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121. 发明公开

KR1020060015554A ＭＥＭＳ 구조물들에 질량을 추가하는 방법 无效
标题翻译：将质量添加到MEMS结构的方法
公开(公告)号：KR1020060015554A
公开(公告)日：2006-02-17
申请号：KR1020057020574
申请日：2004-04-16
申请人： 엔엑스피 유에스에이, 인코포레이티드
发明人： 맥네일,앤드류,씨. , 리,게리 , 오브린,게리,제이.
IPC分类号： B81B7/02 , B32B9/00 , C23F1/00 , G01P3/00
CPC分类号： B81B3/0078 , B81B2201/025 , G01P15/08 , G01P15/0802 , G01P15/0888 , G01P2015/0814 , Y10T428/24917
摘要： A proof mass (11) for a MEMS device is provided herein. The proof mass comprises a base (13) comprising a semiconductor material, and at least one appendage (15) adjoined to said base by way of a stem (21). The appendage (15) comprises a metal (17) or other such material that may be disposed on a semiconductor material (19). The metal increases the total mass of the proof mass (11) as compared to a proof mass of similar dimensions made solely from semiconductor materials, without increasing the size of the proof mass. At the same time, the attachment of the appendage (15) by way of a stem (21) prevents stresses arising from CTE differentials in the appendage from being transmitted to the base, where they could contribute to temperature errors.
摘要翻译：本文提供了用于MEMS器件的检测质量（11）。检测质量块包括一个包括半导体材料的基底（13）和至少一个通过杆（21）与所述底座邻接的附属物（15）。附件（15）包括可以设置在半导体材料（19）上的金属（17）或其他这样的材料。与仅由半导体材料制成的类似尺寸的检验质量相比，金属与总体质量（11）相比增加，而不增加检测质量。同时，通过杆（21）附接附件（15）可防止附件中产生的CTE差异的应力传输到基座，在那里它们可能导致温度误差。

122. 发明公开

KR1020040083780A 건축 내,외장재용 비철금속의 표면 에칭처리방법 및 그 장치 无效
标题翻译：用于内部和外部材料的非金属表面的表面蚀刻方法及其设备
公开(公告)号：KR1020040083780A
公开(公告)日：2004-10-06
申请号：KR1020030018418
申请日：2003-03-25
申请人： 김부현
发明人： 김부현
IPC分类号： C23F1/00
CPC分类号： C23F1/16 , C23F1/08
摘要： PURPOSE: To obtain high quality interior and exterior panels of building that are stably etched and automatically etching treat an object to be treated through respective processes, thereby reduce production cost. CONSTITUTION: The apparatus is characterized in that a plurality of transfer rollers(1,1') simultaneously rotated by driving motor are laterally and continuously arranged in such a way that etching tank(10), first cleaning tank(20), first removal tank(30), second cleaning tank(40), second removal tank(50) and third cleaning tank(60) are continuously formed from one side of the transfer rollers, wherein a cover(3) into which downward injection nozzles(2,2') are inserted is formed at the upper side of the transfer rolls in the etching tank, first cleaning tank, first removal tank, second cleaning tank, second removal tank and third cleaning tank, a filtering mesh(5) and a catchment can(6) are installed at the center of an inclined collection plate(4) at the lower side of the transfer rollers so that the catchment can is formed on the bottom of the filtering mesh, the catchment can and the injection nozzles are connected by a supply pipe(8) of circulation pump(7) mounted on one side of the catchment can, a separate discharge pipe is formed on an upper part of cover of the etching tank so that the discharge pipe is communicated with the inside of the cover, and opening and closing holes are respectively formed at the center of the cover of the first cleaning tank, first removal tank, second cleaning tank, second removal tank and third cleaning tank in such a way that separate opening and closing covers are detachably mounted on the opening and closing holes.
摘要翻译：目的：获得稳定蚀刻的高质量内部和外部面板，并通过各自的处理自动蚀刻处理待处理物体，从而降低生产成本。构成：该装置的特征在于，通过驱动电动机同时旋转的多个传送辊（1,1'）横向并连续地布置成使得蚀刻槽（10），第一清洗槽（20），第一移除罐（30），第二清洗槽（40），第二除油槽（50）和第三清洗槽（60）从转印辊的一侧连续地形成，其中盖（3） '）插入在蚀刻槽，第一清洗槽，第一除油槽，第二清洗槽，第二除油槽和第三清洗槽中的转印辊的上侧，过滤网（5）和集水罐（ 6）安装在转印辊的下侧的倾斜收集板（4）的中心处，使得集水罐可以形成在过滤网的底部上，集水罐和喷嘴通过供应循环泵（7）的管（8）安装在一侧集水池可以在蚀刻槽的盖的上部形成单独的排放管，使得排出管与盖的内部连通，并且开闭孔分别形成在盖的中心第一清洗槽，第一拆卸槽，第二清洗槽，第二拆卸槽和第三清洗槽，使得分离的开闭盖可拆卸地安装在开闭孔上。

123. 实用新型

KR200346164Y1 에칭장치 失效
公开(公告)号：KR200346164Y1
公开(公告)日：2004-06-10
申请号：KR2019980003496
申请日：1998-03-11
申请人： 한국항공우주산업 주식회사
发明人： 김종필
IPC分类号： C23F1/00
摘要： 에칭하려는 부품을 에칭탱크의 내부에 자동으로 이송할 수 있도록 하여 작업자 없이도 작업속도를 빠르게 하고, 유해한 연무가 대기중으로 방출되지 않도록 한 에칭장치에 관한 것으로, 에칭장치는 부식액이 담겨지며 상부가 개구된 에칭탱크, 상기 에칭탱크의 내부로 부식액을 공급하기 위한 공급구, 상기 에칭탱크의 개구된 상부를 개폐하여, 에칭하고자 하는 부품을 상기 에칭탱크의 내외부로 출입시킬 수 있도록 하는 도어, 상기 부품을 상기 에칭탱크 내부의 상하방향으로 이송시켜, 상기 부품을 상기 부식액 속으로 잠기게 하거나 상기 부식액으로부터 꺼내게 하는 상하이송수단을 포함한다.

124. 发明公开

KR1020020061342A 필라멘트 제조공정에서의 철심선 용해시 발생한 폐용액을촉매제로 사용하여 몰리브덴 심선을 용해하는 방법 有权
标题翻译：用于在作为催化剂的纤维的制造过程中在熔融铁核心期间产生的废弃溶液来熔化多晶硅核心的方法
公开(公告)号：KR1020020061342A
公开(公告)日：2002-07-24
申请号：KR1020010002364
申请日：2001-01-16
申请人： 주식회사 새한텅스텐 , 김재우
发明人： 김재우
IPC分类号： C23F1/00
CPC分类号： C23F1/26 , H01K3/02
摘要： PURPOSE: A method for melting a molybdenum core using as a catalytic agent a waste solution containing ferric sulfate generated during melting an iron core in the manufacturing process of a filament is provided. The process is environment friendly because it does not generate waste water, reduces the production cost and improves productivity because the process is performed with a low amount of hydrogen peroxide. CONSTITUTION: Pure water and hydrogen peroxide water are introduced into a reactor(10) in which a tungsten filament coiled on the periphery of a molybdenum core is introduced, pure water, hydrogen peroxide and sulfuric acid are then introduced thereinto to remove an iron core used as a center supporting rod. In the above process, a waste solution containing ferric sulfate collected in a collecting tank(30) is used to remove the molybdenum core, the hydrogen peroxide water is added in an amount of about 2 to 5L, based on 200g unit mass of the molybdenum core and 10L pure water.
摘要翻译：目的：提供一种在丝的制造过程中使用作为催化剂熔化钼芯的方法，该方法包括在铁芯熔融期间产生的含有硫酸铁的废溶液。该方法是环境友好的，因为它不会产生废水，降低生产成本并提高生产率，因为该过程是用少量的过氧化氢进行的。构成：将纯水和过氧化氢水引入反应器（10）中，在反应器（10）中引入卷绕在钼芯周围的钨丝，然后将纯水，过氧化氢和硫酸引入其中以除去所使用的铁芯作为中心支撑杆。在上述方法中，使用收集在收集罐（30）中的含有硫酸铁的废溶液来除去钼芯，基于200g单位质量的钼，过氧化氢水的添加量约为2〜5L 核心和10L纯水。

125. 发明授权

KR100276409B1 에멀젼 코팅을한 프린트판 및 금속웨브의 정밀한 에칭방법 失效
标题翻译：乳液印刷板和消除通道
公开(公告)号：KR100276409B1
公开(公告)日：2000-12-15
申请号：KR1019920023977
申请日：1992-12-11
申请人： 비엠시 인더스트리스 인코포레이티드
发明人： 로랜드에취.톰스
IPC分类号： C23F1/00
CPC分类号： H01J9/142
摘要： 포토 프린트판(photo printing plate)은 상부 공기 배출 채널(upper air evacuation channel)과 하부 공기 배출 채널(lower air evacuation channel)을 구비하여,그 하부공기 배출 채널은 에멀젼층중에 형성되고 상부 공기 배출 채널은 그 일부가 에멀젼층에서 외측방향으로 돌출된 불투명 패턴 상부에 배치되고, 또 그 일부가 불투명 패턴에 인접한 불투명 에멀젼층 상부에 배치된 스페이서(spacers)에 의해 형성되어 있어, 이것에 의해 에멀젼 표면의 공기 배출 채널과 스페이서에 의해 형성된 공기 배출 채널을 구성하며, 그 공기는, 에칭제 레지스트층을 포토 프린트판의 상표면에서 10미크론 미만으로 유지하면서 포토 프린트판과 에칭제 레지트층사이에서 신속하게 배출시킬 수 있다.

126. 发明授权

KR100222768B1 개선된 연마용 조성물 失效
标题翻译：改进的抛光组合物
公开(公告)号：KR100222768B1
公开(公告)日：1999-10-01
申请号：KR1019950705240
申请日：1994-05-25
申请人： 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머티리얼스 씨엠피 인코포레이티드
发明人： 그레고리브랜캘레오니 , 리멜번쿡
IPC分类号： C23F1/00 , H01L21/306
摘要： 수성매질, 연마입자 및 실리카 제거속도를 억제하는 음이온으로 이루어지는 규소, 실리카 또는 규소-함유 제품을 연마하기 위한 개선된 조성물이 제공 당해 음이온은 둘 이상의 산 그룹을 함유하며 제1의 해리가능한 산의 pKa 값이 실제로 연마용 조성물의 pH보다 크지 않은 화합물계로부터 유도된다. 당해 조성물을 사용하여 제품의 표면을 연마하거나 평면화하는 방법 및 이러한 방법에 의해 제조된 제품이 또한 제공된다.

127. 发明授权

KR100213575B1 금속박판의 에칭에 있어서의 표면처리방법 失效
标题翻译：用于预蚀薄金属板的方法
公开(公告)号：KR100213575B1
公开(公告)日：1999-08-02
申请号：KR1019960044538
申请日：1996-10-08
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 미야지야스요시 , 니시쿠보히로아키
IPC分类号： C23F1/00
摘要： 부동태화현상이 생기기 쉬운 철·니켈합금이나 스텐레스강계합금으로 이루어지는 금속박판의 피에칭면에 피착된 산화피막이나 레지스트잔막을 피에칭면에서 안정하고도 확실하게 제거할 수 있는 표면처리방법을 제공한다. 표면처리조(20) 내의 표면처리액(18) 속에서 금속박판(10)을 전위적으로 부동태영역에서 수소발생영역으로 음분극시켜 표면처리한다. 표면처리조 내의 표면처리액의 일부를 채취하여 전해조에 수용하고, 금속박판으로부터 베어낸 금속박판편을 전해조 내의 표면처리액 중에 침지시켜 금속박판편과 대극과의 사이에 전압을 인가하여 전위주사하고, 얻어진 전위-전류곡선이 전위 -0.2V∼-0.7V의 범위에서 플랫영역을 가지지 않을 때에 표면처리액의 조성이 부적절하다고 판정하여 표면처리조 내의 표면처리액의 조성을 조정한다.

128. 发明公开

KR1019990064098A 개선된 연마용 슬러리 및 이의 사용 방법 无效
标题翻译：改进的研磨浆料及其使用方法
公开(公告)号：KR1019990064098A
公开(公告)日：1999-07-26
申请号：KR1019980702579
申请日：1996-10-04
申请人： 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머티리얼스 씨엠피 홀딩스 인코포레이티드
发明人： 왕지운-팡 , 세투라만아난타 , 왕훼이-밍 , 쿡리멜보른
IPC分类号： C23F1/00 , C03C15/00
摘要： 본 발명은 금속을 함유하는 가공품의 연마 또는 평탄화용 수성 슬러리를 제공하는데, 상기 슬러리의 고체 부분은 약 1 내지 약 50중량%의 서브마이크론 알파-알루미나로 이루어지고, 고체 부분의 나머지는 알루미늄 하이드레이트, 알루미늄 옥사이드, 감마-알루미나, 델타-알루미나, 무정형 알루미나 및 무정형 실리카로 이루어진 하나 이상의 그룹으로부터 선택되는 상당히 작은 연마용 조성물로 이루어진다. 또한, 본 발명은 상기 수성 슬러리를 화학-기계적 연마 동안 연마용 조성물로서 사용하는, 금속을 함유하는 가공품의 표면을 연마시키는 방법을 제공한다.

129. 发明授权

KR100207962B1 동제 조형물의 이색 표현방법 失效
标题翻译：铜合金表面处理方法
公开(公告)号：KR100207962B1
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR1019960048235
申请日：1996-10-25
申请人： 윤석효
发明人： 이찬우
IPC分类号： C23F1/00
摘要： [목적]
황동, 청동제 전등 프레임같은 동제품의 표면을 산화처리ㅎ하고 입체무늬의 돌출부를 연삭하여 원재료의 색(본색)이 드러나게 함으로써 전체적으로는 단일 재질이면서도 2색으로 표현되는 조형물을 제공하기 위한 것이다.
[구성]
청동 또는 황동 등의 동제 조형물을 산화처리하고, 돌출부를 연삭하여 재질이 가지고 있는 본래의 색이 드러나게 하는 동제 조형물의 이색 표현방법이다.

130. 实用新型

KR2019990001497U 시료 표면부식 자동화장치 无效
标题翻译：样品表面腐蚀自动化设备
公开(公告)号：KR2019990001497U
公开(公告)日：1999-01-15
申请号：KR2019970014952
申请日：1997-06-19
申请人： 주식회사 포스코
发明人： 김용주
IPC分类号： C23F1/00
摘要： 본 고안은 양질의 부식시료를 얻을 수 있을 뿐만 아니라, 부식 환경에 따른 설비 손상이나 안전사고를 예방하고, 작업능률을 향상시킬 수 있도록 개선된 시료 표면부식 자동화장치에 관한 것이다.
본 고안은 일정크기의 중공형 공간을 갖고, 중앙에는 길이방향으로 일정높이의 레일이 형성되고, 상기 레일의 사이에는 절개홈이 형성되며, 일측으로는 냉각수 유입관과 배출관이 장착되는 한편, 상부측에는 투명덮개가 장착되고, 배기관과 환풍팬을 갖는 상자형의 케이싱; 상기 케이싱의 내측레일에 장착되는 약품저장조를 갖고, 상기 약품저장조의 전,후진이 가능한 모터를 갖는 약품공급기구; 상기 약품저장조내에 잠겨지는 다공성 재료의 시료받침대를 갖추고, 상기 시료받침대를 상,하로 이동시키도록 케이싱의 측벽에 장착되는 복수개의 실린더를 갖는 시료장착부; 상기 케이싱의 양측상부에 길이방향으로 장착되는 트로리레일을 갖추고, 상기 트로리레일에서 이동가능한 트로리 롤을 갖추며, 상기 롤에 회전가능하도록 연결되는 세척수 분사관을 갖추는 한편, 상기 세척수 공급관에는 세척수공급관과 공기압축기가 연결되고, 상기 세척수 분사관을 트로리 레일상에서 이동시키는 세척수 공급부;를 포함하는 시료표면부식 자동화장치를 제공한다.

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