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11. 发明授权

KR102340495B1 스펙트럼 분석을 사용하는 간섭측정식 인코더 有权
公开(公告)号：KR102340495B1
公开(公告)日：2021-12-16
申请号：KR1020177003982
申请日：2015-07-14
IPC分类号： G01D5/347 , G01D5/26 , G01B9/02
摘要： 인코더스케일의강체운동의자유도에대한정보를결정하는것은: 제 1 빔을인코더스케일을향해디렉팅하는단계로서, 상기제 1 빔은인코더스케일로부터회절되는, 단계; 간섭하는출력빔을형성하도록상기제 1 빔의회절된성분을제 2 빔과결합하는단계; 상기제 1 빔과제 2 빔의파장의함수로서상기출력빔의변화를모니터링하는단계; 및파장의함수로서의상기출력빔의변화에기초하여상기인코더스케일의강체운동의자유도에대한정보를결정하는단계를포함한다.

12. 发明授权

KR102326133B1 공통 경로 통합 저 가간섭성 간섭계법 시스템 및 그 방법 有权
公开(公告)号：KR102326133B1
公开(公告)日：2021-11-15
申请号：KR1020187001167
申请日：2016-06-16
IPC分类号： G01B9/02
摘要： 평면광파회로의일부로서적어도부분적으로통합되는공통경로간섭계를포함하는저 가간섭성간섭계법이미징시스템이개시된다. 본발명에따른이미징시스템은고도의파장감응성컴포넌트의포함없이통합된광학장치에서구현된다. 결과적으로, 그들은종래기술의 PLC 기반의간섭계보다더 적은파장의존성을나타낸다. 또한, 본발명의공통경로간섭계배열은종래기술의 PLC 기반의간섭계를괴롭히는편광및 파장분산효과를방지한다. 여전히또한, 통합된공통경로간섭계는다른통합간섭계보다더 작고덜 복잡한데, 이것은, 단일의칩 상에다수의간섭계를통합하는것을가능하게만들고, 그에의해평면파 병렬 OCT 시스템과같은다중신호시스템을가능하게한다.

13. 发明授权

KR102299184B1 광간섭 단층촬영장치를 활용한 레이저 용접 모니터링 시스템 有权
公开(公告)号：KR102299184B1
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：KR1020200125591
申请日：2020-09-28
IPC分类号： G01B11/24 , G01B9/02 , G01N33/207 , G01N21/17
摘要： 본발명은레이저용접모니터링시스템에관한것으로서, 더욱상세하게는광 간섭계를활용하여용접의키홀의깊이와폭을측정하여용접품질의적합여부를판단하는모니터링시스템에관한것이다. 본발명의광간섭단층촬영장치를활용한레이저용접모니터링시스템은, 레이저용접및 모니터링을위한프로세스빔과측정빔을가공물에조사할수 있도록상기가공물의상방에위치하는용접헤드; 상기용접헤드내부에구비되고가공물을용접하기위해상기프로세스빔을생성및 출력을조절하는프로세스빔 발생부; 상기프로세스빔을가공물로반사시켜키홀을생성하며, 상기프로세스빔의조사위치를이동할수 있도록반사각조절이가능한제1 편향장치; 상기용접헤드내부에구비되고상기프로세스빔의진행방향과평행하게측정빔을발생하는측정빔발생부와반사된측정빔을분석하는광간섭단층촬영장치; 상기측정빔을가공물로반사시키고상기측정빔의조사위치를이동할수 있도록반사각조절이가능한제2 편향장치; 및상기광간섭단층촬영장치를통한측정데이터를저장하며, 상기측정데이터를용접작업의품질기준에따른작업데이터와비교하여품질의적합여부를판단하는품질검사기;를포함하는것을특징으로한다.

14. 发明授权

KR102285818B1 실시간으로 자동 초점이 가능한, 측정 대상물의 입체형상을 측정하는 입체형상 측정장치 有权
公开(公告)号：KR102285818B1
公开(公告)日：2021-08-04
申请号：KR1020190048987
申请日：2019-04-26
IPC分类号： G01B11/24 , G01B9/02
摘要： 본발명은기준미러를장착한광학계또는측정시스템을이송하여측정대상에초점을맞추고결상을하는방식에따라 3차원형상측정을함에있어, 실시간으로기준미러와측정대상물간의광경로에따른차이를일치시켜측정대상물의입체형상을측정할수 있는입체형상측정장치및 이를이용한측정대상물의입체형상을측정하는방법에관한것이다.

15. 发明授权

KR102283409B1 높은 종횡비 구조의 측정을 위한 적외선 분광 리플렉토미터 有权
公开(公告)号：KR102283409B1
公开(公告)日：2021-07-28
申请号：KR1020197011873
申请日：2017-09-27
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/02
摘要： 적외선파장에서반도체구조의분광리플렉토메트리측정을수행하기위한방법및 시스템이본 명세서에제시된다. 일부실시예에서, 750 나노미터내지 2,600 나노미터또는그 이상의범위에걸친측정파장들이사용된다. 일측면에서, 리플렉토메트리측정은측정결과에대한후면반사의영향을감소시키기위하여경사각에서수행된다. 다른측면에서, 넓은범위의적외선파장은상이한감도특성을갖는다수의감광영역을포함하는검출기에의해검출된다. 수집된광은파장에따라검출기의표면에걸쳐선형으로분산된다. 각각의상이한감광영역은검출기상에배열되어상이한범위의입사파장을감지한다. 이러한방식으로, 넓은범위의파장이단일검출기에의해높은신호대잡음비로검출된다.

16. 发明授权

KR102254322B1 광 간섭 시스템 有权
公开(公告)号：KR102254322B1
公开(公告)日：2021-05-24
申请号：KR1020190124379
申请日：2019-10-08
申请人： 휴멘 주식회사
发明人： 박재석 , 유정수
IPC分类号： G01B9/02
摘要： 광간섭시스템이개시된다. 광간섭시스템은, 광을발생시키는광원; 광원으로부터발생된광 중대물렌즈에의해샘플에반사된측정광과기준미러에반사된기준광을간섭시켜메인간섭신호를발생시키는메인간섭계; 광원으로부터발생되어샘플로향하는광과기준미러로향하는광중진동신호및/또는원하지않는잡음신호를측정하기위해샘플에인접한보조미러와기준미러에인접한보조미러에각각반사된진동잡음용측정광을간섭시켜보조간섭신호를발생시키는보조간섭계; 메인간섭신호와보조간섭신호를감지하는감지부; 및메인간섭신호와보조간섭신호에대한광 스펙트럼분석으로부터결정되는메인간섭신호와보조간섭신호의광축방향위치가진동신호및/또는원하지않는잡음신호가포함된광축방향위치이면, 보조간섭신호의광축방향위치변화량만큼메인간섭신호의광축방향위치를본래의광축방향위치로변경하는제어부를포함할수 있다.

17. 发明授权

KR102236354B1 지하 전력 구조물용 스캐닝 장치, 이를 갖는 스캐닝 정보 처리 시스템, 그리고 이의 방법 有权
公开(公告)号：KR102236354B1
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：KR1020190127881
申请日：2019-10-15
申请人： 한국전력공사
发明人： 김강식 , 김영성 , 오기대
IPC分类号： G01B11/25 , G03B17/56 , G06T17/20 , G01B9/02
摘要： 지하전력구조물에특화된포터블형의 3D 레이저스캐닝을위한지하전력구조물용스캐닝장치가개시된다. 상기지하전력구조물용스캐닝장치는, 카메라및 레이저가이격되게설치되는막대바, 상기막대바를회전시키는회전구동부, 및상기회전구동부의상단면에고정결합되는몸체를포함하는것을특징으로한다.

18. 发明公开

KR20210033021A 전자기장의 수색성 간섭 중첩을 이용한 간섭법 审中-公开
公开(公告)号：KR20210033021A
公开(公告)日：2021-03-25
申请号：KR20217004523
申请日：2018-07-16
IPC分类号： G01B9/02 , G01J3/02 , G01J3/453 , G01N21/45
摘要： 이중빔 경로간섭계를가지며, 전자기장의수색성간섭중첩을위한간섭계장치는입력빔을적어도하나의편향거울을포함하는제1 간섭계암(A1)을따라전파하는제1 빔과적어도하나의편향거울을포함하는제2 간섭계암(A2)을따라전파하는제2 빔으로나누기위해배치된빔 분리기와제1 및제2 빔을보강출력과상쇄출력으로재결합하기위한빔 결합기를포함하되, 상기제1 및제2 간섭계암은동일한광학경로길이를가지고, 상기빔 분리기및 빔결합기의반사표면은제2 간섭계암과비교하여제1 간섭계암에서, 하나의추가적인프레넬반사가광학적으로밀한매질에서제공되고, 제1 및제2 빔의전자기장의전파는빔 결합기에의해재결합될때, 상쇄출력에대한두 간섭계암의기여도사이에파장독립적인π의위상차가되도록배치되며, 상기제1 간섭계암은제1 및제2 간섭계암에서색 분산과프레넬손실의균형을맞추기위해배치된균형투과구성을포함한다. 아울러, 간섭측정장치및 간섭측정방법을개시한다.

19. 发明授权

KR102231730B1 각도 분해형 반사율 측정에서의 스캐닝 및 광학 계측으로부터 회절의 알고리즘적 제거 有权
公开(公告)号：KR102231730B1
公开(公告)日：2021-03-24
申请号：KR1020157002125
申请日：2013-06-25
申请人： 케이엘에이 코포레이션
发明人： 마나쎈암논 , 힐앤디 , 칸델다니엘 , 세라일란 , 바카르오하드 , 브링골츠바락
IPC分类号： G01N21/956 , G01N21/95 , G01N21/55 , G01B9/02 , H01L21/66
摘要： 간섭성광원과; 수집동공에서광 분포의실현을산출하기위해상기광원으로부터의간섭성광의스폿을이용하여타겟패턴을스캐닝- 상기스폿은타겟패턴의일부를커버하고상기스캐닝은스캐닝패턴에따라광학적으로또는기계적으로수행되는것임 -하도록구성된광학시스템과; 동공이미지를결합함으로써수집동공분포의복합이미지를발생하도록구성된처리유닛을포함한각도분해형반사율계및 반사율측정방법이제공된다. 개구사이즈에대한측정파라미터의함수종속성을양적으로산정하고측정조건과관련한측정파라미터의보정항을상기개구사이즈에관한함수종속성의식별된회절성분으로부터도출함으로써회절오차를감소시키는계측시스템및 방법이제공된다.

20. 发明授权

KR102229048B1 두께 측정 장치 및 두께 측정 방법 有权
公开(公告)号：KR102229048B1
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：KR1020160173777
申请日：2016-12-19
申请人： 오츠카덴시가부시끼가이샤
发明人： 도요타가즈키 , 사와무라요시미
IPC分类号： G01B13/06 , G01B9/02
摘要： (과제) 시료의두께를정확하게측정하는것이가능한두께측정장치및 두께측정방법을제공한다. (해결수단) 두께측정장치는, 제 1 참조면을갖는제 1 투과부재와, 상기제 1 투과부재와대향하여형성되고, 제 2 참조면을갖는제 2 투과부재와, 광원으로부터의광을상기제 1 참조면을통하여상기제 1 투과부재및 상기제 2 투과부재사이에위치하는시료에조사하기위한제 1 투광부와, 상기제 1 참조면으로부터의반사광을수광하고, 또한상기시료로부터의반사광을상기제 1 참조면을통하여수광하기위한제 1 수광부와, 광원으로부터의광을상기제 2 참조면을통하여상기시료에조사하기위한제 2 투광부와, 상기제 2 참조면으로부터의반사광을수광하고, 또한상기시료로부터의반사광을상기제 2 참조면을통하여수광하기위한제 2 수광부와, 상기제 1 수광부에의해수광된반사광, 및상기제 2 수광부에의해수광된반사광을분광하기위한분광부를구비한다.

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