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    • 151. 发明公开
    • 배스
    • KR1019990076418A
    • 1999-10-15
    • KR1019980011353
    • 1998-03-31
    • 주식회사 한국전자홀딩스
    • 공경준
    • H01L21/00
    • 개시된 배스는 배스 본체 내에 작용 액의 데드 영역이 존재하지 않고, 배스 본체로 유입되는 작용 액의 흐름이 원활하게 이루어져 식각율을 향상시키며, 또한 유입되는 작용 액의 흐름이 원활하여 반도체 웨이퍼의 소정 부위를 균일하게 식각하고 세정 효율을 향상시킬 수 있으며, 반도체 웨이퍼를 세정할 경우에 반도체 웨이퍼에서 분리된 이물질을 용이하게 제거할 수 있으며, 반도체 웨이퍼를 식각 및 세정할 경우에 소모되는 세정 액의 양을 줄일 수 있다.
      본 발명은 배스 본체의 측면과 바닥면의 사이에 배스 경사면을 구비하여 배스 본체의 체적이 감소되게 하고, 배스 경사면의 중앙부에 작용 액이 유입되는 작용 액 유입구를 형성하고, 바닥면의 중앙부에 작용 액 작용 액 유출구를 형성하여, 작용 액 유입구로 유입되는 작용 액이 작용 액 작용 액 유출구를 통해 드레인으로 회수됨과 아울러 배스 본체에서 오버 플로우되어 드레인으로 회수됨으로써 작용 액의 흐름이 원활하여 식각 효율 및 세정 효율이 향상되며, 배스 본체의 측면에 직경이 작은 보조 유출구를 형성하여 작용 액이 유출되게 함으로써 작용 액 내에서 부유되는 이물질들이 보조 유출구를 통해 유출되게 되어 이물질의 제거 능력이 향상된다.
    • 153. 发明公开
    • 노광장치 및 이 장치의 노광세기 모니터링 장치 및 방법
    • 曝光装置和曝光强度监视装置及其方法
    • KR1019990075491A
    • 1999-10-15
    • KR1019980009722
    • 1998-03-20
    • 주식회사 한국전자홀딩스
    • 장동근
    • H01L21/027
    • 본 발명은 노광장치 및 이 장치의 노광세기 모니터링 장치 및 방법을 공개한다. 그 장치는 램프, 제1미러, 제2미러, 제1렌즈, 필터, 렌즈 플레이트들, 제3미러, 제2렌즈, 렌즈 플레이트들과 제3미러사이에 위치하며 복수개의 센서들을 가지고 렌즈 플레이트들을 통과한 빛을 차단하기 위한 셔터로 구성되어 있다. 모니터링 장치는 복수개의 센서들에 의해서 감지된 노광세기 신호들을 입력하여 균일성 값을 구하고 균일성 값이 설정값이상인지를 판단하고, 노광세기 신호들 각각이 소정범위내의 값인지를 판단하는 제어부, 제어부로부터 출력되는 노광세기 신호들의 값 및 균일성 값을 표시하는 표시부, 및 제어부로 설정값 및 소정범위 값을 입력하기 위한 입력부로 구성되어 있다. 그 방법은 복수개의 센서들에 의해서 감지된 신호들을 입력하는 단계, 감지된 신호들의 노광세기 값들을 표시부에 표시하는 단계, 노광세기 값들로부터 균일성 값을 계산하여 상기 표시부에 표시하는 단계, 균일성 값이 설정값이상인지를 판단하는 단계, 균일성 값이 설정값이상이거나, 균일성 값이 설정값이상이 아니면 복수개의 노광세기 값들이 소정범위내의 값인지를 판단하고, 복수개의 노광세기 값들중 적어도 하나이상의 값이 소정범위를 벗어나면 경보신호를 발생하는 단계로 이루어져 있다. 따라서, 노광장치에서 노광세기의 변화를 자동으로 모니터링할 수 있으며, 신속한 조치를 취할 수 있다.
    • 155. 发明授权
    • 전조등 자동 제어장치
    • 头灯控制单元
    • KR100166453B1
    • 1999-10-01
    • KR1019960030854
    • 1996-07-27
    • 주식회사 한국전자홀딩스
    • 김찬
    • B60Q1/08
    • 본 발명은 자동차에 관한 것으로서, 특히 자동차 속도 및 주변의 광량에 따라 자동차 전조등의 밝기 및 점등/소등을 자동으로 제어할 수 있는 전조등 자동 제어장치에 관한 것이다.
      본 발명의 전조등 자동 제어장치는 전원 스위치 조작에 의해 램프에 전원을 공급하는 전원 공급원; 감지된 차량의 속도 및 주변의 광량에 따라 램프를 소등 또는 점등하며, 램프의 조도를 조절하기 위한 램프 제어 신호를 발생하는 램프 제어 신호 발생부; 램프 제어 신호에 응답하여 램프의 소등 및 점등을 행하는 램프 점등/소등부; 및 램프 제어 신호에 응답하여 램프의 조도를 조절하는 조도 조절부를 구비한 것을 특징으로 하여 차량의 속도와 주변의 광량에 따라 자동으로 전조등을 제어할 수 있으므로 전조등 제어를 위해 운전자가 계속해서 손조작을 해줄 필요가 없으며, 제어 동작으로 인한 사고의 위험성을 제거할 수 있다.
    • 157. 发明公开
    • 바이폴라 트랜지스터의 제조방법
    • KR1019990048275A
    • 1999-07-05
    • KR1019970066920
    • 1997-12-09
    • 주식회사 한국전자홀딩스
    • 김창균이정환
    • H01L21/328
    • 본 발명에 따른 바이폴라 트랜지터의 제조공정은 반도체 기판에 매몰층과 에피층을 형성하는 공정과, 상기 결과물 상부에 산화막과 질화막을 순차적으로 형성하는 공정과, 상기 결과물 상의 질화막을 패터닝하여 기판에 이온주입하기 위한 개구부를 형성하는 공정과, 사진공정과 이온주입 공정을 이용하여 상기 결과물의 에피층에 소자분리 영역, 에미터 영역, 베이스 영역 및 소스 영역을 형성하는 공정과, 상기 결과물 상부에 절연막을 형성한 후 하부의 에미터 영역, 베이스 영역, 소스 영역에 콘택되는 전극을 형성하는 공정을 포함하여 이루어지는 것으로, 이 방법에 의하면 질화막의 자기정렬방식을 최종 공정까지 그대로 유지하므로 이후 공정에서의 오정렬을 방지할 수 있게 되고, 또한 공정에서 발생되는 오정렬을 방지할 수 있으므로 소자의 설 계룰을 줄일 수 있으며, 마스크 정렬을 정확하게 하지 않아도 질화막에 의해서 선택적 식각이 되므로 공정 조건이나 설비에 큰 영향을 받지않고 공정을 진행할 수 있다.
    • 160. 发明授权
    • 반도체 패키지공정 및 패키지장치
    • 包装工艺和半导体封装设备
    • KR100198993B1
    • 1999-06-15
    • KR1019960053530
    • 1996-11-12
    • 주식회사 한국전자홀딩스한국전기연구원
    • 이종홍송종규이병용윤석남정종원김은동
    • H01L23/04
    • 본 발명은 대용량 전력용 소자에 사용되는 디스크형 반도체 패키지공정에 관한 것으로서, 애노드전극 상부에 반도체칩과 패키지 케이스를 탑재하고 상기 패키지 케이스 상부에 캐소드전극을 탑재하여 형성된 반도체 패키지를 정렬하고 상기 애노드전극과 상기 패키지 케이스 사이의 웰딩면 및 상기 캐소드전극과 상기 패키지 케이스 사이의 웰딩면을 웰딩하여 이루어지는 반도체 패키지공정에 있어서, 절삭날이 형성된 복수개의 지지대 사이에 상기 반도체 패키지의 상기 웰딩면을 위치시키고 상기 반도체 패키지를 회전시키면서 상기 지지대에 소정의 압력을 가하여 상기 반도체 패키지를 정렬시키는 동시에 상기 웰딩면의 형성된 오염물질을 제거하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
      따라서, 본 발명은 반도체 패키지공정에서 반도체 패키지의 정렬 및 웰딩면의 산화막 등의 오염물질 제거가 동시에 수행되기 때문에 패키지공정을 단순화시킬 수 있고 반도체 패키지의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.