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11. 发明公开

KR1020170063523A 박막 기반 자력계 审中-实审
标题翻译：基于薄膜的磁力计
公开(公告)号：KR1020170063523A
公开(公告)日：2017-06-08
申请号：KR1020177004069
申请日：2015-08-05
申请人： 에이엠에스 인터내셔널 에이쥐
发明人： 반빅,조제프토마스마티너스 , 반더아브루트,캐스퍼
IPC分类号： G01R33/038 , G01R33/028 , G01C17/28
CPC分类号： G01R33/0286 , G01C17/28 , G01R33/0283 , G01R33/038
摘要： 다양한예시적인실시예는발진주파수를측정하기위한자력계디바이스에관한것이며, 상기자력계디바이스는증폭기및 금속박막의제1 입력부에연결된전압바이어스를포함하는피드스루루프; 박막출력부에연결된박막접지부; 상기증폭기의제2 입력부에연결된제1 고정판출력부를포함하는고정판으로서, 상기고정판은상기금속박막으로부터물리적으로분리되어있지만그러나로렌츠힘에의해상기금속박막에연결되고, 상기물리적분리는전류의방향에대한자기장의각도로인해상이한, 고정판; 로렌츠힘에민감한제2 고정판출력부; 및상기로렌츠힘에기초하여자기력의각도를계산하기위해, 상기제2 고정판출력부에연결된회로를포함한다.
摘要翻译：各种示例性实施例涉及用于测量振荡频率的磁力计装置，所述磁力计装置包括馈通回路，所述馈通回路包括耦合到放大器的电压偏置和金属箔的第一输入; 连接到薄膜输出的薄膜接地; 并且第一夹板输出端连接到放大器的第二输入端，其中夹板与金属箔物理分离但通过洛伦兹力连接到金属箔，固定板，由于磁场角度而不同; 第二固定板输出部分对洛伦兹力敏感; 并且连接到第二固定板输出端的电路用于基于洛伦兹力计算磁力的角度。

12. 发明公开

KR1020150021850A 멤스 진폭 변조기 및 이를 포함하는 멤스 자계 센서 审中-实审
标题翻译：微电子机械系统AM调制器和具有相同功能的磁场传感器
公开(公告)号：KR1020150021850A
公开(公告)日：2015-03-03
申请号：KR1020130099298
申请日：2013-08-21
申请人： 엘지이노텍 주식회사
发明人： 지칠영 , 고용준 , 권승화 , 서상원 , 김철 , 서정기 , 전도한 , 최완섭
IPC分类号： G01R33/02 , G01R33/00
CPC分类号： H03C1/46 , G01R33/0052 , G01R33/02 , G01R33/0286 , G01R33/038 , G01R33/06
摘要： 본 발명은 자계가 흐르는 영역에 배치되어 진폭을 변조하는 진폭 변조기로서, 기판; 상기 기판으로부터 공급되는 제1 주파수 신호 및 제2 주파수 신호를 수신하고, 상기 자계에 의해 공진 운동하는 제1 구동전극; 및 상기 제2 주파수 신호를 수신하고, 상기 제1 구동전극과 상기 자계에 의해 공진 운동하는 제2 구동전극을 포함하며, 상기 제1 구동전극과 상기 제2 구동전극의 공진 운동에 의해 상기 제1 주파수 신호와 제2 주파수 신호를 진폭 변조한 변조 신호를 생성하는 진폭 변조기를 제공한다. 따라서, 자계에 따른 기계적인 공진에 의해 캐리어 신호가 변조된 신호를 출력하므로 복잡한 회로 구성이 없이 진폭 변조가 가능하다. 또한, 상기 멤스 소자는 절연층이 포함되지 않는 단일 구조체로서, 하나의 구조체에 단일 신호를 인가하여 구동이 단순하고, 양 단의 구동 전극이 모두 구동하여 가변 커패시턴스의 변화량이 2배로 커짐으로 센서능이 향상된다.
摘要翻译：本发明提供了一种幅度调制器，其设置在磁场流过的区域中以调制幅度，包括：基板; 第一驱动电极，其接收从所述基板供给的第一频率信号和第二频率信号，并通过所述磁场进行共振运动; 以及第二驱动电极，其接收所述第二频率信号并且通过所述第一驱动电极和所述磁场进行谐振运动，其中通过所述第一和第二频率信号的谐振运动来调制所述第一和第二频率信号的幅度来产生调制信号和第二驱动电极。因此，由于通过根据磁场的机械谐振调制载波信号而产生的信号被输出，所以可以在没有复杂的电路结构的情况下进行幅度调制。此外，由于MEMS器件是不包括绝缘层的单一结构，因此将单个信号施加到一个结构，从而简化驱动，并且驱动其两端的所有驱动电极，从而将变化加倍可变电容，从而提高感测能力。

13. 发明公开

KR1020070032936A 공진 자력계 장치 无效
标题翻译：共振磁强计装置
公开(公告)号：KR1020070032936A
公开(公告)日：2007-03-23
申请号：KR1020067005787
申请日：2004-09-21
申请人： 키네티큐 리미티드
发明人： 킹,데이비드,오리 , 브룬손,케빈,마이클
IPC分类号： G01R33/028
CPC分类号： G01R33/0286
摘要： 본 발명은 발진 부재(26), 및 상기 발진 부재(26)를 통해 교류 전류(AC)를 전달하는 수단을 포함하는 공진 자력계(20)에 관한 것이다. 자력계는 상기 발진 부재(26)에 자기장 독립 발진력을 전달하는 구동 수단(46, 48)을 더 포함한다. 또한, 자력계의 마이크로-전기기계 시스템들(MEMS)에 대한 구현이 기술된다.
발진 부재, 공진 자력계, 자기장 독립 발진력, 마이크로-전기기계 시스템들, 공진 빔

14. 发明授权

KR101901809B1 가속도계 상에서 자기 물질들을 이용하는 자력계 有权
公开(公告)号：KR101901809B1
公开(公告)日：2018-11-05
申请号：KR1020157029236
申请日：2014-03-13
申请人： 인벤센스, 인크.
发明人： 시거,조셉 , 키우,진 , 톰슨,매튜,줄리안
IPC分类号： G01R33/028 , G01P15/08
CPC分类号： G01R33/02 , B81B2201/00 , G01P15/08 , G01R33/0286 , H01L21/00 , H01L2221/00
摘要： MEMS 디바이스는제 1 프루프매스, 제 1 프루프매스의표면상에부분적으로증착된제 1 자화된자기물질, 제 1 프루프매스를지지하기위해기판에고정된제 1 스프링, 및제 1 프루프매스에결합되고주변가속도에의해야기된제 1 프루프매스의움직임을감지하도록동작가능한제 1 감지요소를포함한다. MEMS 디바이스는제 1 프루프매스에결합되고주변자기장에의해야기된제 1 프루프매스의움직임을감지하도록동작가능한제 2 감지요소를더 포함한다.

15. 发明授权

KR101755747B1 변성된 관성 요소들을 이용한 미세 전기기계 자기장 센서 有权
标题翻译：一种使用变性惯性元件的微机电磁场传感器
公开(公告)号：KR101755747B1
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：KR1020127023409
申请日：2011-02-07
申请人： 로베르트 보쉬 게엠베하
发明人： 첸포-주이 , 엑카르트마르틴 , 프랑케악셀
IPC分类号： G01R33/02 , G01R33/028
CPC分类号： G01R33/0286 , Y10T29/49002
摘要： 미세전기기계시스템(MEMS)이개시된다. 상기 MEMS는기판, 상기기판으로부터상방향으로연장하는제 1 피벗, 상기기판위로연장하는제 1 종축을갖고제 1 피벗축을중심으로피벗하도록상기제 1 피벗에피벗가능하게장착된제 1 레버암, 상기제 1 레버암의제 1 커패시터부아래의위치에서상기기판상에형성된제 1 커패시터층, 상기제 1 레버암의제 2 커패시터부아래의위치에서상기기판상에형성된제 2 커패시터층으로서, 상기제 1 피벗이상기제 1 종축을따라상기제 1 커패시터부와상기제 2 커패시터부사이의위치에서상기제 1 레버암을지지하는, 제 2 커패시터층, 및상기제 1 피벗축으로부터이격되어상기제 1 종축을가로질러연장하는제 1 전도체부재를포함한다.
摘要翻译：微机电系统（MEMS）被打开。 MEMS衬底，第一枢轴，具有在衬底上延伸的第一枢转轴线枢转围绕枢转地安装到所述第一枢轴的第一纵向轴线在向上方向上从衬底延伸的第一杆臂，形成在第一电容器层下方的位置处的基板上形成第二电容器层，所述第一杆，在所述第一杠杆臂的第一电容器部的正下方的位置处形成于基板上的臂的第二电容器部，其特征在于第一枢转至少沿着基座1中，纵轴和从第一电容器部和第二电容器副所述第一支承杠杆臂，第二电容器层，并从它的位置，其中，所述第一纵向轴线的第一枢转轴线间隔开的以及延伸穿过第一导体构件的第二导体构件。

16. 发明公开

KR1020150071428A 자전성 자기장 센서 및 그를 이용한 감지 장치 审中-实审
标题翻译：磁场传感器及其感应装置
公开(公告)号：KR1020150071428A
公开(公告)日：2015-06-26
申请号：KR1020130158466
申请日：2013-12-18
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 김대호 , 박은태
IPC分类号： G01R33/02
CPC分类号： G01R33/0286 , G01R33/038 , G01R33/18
摘要： 본발명은자전성자기장센서및 그를이용한감지장치에관한것이다. 이와같은본 발명은기판과, 기판에형성된압전구동체및 압전구동체의일측에적층된자왜층을구비하며, 외부자기장의크기에비례하여고유주파수로부터변화된진동주파수로진동하는자기장검출부; 및상기압전구동체를일정한교류전압을구동하고, 상기자기장검출부에서출력되는출력전압으로부터외부자기장의크기를산출하는제어부를포함하는자전성자기장센서및 그를이용한감지장치가제공된다.
摘要翻译：本发明涉及旋转磁场传感器及其使用的检测装置。本发明提供一种旋转磁场传感器及其使用的检测装置，其特征在于，包括：磁场检测部，其配置有基板，压电操作体和磁致伸缩层，电动操作体以与外部磁场的大小成正比的固有频率的振动频率振动; 以及控制部，其以某一替代电流电压操作所述压电操作体，并根据从所述磁场检测部输出的输出电压来计算所述外部磁场的大小。

17. 发明授权

KR101442248B1 터널링 전류 제어 시스템 有权
标题翻译：使用隧道式电流传感校准微机电系统（MEMS）传感器的方法和系统
公开(公告)号：KR101442248B1
公开(公告)日：2014-09-23
申请号：KR1020080000124
申请日：2008-01-02
申请人： 제너럴 일렉트릭 캄파니
发明人： 앤다라위스에마드앤다라위스 , 버캔어터그럴
IPC分类号： B81B7/02 , B81B7/00 , G01R15/20
CPC分类号： G01R35/00 , B81B3/0021 , G01R15/207 , G01R33/0283 , G01R33/0286 , G01R35/005
摘要： 본 발명은 MEMS(a micro-electromechanical system) 센서를 구성하는 제 1 구성 요소(40a) 및 제 2 구성 요소(40b) 간의 터널링 전류(42)를 제어하는 시스템(90) 및 방법을 제공한다. 이 시스템은 제 1 구성 요소(40a)와 제 2 구성 요소(40b) 간에 터널링 전류(42)를 제공하는 터널링 전류 여기 소스(50)와, 상기 제 1 구성 요소(40a)와 상기 제 2 구성 요소(40b)가 서로에 대해서 이동함에 따라서 상기 터널링 전류(42)의 변화를 모니터링하는 터널링 전류 모니터(52)를 포함한다. 이 시스템은 상기 제 1 구성 요소(40a)와 상기 제 2 구성 요소(40b) 중 적어도 하나의 위치를 조절하는 위치 조절기(86)와, 상기 터널링 전류 모니터(52)와 통신하여 상기 위치 조절기(86)를 제어하는 제어기(88)를 포함하며, 상기 제어기(88)는 상기 제 1 구성 요소(40a)와 상기 제 2 구성 요소(40b) 간에 제 1 이격 거리가 형성되어서 상기 시스템(90)이 기준 모드로 되도록 상기 위치 조절기(86)로 하여금 상기 제 1 구성 요소(40a)와 상기 제 2 구성 요소(40b) 중 적어도 하나의 구성 요소의 위치를 조절하게 하고, 상기 제어기(88)는 상기 제 1 구성 요소(40a)와 상기 제 2 구성 요소(40b) 간에 제 2 이격 거리가 형성되어서 상기 시스템(90)이 감지 모드로 되도록 상기 위치 조절기(86)로 하여금 상기 제 1 구성 요소(40a)와 상기 제 2 구성 요소(40b) 중 적어도 하나의 구성 요소의 위치를 조절하게 하며, 이로써 상기 시스템(90)이 상기 기준 모드에 대해서 캘리브레이션(calibration)된다.

18. 发明公开

KR1020130025366A 변성된 관성 요소들을 이용한 미세 전기기계 자기장 센서 有权
标题翻译：微机电磁场传感器利用修正惯性元件
公开(公告)号：KR1020130025366A
公开(公告)日：2013-03-11
申请号：KR1020127023409
申请日：2011-02-07
申请人： 로베르트 보쉬 게엠베하
发明人： 첸포-주이 , 엑카르트마르틴 , 프랑케악셀
IPC分类号： G01R33/02 , G01R33/028
CPC分类号： G01R33/0286 , Y10T29/49002 , G01R33/02 , G01R33/028
摘要： 미세 전기기계 시스템(MEMS)이 개시된다. 상기 MEMS는 기판, 상기 기판으로부터 상방향으로 연장하는 제 1 피벗, 상기 기판 위로 연장하는 제 1 종축을 갖고 제 1 피벗축을 중심으로 피벗하도록 상기 제 1 피벗에 피벗가능하게 장착된 제 1 레버 암, 상기 제 1 레버 암의 제 1 커패시터부 아래의 위치에서 상기 기판 상에 형성된 제 1 커패시터층, 상기 제 1 레버 암의 제 2 커패시터부 아래의 위치에서 상기 기판 상에 형성된 제 2 커패시터층으로서, 상기 제 1 피벗이 상기 제 1 종축을 따라 상기 제 1 커패시터부와 상기 제 2 커패시터부 사이의 위치에서 상기 제 1 레버 암을 지지하는, 제 2 커패시터층, 및 상기 제 1 피벗축으로부터 이격되어 상기 제 1 종축을 가로질러 연장하는 제 1 전도체 부재를 포함한다.

19. 发明授权

KR101154832B1 자기장 센서 디바이스 및 나침반 失效
标题翻译：磁场传感器装置和指南针
公开(公告)号：KR101154832B1
公开(公告)日：2012-06-18
申请号：KR1020067014899
申请日：2004-12-16
申请人： 키네티큐 리미티드
发明人： 킹,다비드,오우리 , 브룬손,케빈,마이클
IPC分类号： G01R33/022
CPC分类号： G01R33/0286 , G01R33/022 , G01R33/0283
摘要： 자기장 센서 디바이스(2)는 진동 부재(8) 및 전류 제어 수단(6)을 포함하는 것으로 설명된다. 전류 제어 수단(6)은 진동 부재(8)를 통해 제공된 적어도 제 1 전류 경로(10) 및 제 2 전류 경로(12)를 따라 교류(AC)를 통과시키기 위해 및 자기장 구배계 모드 동작을 제공하도록(즉, 자기장 구배를 측정하기 위해) 구성되고, 그 자기장 구배계 모드 동작에서 제 1 전류 경로(10)를 통한 전류 흐름이 제 2 전류 경로(12)를 통한 전류 흐름에 실질적으로 반대 방향으로 된다. 전류 제어 수단(6)은 자력계 모드 동작을 또한 입증할 수 있다(즉, 자기장 강도를 측정하기 위해). 자기장 센서(2)가 나침반에서 사용될 수 있다.
자기장 센서 디바이스, 전류 제어 수단, 핑거 전극, 크로스오버 스위치, 변위 전류 검출기

20. 发明公开

KR1020080106243A 자기장 측정치 생성 방법 및 장치 无效
标题翻译：振动波束磁力计
公开(公告)号：KR1020080106243A
公开(公告)日：2008-12-04
申请号：KR1020087022178
申请日：2007-03-27
申请人： 알카텔-루센트 유에스에이 인코포레이티드
发明人： 그레이월데니스에스 , 유크버나드
IPC分类号： G01R33/02
CPC分类号： G01R33/0283 , G01R33/02 , G01R33/0286
摘要： In one embodiment, an integrated magnetometer has a deformable, electrically conducting beam that is mounted on a substrate and adapted to oscillate with respect to the substrate. When the oscillating beam is exposed to a magnetic field, the magnetic field induces an oscillating electro-motive force that generates an oscillating electrical signal along the beam. The magnetometer has a detection circuit that detects this oscillating electrical signal and, based on the results of this detection, determines the magnetic-field strength and/or the magnetic-field gradient. ® KIPO & WIPO 2009
摘要翻译：在一个实施例中，集成磁力计具有可变形的导电梁，其安装在基板上并且适于相对于基板振荡。当振荡光束暴露于磁场时，磁场引起振荡电动势，沿着光束产生振荡电信号。磁力计具有检测该振荡电信号的检测电路，并且基于该检测结果确定磁场强度和/或磁场梯度。 ®KIPO＆WIPO 2009

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