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1. 发明授权

KR101782336B1 검사 장치 및 검사 방법 有权
标题翻译：检查装置和检查方法
公开(公告)号：KR101782336B1
公开(公告)日：2017-09-27
申请号：KR1020160025453
申请日：2016-03-03
申请人： 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지
发明人： 야마시타야스히로 , 오가와리키
IPC分类号： G03F1/44 , G03F7/20 , G03F1/36 , G03F1/84
CPC分类号： G01B11/002 , G01N21/95607 , G01N2021/95676 , G01N2201/06113 , G01N2201/12 , G06T5/009 , G06T5/50 , G06T7/001 , G06T2207/10056 , G06T2207/10152 , G06T2207/30148
摘要： 본발명의실시형태는, 보정오차를저감시켜정확한선폭오차를취득할수 있는검사장치및 검사방법을제공한다. 실시형태의검사장치(100)는, 광원(105)의광량변동에기초하여광학화상데이터를보정하는계조치보정부(131)와, 보정후의광학화상데이터로부터패턴의선폭을구하여, 상기선폭과상기광학화상데이터에대응하는참조화상데이터의패턴의선폭과의차인선폭오차를취득하는선폭오차취득부(119)를가진다. 투과용 TDI 센서(113)는, 마스크(Ma)를투과한광이입사되는제1 영역과, 광원(105)으로부터의광이며마스크(Ma)를조명하는광과는분기된광이입사되는제2 영역을구비하고있다. 계조치보정부(131)는, 제2 영역에입사한광으로부터취득된광학화상데이터의계조치의변동을구하여제1 영역에입사한광으로부터취득된광학화상데이터의계조치를보정한다.
摘要翻译：本发明的实施例提供能够减少校正误差并获得精确的线宽误差的检查设备和检查方法。根据该实施例的检查装置100包括用于基于光源105的光量的变化来校正光学图像数据的灰度均衡单元131和用于从校正的光学图像数据计算图案的线宽的灰度级校正单元131，以及线宽误差获得部分（119），用于获得线宽误差，该线宽误差是与光学图像数据相对应的参考图像数据的图案的线宽之间的差。透射型TDI传感器113具有透过掩模Ma的光入射的第一区域和来自光源105的光和照射掩模Ma的光入射的第二区域，它有一个区域。灰度均衡单元131通过获得从入射在第二区域上的光获取的光学图像数据的灰度测量的变化来校正从入射在第一区域上的光获取的光学图像数据的灰度。

2. 发明公开

KR1020160110122A 검사 장치 및 검사 방법 有权
标题翻译：检查装置和检查方法
公开(公告)号：KR1020160110122A
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：KR1020160025453
申请日：2016-03-03
申请人： 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지
发明人： 야마시타야스히로 , 오가와리키
IPC分类号： G03F1/44 , G03F7/20 , G03F1/36 , G03F1/84
CPC分类号： G01B11/002 , G01N21/95607 , G01N2021/95676 , G01N2201/06113 , G01N2201/12 , G06T5/009 , G06T5/50 , G06T7/001 , G06T2207/10056 , G06T2207/10152 , G06T2207/30148
摘要： 본발명의실시형태는, 보정오차를저감시켜정확한선폭오차를취득할수 있는검사장치및 검사방법을제공한다. 실시형태의검사장치(100)는, 광원(105)의광량변동에기초하여광학화상데이터를보정하는계조치보정부(131)와, 보정후의광학화상데이터로부터패턴의선폭을구하여, 상기선폭과상기광학화상데이터에대응하는참조화상데이터의패턴의선폭과의차인선폭오차를취득하는선폭오차취득부(119)를가진다. 투과용 TDI 센서(113)는, 마스크(Ma)를투과한광이입사되는제1 영역과, 광원(105)으로부터의광이며마스크(Ma)를조명하는광과는분기된광이입사되는제2 영역을구비하고있다. 계조치보정부(131)는, 제2 영역에입사한광으로부터취득된광학화상데이터의계조치의변동을구하여제1 영역에입사한광으로부터취득된광학화상데이터의계조치를보정한다.
摘要翻译：本发明涉及一种减少校正误差以获得精确的线宽误差的检查装置和检查方法。检查装置（100）包括用于基于光源（105）的光剂量的变化校正光学图像数据的灰度校正部（131）。以及线宽度误差获取部（119），用于根据校正后的光学图像数据计算图案的线宽，以获得作为图案的线宽与图案的线宽之间的差的线宽误差对应于光学图像数据的参考图像数据。用于透射的TDI传感器（113）设置有输入透过掩模（Ma）的光的第一区域和从光源（105）发射并从光照射发散的光的第二区域输入面罩（Ma）。灰度校正部（131）计算从输入到第二区域的光获得的光学图像数据的灰度的方差，并且校正从输入到第一区域的光获得的光学图像数据的灰度。

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