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热词
    • 94. 发明授权
    • 검사 장치 및 검사 방법
    • 检查装置和检查方法
    • KR101782336B1
    • 2017-09-27
    • KR1020160025453
    • 2016-03-03
    • 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지
    • 야마시타야스히로오가와리키
    • G03F1/44G03F7/20G03F1/36G03F1/84
    • G01B11/002G01N21/95607G01N2021/95676G01N2201/06113G01N2201/12G06T5/009G06T5/50G06T7/001G06T2207/10056G06T2207/10152G06T2207/30148
    • 본발명의실시형태는, 보정오차를저감시켜정확한선폭오차를취득할수 있는검사장치및 검사방법을제공한다. 실시형태의검사장치(100)는, 광원(105)의광량변동에기초하여광학화상데이터를보정하는계조치보정부(131)와, 보정후의광학화상데이터로부터패턴의선폭을구하여, 상기선폭과상기광학화상데이터에대응하는참조화상데이터의패턴의선폭과의차인선폭오차를취득하는선폭오차취득부(119)를가진다. 투과용 TDI 센서(113)는, 마스크(Ma)를투과한광이입사되는제1 영역과, 광원(105)으로부터의광이며마스크(Ma)를조명하는광과는분기된광이입사되는제2 영역을구비하고있다. 계조치보정부(131)는, 제2 영역에입사한광으로부터취득된광학화상데이터의계조치의변동을구하여제1 영역에입사한광으로부터취득된광학화상데이터의계조치를보정한다.
    • 本发明的实施例提供能够减少校正误差并获得精确的线宽误差的检查设备和检查方法。 根据该实施例的检查装置100包括用于基于光源105的光量的变化来校正光学图像数据的灰度均衡单元131和用于从校正的光学图像数据计算图案的线宽的灰度级校正单元131, 以及线宽误差获得部分(119),用于获得线宽误差,该线宽误差是与光学图像数据相对应的参考图像数据的图案的线宽之间的差。 透射型TDI传感器113具有透过掩模Ma的光入射的第一区域和来自光源105的光和照射掩模Ma的光入射的第二区域, 它有一个区域。 灰度均衡单元131通过获得从入射在第二区域上的光获取的光学图像数据的灰度测量的变化来校正从入射在第一区域上的光获取的光学图像数据的灰度。
    • 99. 发明授权
    • 콘트라스트 개선
    • 改善对比度
    • KR101728088B1
    • 2017-04-18
    • KR1020117030244
    • 2010-06-28
    • 톰슨 라이센싱
    • 자이,지에푸야크,호안
    • G06T5/00G06T5/50
    • G06T5/009G06T5/50G06T2207/20016G06T2207/20208
    • 본발명에따른방법은원본이미지에액세스하고, 이미지의픽셀의픽셀값 및픽셀좌표를구축, 할당또는초기화함으로써이미지의콘트라스트를개선시킨다. 그런후에, 정수개수의레벨을갖는라플라시안(Laplacian) 피라미드가이미지에대해생성된다. 콘트라스트강화(boost) 피라미드가생성되고, 라플라시안피라미드에적용되어, 수정된라플라시안피라미드를획득하게되고, 여기서라플라시안피라미드의레벨의값이개선된다. 그런후에, 개선된이미지는수정된라플라시안피라미드로부터재구성된다.
    • 根据本发明的方法通过访问原始图像并构建,分配或初始化图像的像素的像素值和像素坐标来改善图像的对比度。 然后,为图像生成具有整数个级别的拉普拉斯金字塔。 生成对比度提升金字塔并将其应用于拉普拉斯金字塔以获得改进的拉普拉斯金字塔,其中拉普拉斯金字塔的水平值得到改善。 然后从改进的拉普拉斯金字塔重建改进的图像。
    • 100. 发明授权
    • 이미지들에 대한 자동 프로세싱
    • 自动处理图像
    • KR101725884B1
    • 2017-04-11
    • KR1020157036477
    • 2015-10-23
    • 구글 엘엘씨
    • 레이너드다니엘폴블룬칠리보리스코팅다니엘
    • G06T1/20G06T7/00
    • G06T5/00G06K9/036G06K9/6218G06K9/6255G06T5/009G06T11/60
    • 이미지들을프로세싱하기위한시스템들및 방법들이제공된다. 특히, 프로세싱을위해후보이미지를획득될수 있다. 후보이미지는관련된하나이상의이미지분류파라미터들을가질수 있다. 다음으로, 후보이미지내에서하나이상의픽셀그룹들이검출될수 있으며그리고상기하나이상의픽셀그룹들은시맨틱데이터에관련될수 있다. 다음으로, 하나이상의픽셀그룹들의시맨틱데이터에적어도일부기초하여적어도하나의기준이미지가식별될수 있다. 적어도하나의기준이미지가식별되면, 복수의조절파라미터들이판별될수 있다. 다음으로, 복수의조절파라미터들에적어도일부기초하는프로세싱된이미지를생성하도록, 후보이미지로부터의하나이상의픽셀그룹들이프로세싱될수 있다.
    • 提供用于处理图像的系统和方法。 特别是,可以获得候选图像进行处理。 候选图像可以具有与其相关联的一个或多个图像分类参数。 接下来,可以在候选图像中检测一组或多组像素,并且可以将一组或多组像素与语义数据相关联。 接下来,可以至少部分地基于一个或多个像素组的语义数据来识别至少一个参考图像。 如果至少一个参考图像被识别,则可以确定多个调节参数。 接下来,可以处理来自候选图像的一个或多个像素组以至少部分地基于多个调整参数来产生经处理的图像。