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    • 16. 发明公开
    • 기체 내 미세입자 검출 장치 및 이의 제작 방법
    • 用于检测气体中的微粒子的装置和用于制造装置的方法
    • KR1020090118366A
    • 2009-11-18
    • KR1020080044107
    • 2008-05-13
    • 삼성전자주식회사연세대학교 산학협력단
    • 남윤우정효일이승재문희성
    • G01N27/02G01N27/12G01N27/14G01N27/26
    • G01N1/2214G01N15/0656G01N2001/4033
    • PURPOSE: An apparatus for detecting minute particle within gases and a manufacturing method thereof are provided to detect minute particle within gaseous sample without a separate pump or a collector. CONSTITUTION: An apparatus for detecting minute particle within gases comprises an inlet port(10), an outlet port(20), a channel(30), a cooling layer(40), a collecting tank(45), a detection unit(50) and a heating unit(60). A gaseous sample including minute particles(100) flows into the inlet port. The sample flows out through the outlet port. The channel is formed between the inlet port and the outlet port. The cooling layer cools and condenses the sample flowing within the channel. The condensed sample is collected in the collecting tank. The detection unit detects the minute particle included in the sample. The detection unit comprises a dielectrophoresis impedance sensor.
    • 目的:提供一种用于检测气体中的微小颗粒的装置及其制造方法,用于在没有单独的泵或集电器的情况下检测气态样品中的微小颗粒。 构成:用于检测气体中的微小颗粒的装置包括入口(10),出口(20),通道(30),冷却层(40),收集罐(45),检测单元 )和加热单元(60)。 包含微小颗粒(100)的气态样品流入入口。 样品通过出口流出。 通道形成在入口和出口之间。 冷却层冷却并冷凝在通道内流动的样品。 将浓缩的样品收集在收集罐中。 检测单元检测样品中包含的微小颗粒。 检测单元包括介电电泳阻抗传感器。