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1. 发明授权

KR101758305B1 벤트홀이 형성된 마이크로 히터의 제조방법 및 이에 의해 제조된 마이크로 히터 有权
标题翻译：一种制造其中形成通气孔的微型加热器和微型加热器的方法
公开(公告)号：KR101758305B1
公开(公告)日：2017-07-27
申请号：KR1020150191134
申请日：2015-12-31
申请人： (재)한국나노기술원
发明人： 성호근 , 박범두 , 이희관 , 이용수 , 최원명 , 황선용 , 유정상
IPC分类号： H05B3/10 , H05B3/14 , H05B3/03 , H05B3/06 , H05B3/78
摘要： 본발명은마이크로히터의제조방법및 이에의해제조된마이크로히터에관한것으로서, 기판상에멤브레인을형성할물질을증착하고, 이를패터닝하여캐버티형(cavity type) 멤브레인을형성하는제1단계와, 상기멤브레인상에전극을형성할물질을증착하고, 이를패터닝하여전극패턴을형성하는제2단계와, 상기전극패턴을패터닝하여상기전극패턴에상기멤브레인의캐버티와연통하는상부벤트홀(top vent-hole)을형성하는제3단계및 상기기판의뒷면을패터닝하여에칭하여상기상부벤트홀과연통하는하부벤트홀(bottom vent-hole)을형성하는제4단계를포함하여이루어진것을특징으로하는벤트홀이형성된마이크로히터의제조방법및 이에의해제조된마이크로히터를기술적요지로한다. 이에의해마이크로히터의탑(top) 부분에상부벤트홀(top vent-hole)을형성하여온도변화에따른캐버티(cavity) 내부의절대압력변화에의한구조적안정성을향상시키고, 상부벤트홀을멤브레인이아닌전극이나금속요소에형성함으로써, 멤브레인에작용하는물리적인스트레스를최소화하여온도및 압력이급격하게변하는환경등에서도널리활용할수 있는마이크로히터를제공하는이점이있다.
摘要翻译：本发明的第一个步骤，以形成沉积材料，以在基板上形成膜，通过图案化型腔模具（腔型）膜涉及一种用于制造微型加热器，因此微型加热器通过制备用于沉积材料以形成在膜上的电极，并且通过图案化该图案化形成电极图案的第二步骤上通气孔，电极图案连通与膜的电极图案中的腔体（顶部排气 5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述基板的背面形成图案并蚀刻所述基板的背面以形成与所述上通气孔连通的底部通气孔，公开了一种制造微型加热器的方法和通过该方法制造的微型加热器。因此，通过形成上通气孔（顶部泄孔）到微加热器的顶部（顶端）部分，以提高绝对压力变化的在腔（空腔）的结构稳定性由于通过膜的温度变化到上通风孔有可能提供一种微型加热器，即使在通过最小化作用于膜上的物理应力而使温度和压力迅速改变的环境中也可以广泛使用。

2. 发明公开

KR1020160124986A 볼로미터 어레이 시스템 및 그를 이용한 온도 계측 방법 有权
标题翻译：改性辐射计阵列系统和温度测量方法使用相同
公开(公告)号：KR1020160124986A
公开(公告)日：2016-10-31
申请号：KR1020150055383
申请日：2015-04-20
申请人： (재)한국나노기술원
发明人： 박범두 , 성호근 , 강호관 , 최재원 , 윤홍민 , 임웅선 , 박미림
IPC分类号： G01J5/24 , G01J5/08
摘要： 본발명은제1TCR 성질을갖고저항값을측정하는하나이상의제1볼로미터; 및상기제1볼로미터와상이한제TCR 성질을갖고저항값을측정하는하나이상의제2볼로미터를포함하는것을특징으로하는볼로미터어레이시스템을제공한다. 본발명에의하면, 볼로밑터가측정한현재온도의오차를줄일수 있다.

3. 发明授权

KR101758306B1 볼로미터 어레이 시스템 및 그를 이용한 온도 계측 방법 有权
公开(公告)号：KR101758306B1
公开(公告)日：2017-07-17
申请号：KR1020150055383
申请日：2015-04-20
申请人： (재)한국나노기술원
发明人： 박범두 , 성호근 , 강호관 , 최재원 , 윤홍민 , 임웅선 , 박미림
IPC分类号： G01J5/24 , G01J5/08
摘要： 본발명은제1TCR 성질을갖고저항값을측정하는하나이상의제1볼로미터; 및상기제1볼로미터와상이한제TCR 성질을갖고저항값을측정하는하나이상의제2볼로미터를포함하는것을특징으로하는볼로미터어레이시스템을제공한다. 본발명에의하면, 볼로밑터가측정한현재온도의오차를줄일수 있다.

4. 发明公开

KR1020170080968A 벤트홀이 형성된 마이크로 히터의 제조방법 및 이에 의해 제조된 마이크로 히터 有权
公开(公告)号：KR1020170080968A
公开(公告)日：2017-07-11
申请号：KR1020150191134
申请日：2015-12-31
申请人： (재)한국나노기술원
发明人： 성호근 , 박범두 , 이희관 , 이용수 , 최원명 , 황선용 , 유정상
IPC分类号： H05B3/10 , H05B3/14 , H05B3/03 , H05B3/06 , H05B3/78
摘要： 본발명은마이크로히터의제조방법및 이에의해제조된마이크로히터에관한것으로서, 기판상에멤브레인을형성할물질을증착하고, 이를패터닝하여캐버티형(cavity type) 멤브레인을형성하는제1단계와, 상기멤브레인상에전극을형성할물질을증착하고, 이를패터닝하여전극패턴을형성하는제2단계와, 상기전극패턴을패터닝하여상기전극패턴에상기멤브레인의캐버티와연통하는상부벤트홀(top vent-hole)을형성하는제3단계및 상기기판의뒷면을패터닝하여에칭하여상기상부벤트홀과연통하는하부벤트홀(bottom vent-hole)을형성하는제4단계를포함하여이루어진것을특징으로하는벤트홀이형성된마이크로히터의제조방법및 이에의해제조된마이크로히터를기술적요지로한다. 이에의해마이크로히터의탑(top) 부분에상부벤트홀(top vent-hole)을형성하여온도변화에따른캐버티(cavity) 내부의절대압력변화에의한구조적안정성을향상시키고, 상부벤트홀을멤브레인이아닌전극이나금속요소에형성함으로써, 멤브레인에작용하는물리적인스트레스를최소화하여온도및 압력이급격하게변하는환경등에서도널리활용할수 있는마이크로히터를제공하는이점이있다.

5. 发明公开

KR1020160024062A 친수성 및 소수성 영역이 선택적으로 구현된 마이크로 유체 채널의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 마이크로 유체 채널 无效
标题翻译：用于微流体通道和微流体通道的亲水和亲水表面选择性采集的制造方法
公开(公告)号：KR1020160024062A
公开(公告)日：2016-03-04
申请号：KR1020140109707
申请日：2014-08-22
申请人： (재)한국나노기술원
发明人： 이희관 , 박범두 , 성호근 , 이근우 , 윤홍민 , 강호관 , 정승환
IPC分类号： C12M1/34 , G01N35/08 , B81B1/00
CPC分类号： C12M1/34 , B81B1/00 , C12M1/00 , G01N35/08
摘要： 본발명은마이크로유체채널에관한것으로서, 마이크로유체채널의제조방법에있어서, 기판상에패터닝에의한채널부와밸브부를형성하는제1단계와, 상기기판전면에산화막층을형성하여상기채널부는실링시키고, 상기밸브부는오픈시켜상기채널부내부는친수성영역이확보되도록하는제2단계와, 상기기판전면을표면처리하여상기밸브부내부는소수성영역이확보되도록하는제3단계와, 상기기판전면에폴리머코팅하여상기밸브부를실링하고상기채널부및 밸브부를본딩하는제4단계와, 상기기판에마이크로유체채널분리를위한패턴을형성하는제5단계와, 상기기판상에서마이크로유체채널을분리하는제6단계를포함하여이루어진것을특징으로하는친수성및 소수성영역이선택적으로구현된마이크로유체채널의제조방법및 이에의해제조된마이크로유체채널을그 기슬적요지로한다. 이에의해선택적으로표면화학적성질(surface chemistry)을용이하게변경할수 있어, 복잡한공정설계가필요없어제 비용의절감및 수율을상승시키고, 친수성및 소수성영역에대한재현성이우수하여고집적도의정밀한유체의흐름을제어할수 있어신뢰성있는마이크로유체채널을제공할수 있는이점이있다.
摘要翻译：微流体通道及其制造方法技术领域本发明涉及微流体通道及其制造方法。更具体地，本发明涉及一种具有选择性形成的亲水和疏水区域的微流体通道的制造方法，其包括：通过图案化在基底上形成通道和阀的第一步骤; 在衬底的整个表面上形成氧化膜层并在打开阀门的同时密封通道以将通道内的亲水区域固定的第二步骤; 表面处理基板的整个表面以将阀内的疏水区域固定的第三步骤; 在基板的整个表面上涂覆聚合物的第四步骤，密封阀并粘合通道和阀; 形成用于分离衬底上的微流体通道的图案的第五步骤; 以及分离基板上的微流体通道的第六步骤和通过该方法制造的微流体通道。根据本发明，有利地，该方法易于选择性地改变表面化学，因此不需要设计复杂的工艺来降低成分成本并提高产量，由于亲水和疏水区域的高再现性而控制流体的高集成精确流动，并且从而提供可靠的微流体通道。

6. 发明授权

KR101775979B1 조기 항복전압을 막을 수 있는 p-n 접합 반도체 소자 및 그 제조방법 有权
公开(公告)号：KR101775979B1
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：KR1020150187624
申请日：2015-12-28
申请人： (재)한국나노기술원
发明人： 박범두 , 성호근 , 이근우 , 이병오 , 임웅선 , 이동근
IPC分类号： H01L29/06 , H01L29/66 , H01L21/761 , H01L21/027 , H01L21/3065 , H01L21/306
摘要： 본발명은조기항복전압을막을수 있는 p-n 접합반도체소자및 그제조방법에관한것이다. 본발명에따른조기항복전압을막을수 있는 p-n 접합반도체소자는, 기판과; 기판위에적층형성되는반도체동작층을포함하고, 반도체동작층의소정부위에는 p-n 접합으로이루어지는소정높이의돌출부가형성되되, 상기돌출부의가장자리면(edge surface)은하반부가수직면으로이루어지고상반부는곡면또는경사면형태로형성되거나, 상반부가수직면으로이루어지고하반부는곡면또는경사면형태로형성된다. 이와같은본 발명에의하면, 반도체소자의가장자리면 부분을반곡면(half-curved) 또는경사면(chamfered) 형태로형성함으로써, 반도체소자의가장자리면의공핍층두께를벌크(bulk) 영역에비해상대적으로더 두껍게확장하여반도체소자의조기항복전압을억제할수 있다. 또한, 반도체소자의가장자리면 부분에형성된경사면이 5∼10°의경사각도로되어있어단차피복이우수한산화처리가가능하며, 이에따라전류붕괴현상을개선하는등의우수한신뢰성을가지는반도체소자의제공이가능하다.

7. 发明公开

KR1020170077924A 조기 항복전압을 막을 수 있는 p-n 접합 반도체 소자 및 그 제조방법 有权
标题翻译：能够防止早期击穿电压的P-n结半导体器件及其制造方法
公开(公告)号：KR1020170077924A
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：KR1020150187624
申请日：2015-12-28
申请人： (재)한국나노기술원
发明人： 박범두 , 성호근 , 이근우 , 이병오 , 임웅선 , 이동근
IPC分类号： H01L29/06 , H01L29/66 , H01L21/761 , H01L21/027 , H01L21/3065 , H01L21/306
摘要： 본발명은조기항복전압을막을수 있는 p-n 접합반도체소자및 그제조방법에관한것이다. 본발명에따른조기항복전압을막을수 있는 p-n 접합반도체소자는, 기판과; 기판위에적층형성되는반도체동작층을포함하고, 반도체동작층의소정부위에는 p-n 접합으로이루어지는소정높이의돌출부가형성되되, 상기돌출부의가장자리면(edge surface)은하반부가수직면으로이루어지고상반부는곡면또는경사면형태로형성되거나, 상반부가수직면으로이루어지고하반부는곡면또는경사면형태로형성된다. 이와같은본 발명에의하면, 반도체소자의가장자리면 부분을반곡면(half-curved) 또는경사면(chamfered) 형태로형성함으로써, 반도체소자의가장자리면의공핍층두께를벌크(bulk) 영역에비해상대적으로더 두껍게확장하여반도체소자의조기항복전압을억제할수 있다. 또한, 반도체소자의가장자리면 부분에형성된경사면이 5∼10°의경사각도로되어있어단차피복이우수한산화처리가가능하며, 이에따라전류붕괴현상을개선하는등의우수한신뢰성을가지는반도체소자의제공이가능하다.
摘要翻译：本发明涉及能够防止早期击穿电压的p-n结半导体器件及其制造方法。根据本发明的能够防止早期击穿电压的p-n结半导体器件包括：衬底; 以及半导体操作层，层叠在所述基板上，其中，所述pn结的预定高度形成在所述半导体操作层的预定部分上，所述突出部分的边缘表面由竖直平面形成，并且所述上半部分是曲面或者上表面或上表面的上半部分，上表面的下半部分由曲面或倾斜面形成。根据本发明，由于半导体器件的边缘部分形成为半弯曲或倒角形状，所以与体区域相比，半导体器件的边缘表面上的耗尽层的厚度相对减小可以抑制半导体器件的早期击穿电压。另外，由于形成在半导体元件的边缘部分上的倾斜表面具有5至10度的半径，因此可以提供具有优异可靠性的半导体器件，例如改善电流崩塌现象，我会的。

8. 发明授权

KR101528558B1 마이크로칩이 모놀리식으로 집적된 탐침의 제조방법 및 그에 의해 제조된 탐침 有权
标题翻译：具有单一集成微芯片和多功能刺激提示的刺激提示的制造方法
公开(公告)号：KR101528558B1
公开(公告)日：2015-06-15
申请号：KR1020140030449
申请日：2014-03-14
申请人： (재)한국나노기술원
发明人： 성호근 , 최지현 , 강호관 , 김신근 , 박범두
IPC分类号： A61B5/0484 , A61B5/0478
摘要： 본발명은마이크로칩이모놀리식으로집적된탐침의제조방법에있어서, 기판을준비하는제1단계와, 상기기판상의일부영역에마이크로칩을형성하는제2단계와, 상기기판상에형성하며, 상기마이크로칩과전기적으로연결된금속배선전극을형성하는제3단계와, 상기마이크로칩과, 상기기판상의전 영역및 상기금속배선전극을감싸도록절연막을형성하는제4단계와, 상기기판에탐침형성을위한패턴을형성하는제5단계와, 상기기판의두께를낮추기위해폴리싱또는에칭하는제6단계와, 상기기판상에서탐침모양의패턴을분리하는제7단계를포함하여이루어진것을특징으로하는마이크로칩이모놀리식으로집적된탐침의제조방법및 그에의해제조된마이크로칩이모놀리식으로집적된탐침을기술적요지로한다. 이에의해본 발명은기판상에마이크로칩을모놀리식집적화하여탐침을기판화하여제작함으로써탐침의두께가줄어들어의학적효용성이높아지고, 따로기판소재가소모되지않고공정이단순하여제품의단가를낮출수 있는이점이있다.
摘要翻译：本发明提供一种具有单片集成微芯片的探针和由其制造的微芯片的制造方法。本发明的制造方法包括：准备基板的第一工序; 在所述基板上的区域中形成微芯片的第二步骤; 形成与所述基板上的所述微芯片电连接的金属布线电极的第三工序; 形成绝缘膜以包裹微芯片，基板的所有区域和金属布线电极的第四步骤; 在衬底上形成用于形成探针的图案的第五步骤; 用于减小基板的厚度的第六步骤; 以及将探针形状的图案与基板分开的第七步骤。因此，本发明通过将微芯片整体集成在基板上来使探针成为基板，以减小探针的厚度，并增加医疗用途。本发明还可以通过简单的工艺降低产品的单价，而不消耗单独的基材。

9. 发明授权

KR102060966B1 임시기판 구조체를 이용한 플렉서블 반도체 소자의 제조방법 有权
公开(公告)号：KR102060966B1
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：KR1020170182535
申请日：2017-12-28
申请人： (재)한국나노기술원
发明人： 박형호 , 고유민 , 조주영 , 박경호 , 최재혁 , 이근우 , 정상현 , 김창완 , 최영수 , 박범두 , 이동근
IPC分类号： H01L29/778 , H01L21/18 , H01L21/78 , H01L23/00 , H01L29/78

10. 发明授权

KR101564710B1 파장 제어가 가능한 탐침의 제조방법 및 그에 의해 제조된 탐침 有权
标题翻译：波纹刺激提示和刺激提示的制造方法
公开(公告)号：KR101564710B1
公开(公告)日：2015-11-02
申请号：KR1020140063619
申请日：2014-05-27
申请人： (재)한국나노기술원
发明人： 성호근 , 이근우 , 최재원 , 이병오 , 윤홍민 , 이희관 , 이용수 , 임웅선 , 박미림 , 박범두 , 강호관
IPC分类号： A61N5/06 , A61B5/0478 , C12M1/42
摘要： 본발명은발광소자가집적된탐침의제조방법에있어서, 기판을준비하는제1단계와, 상기기판상의일부영역에발광소자형성을위한정렬키를형성하고, 제1전극층을형성하는제2단계와, 상기정렬키를기준으로하여발광파장이다른복수개의발광소자를상기기판상에형성하는제3단계와, 상기기판상에형성되며, 상기발광소자와전기적으로연결된금속배선전극을형성하는제4단계와, 상기발광소자와, 상기기판상의전 영역및 상기금속배선전극을감싸도록절연막을형성하는제5단계와, 상기기판에탐침형성을위한패턴을형성하는제6단계와, 상기기판의두께를낮추기위해폴리싱또는에칭하는제7단계와, 상기기판상에서탐침모양의패턴을분리하는제8단계를포함하여이루어진것을특징으로하는파장제어가가능한탐침의제조방법및 이에의해제조된탐침을기술적요지로한다. 이에의해, 단일의탐침(기판) 상에발광파장이다른복수개의발광소자를형성함으로써, 한개의탐침으로다양한파장영역대의발광이가능하도록하여, 선택적으로신경의활성과억제의제어가가능하여의학적효용성이매우높으며, 제품의단가를낮추고, 공정의간단화로제품수율을향상시키는이점이있다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于制造与发光二极管集成的探针的方法，更具体地，涉及一种用于制造能够控制波长的探针的方法以及由此制造的探针，其包括：制备基底的第一步骤 ; 形成用于在所述基板的一些区域上形成发光二极管的对准键以形成第一电极层的第二步骤; 基于对准键在基板上形成具有不同发射波长的多个发光二极管的第三步骤; 在与所述发光二极管电连接的基板上形成金属配线电极的第四工序; 形成绝缘膜以覆盖发光二极管，基板上的整个区域和金属互连电极的第五步骤; 在衬底上形成图案以形成探针的第六步骤; 抛光或蚀刻基板以减小基板的厚度的第七步骤; 以及从基板分离探针形图案的第八步骤。因此，在单个探针（基板）上形成具有不同发射波长的多个发光二极管，以允许单个探针发射各种波长带的光并选择性地控制神经的激活或抑制，从而提供非常高的临床效用，减少单位产品成本，并简化了提高产量的过程。

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