通过第一热回流工艺用玻璃填充空腔的步骤; 从填充在空腔中的玻璃形成玻璃柱的步骤; 通过第二热回流工艺从玻璃柱形成微透镜的步骤; 以及在主基板上形成光学装置的驱动装置的步骤。（附图标记）（AA）开始; （BB）结束; （S110）蚀刻硅衬底; （S120）将玻璃贴到硅衬底上; （S130）第一热回流; （S140）形成玻璃柱; （S150）通过第二热回流工艺形成透镜; （S160）湿法蚀刻玻璃; （S170）阳极接合; （S180）抛光硅衬底并沉积掩模; （S190）蚀刻硅衬底; （S200）包装

26. 发明授权

KR101270136B1 ＭＥＭＳ 공진기 有权
标题翻译： MEMS谐振器
公开(公告)号：KR101270136B1
公开(公告)日：2013-06-04
申请号：KR1020110045276
申请日：2011-05-13
申请人： (주)마이크로인피니티 , 전북대학교산학협력단 , 서울대학교산학협력단
发明人： 김정무 , 김용권 , 박현우 , 송진우 , 정형균 , 김도형
IPC分类号： H03H9/24 , H01P7/00 , B81B7/02
摘要： 차분 구동의 장점을 그대로 유지하면서도 잡음의 원인이 되는 피드 쓰루 정전용량을 대폭 축소시키는 MEMS 공진기가 제공된다. 본 발명의 MEMS 공진기는 기판, 상기 기판 상부에 위치하는 진동자, 상기 기판 상부에 위치하고, 상기 진동자의 양측에, 상기 진동자와 비접촉하여 위치하는 제1고정자 및 제2고정자를 포함하되, 상기 제1 고정자는 제1 구동전극과, 제1 감지전극을 포함하고, 상기 제2 고정자는 제2 구동전극과, 제2 감지전극을 포함하고, 상기 제1 및 제2 구동전극은 각각 제1 및 제2 구동신호를 제공받고, 상기 제1 및 제2 감지전극은 상기 제1 및 제2 구동신호에 따른 출력신호를 출력할 수 있다.

27. 发明公开

KR1020160021176A 미세 유체칩을 이용한 나노입자 분리 및 이를 이용한 생체물질분석방법 有权
标题翻译：使用微流控芯片和使用其的生物测定方法的纳米分离
公开(公告)号：KR1020160021176A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：KR1020160015542
申请日：2016-02-11
申请人： 서울대학교산학협력단
发明人： 김용권 , 이윤식 , 고율 , 강호만
IPC分类号： G01N35/08 , G01N35/00 , B01L3/00 , C01B21/068 , C23C16/24 , C23C16/44
CPC分类号： G01N33/54326 , B01L3/502753 , B01L2200/12 , B01L2300/0867 , B01L2300/0874 , B01L2400/043 , B01L2400/086 , C23C16/0245 , C23C16/345 , C23C16/401 , Y10T436/255
摘要： 본발명은미세유체칩을이용한나노입자의분리및 이를이용하는생체물질분석방법에관한발명이다. 본발명에따른미세유체칩은보다민감하고정밀하게분석대상을검출하는효과가있으며, 상기본 발명에따른미세유체칩을이용하여생체물질분석방법을통해분석을실시하면본 발명과같은나노입자분리홀을이용하여크기에따른나노입자의분리가가능하므로신뢰성높은생체물질의분석이가능하다. 결과적으로본 발명에따른미세유체칩은분리하려는나노입자의크기에맞는맞춤형나노입자분리홀을제작한후, 이를이용하여생체물질분석의신뢰도를크게높일수 있는발명에관한것으로서, 미세유체공학및 미세유체시스템을통한분석의신뢰도를크게향상시킬수 있다.
摘要翻译：本发明涉及使用微流控芯片分离纳米颗粒和使用其的生物材料分析方法。根据本发明，微流控芯片具有以敏感且精确的方式检测分析对象的效果。根据本发明，在通过使用微流体芯片的生物材料分析方法进行分析的情况下，通过使用本发明的纳米粒子分离孔来分离纳米颗粒相对于尺寸，从而分析具有高可靠性。结果，根据本发明，微流控芯片涉及本发明，其能够在制造根据要分离的纳米颗粒尺寸的纳米颗粒分离孔之后，通过使用该微生物材料分析孔，显着提高生物材料分析的可靠性。因此，微流控芯片能够通过微流体和微流体系统显着提高分析的可靠性。

28. 发明公开

KR1020140068758A 미세 유체칩을 이용한 나노입자 분리 및 이를 이용한 생체물질분석방법 无效
标题翻译：使用微流控芯片和使用其的生物测定方法的纳米分离
公开(公告)号：KR1020140068758A
公开(公告)日：2014-06-09
申请号：KR1020130139222
申请日：2013-11-15
申请人： 서울대학교산학협력단
发明人： 김용권 , 이윤식 , 고율 , 강호만
IPC分类号： G01N35/08 , G01N33/48
CPC分类号： G01N33/54326 , B01L3/502753 , B01L2200/12 , B01L2300/0867 , B01L2300/0874 , B01L2400/043 , B01L2400/086 , C23C16/0245 , C23C16/345 , C23C16/401 , Y10T436/255
摘要： The present invention relates to the separation of a nanoparticle using a microfluidic chip and a method for analyzing a biomaterial using the same. The microfluidic chip according to the present invention has an effect of more sensitively and precisely detecting an object. The method for analyzing a biomaterial using the microfluidic chip according to the present invention enables the reliable analysis of a biomaterial since the separation of nanoparticles according to the size of the nanoparticles using nanoparticle separation holes. The microfluidic chip according to the present invention can increase the reliability of the analysis of a biomaterial using customized nanoparticle separation holes corresponding to the size of the nanoparticles to be separated. The present invention can greatly improve the reliability of analysis through microfluidic engineering and a microfluidic system.
摘要翻译：本发明涉及使用微流控芯片分离纳米颗粒，以及使用其分析生物材料的方法。根据本发明的微流体芯片具有更灵敏和精确地检测物体的效果。根据本发明的使用微流控芯片分析生物材料的方法能够对生物材料进行可靠的分析，因为根据使用纳米颗粒分离孔的纳米颗粒的尺寸分离纳米颗粒。根据本发明的微流体芯片可以使用与待分离的纳米颗粒的尺寸相对应的使用定制的纳米颗粒分离孔来增加对生物材料的分析的可靠性。本发明可以通过微流体工程和微流体系统大大提高分析的可靠性。

29. 发明公开

KR1020110002952A 온도 조절 기능을 구비한 비드 기반 마이크로칩 有权
标题翻译：具有温度控制单元的基于BEAD的微型计算机
公开(公告)号：KR1020110002952A
公开(公告)日：2011-01-11
申请号：KR1020090060498
申请日：2009-07-03
申请人： 서울대학교산학협력단
发明人： 이윤식 , 김병기 , 김용권 , 심태석 , 이보람 , 윤효진 , 고율
IPC分类号： G01N33/543 , C12M1/38 , G01N33/53
摘要： PURPOSE: A bead-based microchip with a temperature control function is provided to shorten chemical reaction time and to simplify test procedure. CONSTITUTION: A bead-based microchip with a temperature control function comprises: a microchip body(140) with a first reaction chamber(142) and second reaction chamber(144) which are connected through a fluid channel; a bead filled in the reaction chamber in which a ligand is fixed on the surface; a heater(150) which is attached on the lower side of the microchip body; and a cover(130) which is attached at the upper side of the microchip body and has a sample inlet and enzyme inlet.
摘要翻译：目的：提供具有温度控制功能的珠粒微芯片，以缩短化学反应时间并简化测试程序。构成：具有温度控制功能的珠粒微芯片包括：具有通过流体通道连接的第一反应室（142）和第二反应室（144）的微芯片体（140）; 填充在反应室中的珠子，其中配体固定在表面上; 加热器（150），其安装在所述微芯片体的下侧; 以及附接在微芯片体的上侧并具有样品入口和酶入口的盖（130）。

30. 发明授权

KR101445028B1 구동 각도가 향상된 실리콘 질화막 스캐너 및 이의 제조방법 有权
标题翻译：具有改进倾斜角的硅氮化物扫描仪及其制造方法
公开(公告)号：KR101445028B1
公开(公告)日：2014-09-26
申请号：KR1020130036211
申请日：2013-04-03
申请人： 서울대학교산학협력단
发明人： 진주영 , 김용권 , 유승현 , 배재성
IPC分类号： G02B26/10 , G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841 , B81C2201/014 , B81C2201/0181 , G02B26/105
摘要： The present invention relates to a silicon nitride layer scanner with an improved tilt angle and a manufacturing method thereof and, more specifically, to a silicon nitride layer scanner including a silicon nitride layer; a grid which is connected to the outer lower part of the silicon nitride layer and supports the silicon nitride layer; a plurality of fixing comb teeth which is connected to the outer surface of the grid wherein the comb teeth are arranged at fixed intervals.
摘要翻译：本发明涉及具有改进的倾斜角的氮化硅层扫描器及其制造方法，更具体地说，涉及包括氮化硅层的氮化硅层扫描器; 栅格，其与氮化硅层的外部下部连接并支撑氮化硅层; 多个固定梳齿连接到格栅的外表面，其中梳齿以固定间隔布置。

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