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11. 发明公开

KR1020080051058A 노광장치, 그 제어방법 및 디바이스 제조방법 无效
标题翻译：曝光装置及其控制方法及装置制造方法
公开(公告)号：KR1020080051058A
公开(公告)日：2008-06-10
申请号：KR1020070120670
申请日：2007-11-26
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 니시무라미츠오
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20
CPC分类号： G03B27/62 , G03F7/70733 , H01L21/67359
摘要： An exposing apparatus, a method for controlling the same, and a method for manufacturing a device are provided to effectively exchange a reticle by using two magnets. A table(3) for mounting a reticle(5) is configured to move in a first direction over a base guide. A repulsive power generator includes a first magnet(9) installed on the end of the table in the first direction and a second magnet(8) movably installed on the end of the base guide in the first direction. The repulsive power generator applies repulsive power to the table, the repulsive power being generated by the first and second magnets at the end of a movable stroke of the table in the first table. A driving unit is configured to reciprocally drive the table in the first direction in case the repulsive power generator applies the repulsive power to the table. A controller is configured to with draw the second magnet to a position where the repulsive power does not affect to the table when the table is moved to an exchange work position to exchange the reticle.
摘要翻译：提供曝光装置，其控制方法和装置的制造方法，以通过使用两个磁体来有效地交换光罩。用于安装掩模版（5）的工作台（3）构造成沿着第一方向在基底导向件上移动。排斥发电机包括安装在工作台的第一方向的端部的第一磁体（9）和沿第一方向可移动地安装在基座导向件的端部上的第二磁体（8）。排斥力发生器对桌子施加排斥力，排斥力由第一和第二磁体在第一工作台的工作台的可移动行程结束时产生。驱动单元构造成在排斥力发生器将排斥力施加到工作台的情况下沿第一方向往复地驱动工作台。控制器被配置为当桌子被移动到交换工作位置以交换掩模版时，将第二磁体牵引到排斥力不影响桌子的位置。

12. 发明公开

KR1020050046221A 진공을 이용한 대면적 마스크 고정장치 및 그를 이용한노광장치와 노광방법 有权
标题翻译：用于通过真空固定掩模的装置及其曝光方法
公开(公告)号：KR1020050046221A
公开(公告)日：2005-05-18
申请号：KR1020030080249
申请日：2003-11-13
申请人： 주식회사 디엠에스
发明人： 이창원 , 배용희
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： G03B27/62
摘要： 진공을 이용한 대면적 마스크 고정장치 및 그를 적용한 노광장치와 노광방법이 개시된다. 그러한 대면적 마스크 고정장치는 적어도 하나 이상의 진공홀을 구비하는 흡착 글래스와, 일정 패턴을 가지며 상기 흡착 글래스 저면에 부착되는 마스크와, 상기 흡착 글래스와 상기 마스크의 사이에 소정의 공간이 형성되도록 하는 흡착패드를 포함하며, 상기 진공홀을 통하여 상기 공간내의 공기를 외부로 배출시킴으로써 상기 마스크를 안정적으로 흡착 글래스에 고정시킬 수 있다.

13. 发明授权

KR101416002B1 이물질 유입방지 가능한 휴대인화기용 개폐장치 有权
标题翻译：作为手机打印的防溅开关
公开(公告)号：KR101416002B1
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：KR1020130115634
申请日：2013-09-27
申请人： 디에스글로벌 (주)
发明人： 김승기
IPC分类号： G03B27/00
CPC分类号： G03B27/52 , B41J3/36 , G03B27/62 , H04N1/00265 , H04N1/00909
摘要： The present invention relates to spill-resistant switchgear for a portable printer and, more specifically, to spill-resistant switchgear for a portable printer, capable of blocking foreign substances flowing into a hole by a foreign substance barrier opening and closing the hole while moving up and down by the rotation of a rotating piece. Also, the spill-resistant switchgear for a portable printer opens and closes the hole inside a portable printer by rotating the rotating piece with elastic force of an elastic body according to the opening and closing of a cover formed on the portable printer, so as to prevent multiple pieces of printing paper from being supplied dually to the inside of the hole when the multiple pieces of printing paper is loaded inside the portable printer by a user and prevent a jam in printing. The spill-resistant switchgear for a portable printer according to the present invention includes an opening and closing means for opening and closing an inlet of the hole, formed to draw the printing paper loaded inside the portable printer to the outside; and a foreign substance blocking plate which is formed to move up and down by the opening and closing means and blocks foreign substances flowing through the inlet of the hole when the portable printer is opened.
摘要翻译：本发明涉及一种用于便携式打印机的防溢开关装置，更具体地说，涉及用于便携式打印机的防溅开关装置，其能够通过异物屏障打开并阻止异物流入孔中，同时向上移动并且通过旋转件的旋转而下降。此外，用于便携式打印机的防溅开关装置通过根据形成在便携式打印机上的盖的打开和关闭使弹性体的弹力旋转旋转件来打开和关闭便携式打印机内的孔，以便当用户将多张打印纸装入便携式打印机内时，可以防止多张打印纸双重提供到孔的内部，并防止打印中的卡纸。根据本发明的用于便携式打印机的防溅开关装置包括：打开和关闭孔的入口的打开和关闭装置，其被形成以将装载在便携式打印机内的打印纸拉到外部; 以及形成为通过打开和关闭装置上下移动的异物阻挡板，并且当便携式打印机打开时阻止流过孔的入口的异物。

14. 发明公开

KR1020130046410A 원고압착판 개폐장치 有权
标题翻译：打印机的打开关闭装置
公开(公告)号：KR1020130046410A
公开(公告)日：2013-05-07
申请号：KR1020130038937
申请日：2013-04-10
申请人： 켐 홍콩 유한회사
发明人： 히데오가토 , 테추오콘도
IPC分类号： E05F1/12 , E05F3/22
CPC分类号： E05F1/12 , E05F1/1261 , E05F3/22 , G03B27/62 , G03G15/60 , H04N1/00554
摘要： PURPOSE: An opening or closing device of a manuscript pressing plate is provided to reduce the manufacturing costs by reducing the number of components to simplify composition. CONSTITUTION: An opening or closing device(35) of a manuscript pressing plate comprises an attachment member(37), a support member(38), and a rotation control unit(40). The attachment member comprises an attachment leg unit forming a burial hole(37a). The support member includes a hinge pin(36) on both plate units of the attachment member and is attached to be rotatable. The rotation control unit comprises an elastic unit(39) and a spring guide. The elastic unit is comprised of a tension coil spring, and one end is hung on a hanging unit in the burial hole while the other end is hung on a hanging hole(38a) of the support member.
摘要翻译：目的：提供原稿压板的打开或关闭装置，通过减少组件的数量以简化组合来降低制造成本。构成：原稿按压板的打开或关闭装置（35）包括附接构件（37），支撑构件（38）和旋转控制单元（40）。附接构件包括形成埋置孔（37a）的附接腿单元。所述支撑构件包括在所述附接构件的两个板单元上的铰链销（36），并被连接成可旋转。旋转控制单元包括弹性单元（39）和弹簧引导件。弹性单元由拉伸螺旋弹簧构成，一端悬挂在埋藏孔中的悬挂单元上，另一端挂在支撑构件的悬挂孔（38a）上。

15. 发明公开

KR1020130046409A 원고압착판 개폐장치 有权
标题翻译：打印机的打开关闭装置
公开(公告)号：KR1020130046409A
公开(公告)日：2013-05-07
申请号：KR1020130038936
申请日：2013-04-10
申请人： 켐 홍콩 유한회사
发明人： 히데오가토 , 테추오콘도
IPC分类号： E05F1/12 , E05F3/22
CPC分类号： E05F1/12 , G03B27/62 , G03G15/60
摘要： PURPOSE: An opening and closing device of a manuscript pressing plate is provided to lower the manufacturing costs by reducing the number of components and simplifying the structure. CONSTITUTION: An opening and closing device(25) of a manuscript pressing plate comprises an attaching member(26), a supporting member(27), and a rotation controlling unit(31). The attaching member is equipped with an attaching leg unit which is formed with a fixing hole(26a). The supporting member is rotatably attached to the attaching member by the medium of a hinge pin(28). The rotation controlling unit comprises an elastic unit(29) and a spring guide. The elastic unit comprises a torsion coil spring, is fitted into a contacting unit inside the fixing hole by one end, and is fitted into the fitting hole(27a) of the supporting member by the other end.
摘要翻译：目的：提供原稿压板的打开和关闭装置，通过减少部件数量并简化结构来降低制造成本。构成：原稿按压板的打开和关闭装置（25）包括安装构件（26），支撑构件（27）和旋转控制单元（31）。安装构件配备有形成有固定孔（26a）的安装腿单元。支撑构件通过铰链销（28）的介质可旋转地附接到附接构件。旋转控制单元包括弹性单元（29）和弹簧引导件。弹性单元包括扭力螺旋弹簧，其一端装配在固定孔内部的接触单元中，并通过另一端装配到支撑构件的装配孔（27a）中。

16. 发明公开

KR1020090006748A 노광장치 및 디바이스 제조방법 无效
标题翻译：曝光装置和装置制造方法
公开(公告)号：KR1020090006748A
公开(公告)日：2009-01-15
申请号：KR1020080064230
申请日：2008-07-03
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 모리모토요시히로
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： G03F7/709 , G03B27/62 , G03F7/70833
摘要： A lithography apparatus including reticle stage and supporting member, and manufacturing method of device are provided to improve lithography accuracy by improving alignment accuracy by vibration reduction. A reticle stage(1) mounts a reticle. A structure(2) supports the reticle stage. A plurality of first supporting members(3) supports the structure. A second supporting member supports the structure, and includes a unit. The unit reduces a vibration of the structure. The second supporting member is arranged in an outside of a region having a boundary which is contacted in a plurality of first supporting members.
摘要翻译：提供包括标线片台和支撑构件的光刻设备及其装置的制造方法，以通过减少振动提高对准精度来提高光刻精度。标线台（1）安装一个掩模版。结构（2）支撑标线台。多个第一支撑构件（3）支撑该结构。第二支撑构件支撑结构，并且包括一个单元。该单元减少了结构的振动。第二支撑构件布置在具有在多个第一支撑构件中接触的边界的区域的外侧。

17. 发明授权

KR100609115B1 레티클 홀더 및 레티클의 조립체 有权
标题翻译：一个标线架和一个掩模版
公开(公告)号：KR100609115B1
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：KR1020040086295
申请日：2004-10-27
申请人： 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
发明人： 헤어렌스게르트-얀 , 반데벤바스티안람베르투스빌헬무스마리누스
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： G03B27/42 , G03B27/62 , G03F7/707 , G03F7/70741 , G03F9/7003 , G03F9/7011 , G03F9/7088 , G03F9/7096
摘要： 본 발명은, 레티클 및 레티클 홀더의 조립체로서, 상기 레티클 홀더(1)의 상태는 폼 폐쇄식 레티클 블록킹 상태와 레티클 해제 상태 사이에서 조정가능하고, 상기 레티클 홀더(1)는 상기 블록킹 상태에 있을 때에는 상기 레티클(MA)을 1이상의 방향(X,Y,Z)으로 적어도 폼 폐쇄 방식으로 잡아주도록 배치되고, 상기 해제 상태에 있을 때에는 상기 레티클(MA)을 해제시키도록 배치되는 것을 특징으로 하는 조립체에 관한 것이다.
본 발명은 또한, 레티클(MA) 및 레티클 홀더(201)의 조립체, 및 1이상의 디텍터(250)를 포함하는 시스템으로서, 상기 레티클(MA)은 1이상의 마커(MRK)를 포함하고, 상기 레티클 홀더(201) 및 상기 디텍터(250)는 서로에 대해 운동학적으로 정렬되도록 배치되고, 상기 디텍터(250)는 상기 레티클 홀더(201)에 대하여 상기 레티클(MA)을 위치시키기 위하여 상기 레티클 마커(MRK)를 검출하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 시스템에 관한 것이다.

18. 发明公开

KR1020050040115A 레티클 홀더 및 레티클의 조립체 有权
标题翻译：一个诉讼持有人和一个理由的组合
公开(公告)号：KR1020050040115A
公开(公告)日：2005-05-03
申请号：KR1020040086295
申请日：2004-10-27
申请人： 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
发明人： 헤어렌스게르트-얀 , 반데벤바스티안람베르투스빌헬무스마리누스
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： G03B27/42 , G03B27/62 , G03F7/707 , G03F7/70741 , G03F9/7003 , G03F9/7011 , G03F9/7088 , G03F9/7096 , G03F7/70775
摘要： 본 발명은, 레티클 및 레티클 홀더의 조립체로서, 상기 레티클 홀더(1)의 상태는 폼 폐쇄식 레티클 블록킹 상태와 레티클 해제 상태 사이에서 조정가능하고, 상기 레티클 홀더(1)는 상기 블록킹 상태에 있을 때에는 상기 레티클(MA)을 1이상의 방향(X,Y,Z)으로 적어도 폼 폐쇄 방식으로 잡아주도록 배치되고, 상기 해제 상태에 있을 때에는 상기 레티클(MA)을 해제시키도록 배치되는 것을 특징으로 하는 조립체에 관한 것이다.
본 발명은 또한, 레티클(MA) 및 레티클 홀더(201)의 조립체, 및 1이상의 디텍터(250)를 포함하는 시스템으로서, 상기 레티클(MA)은 1이상의 마커(MRK)를 포함하고, 상기 레티클 홀더(201) 및 상기 디텍터(250)는 서로에 대해 운동학적으로 정렬되도록 배치되고, 상기 디텍터(250)는 상기 레티클 홀더(201)에 대하여 상기 레티클(MA)을 위치시키기 위하여 상기 레티클 마커(MRK)를 검출하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 시스템에 관한 것이다.

19. 发明公开

KR1020040014213A 레티클 핸들링 방법, 레티클 핸들링 장치 및 노광장치 无效
标题翻译：反诉处理方法，诉讼处理单位和暴露系统
公开(公告)号：KR1020040014213A
公开(公告)日：2004-02-14
申请号：KR1020030050883
申请日：2003-07-24
申请人： 가부시키가이샤 니콘 , 가부시키가이샤 센다이 니콘
发明人： 기꾸찌히데까즈 , 야마모또아끼히로
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： H01J37/3174 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03B27/62 , G03F7/70741 , H01L21/67766 , H01L21/68707 , Y10S414/135 , Y10S414/136 , Y10S414/14 , Y10S414/141
摘要： PURPOSE: To provide a handling method, a unit and the like which are capable of holding a circular EB exposure reticle stably and transferring it safely. CONSTITUTION: This reticle handling unit is equipped with a U-shaped fork 1 at its tip. Sucking parts 11 are formed on a step 9 formed on a side wall 3a located between arms 5 of the U-shaped fork 1 and each tip of the arms 5. The sucking part 11 is formed with an annular projection 13 and a recess 15, and the reticle R is placed on the projection 13. The sucking parts 11 hold the reticle R as sucking three spots(holding spot) that are arranged nearly at regular intervals on the peripheral edge of the reticle R. By this setup, the reticle R can be stably held and safely transferred without falling off.
摘要翻译：目的：提供能够稳定地保持圆形EB曝光掩模版并安全转印的处理方法，单元等。规定：该标线处理单元在其尖端装有U形叉1。吸入部11形成在形成在位于U形叉1的臂5与臂5的前端之间的侧壁3a上的台阶9上。吸引部11形成有环状突起13和凹部15，并且标线片R被放置在突起13上。吸引部分11将标线片R保持为在标线片R的周缘上几乎以规则间隔排列的三个点（保持点）。通过该设置，标线片R 可以稳定地保持和安全地转移而不脱落。

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