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1. 发明专利

JPWO2020234944A1 ガスレーザ装置有权
公开(公告)号：JPWO2020234944A1
公开(公告)日：2021-06-10
申请号：JP2019019786
申请日：2019-05-17
申请人：三菱電機株式会社
发明人：山本達也 , 西前順一 , 田所譲 , 成瀬正史 , 川島拓也
IPC分类号： H01S3/034 , H01S3/13
摘要：ガスレーザ装置は、放電領域(23,24)へ伝搬するレーザ光が通る第1の開口部である開口部(19c)と、第1の開口部を通って放電領域(23,24)を往復したレーザ光が通る第2の開口部である開口部(19a)とが設けられている第1の遮蔽部品である遮蔽板(15)と、第1の開口部を通って放電領域(23,24)を伝搬したレーザ光と、放電領域(23,24)を経て第2の開口部へ伝搬するレーザ光とが通る第3の開口部である開口部(20a)が設けられており、放電領域(23,24)を挟んで第1の遮蔽部品と対向する第2の遮蔽部品である遮蔽板(16)と、を備える。第3の開口部の平面形状には、直線部位が含まれている。第3の開口部の平面形状を第1の遮蔽部品に投影した場合において、第2の開口部の平面形状の幾何中心と第3の開口部の平面形状の幾何中心とを結ぶ線分の方向は、直線部位における垂線の方向とは異なる方向である。

2. 发明专利

JP2021040007A 波長可変レーザー装置およびレーザー出力装置审中-公开
公开(公告)号：JP2021040007A
公开(公告)日：2021-03-11
申请号：JP2019159646
申请日：2019-09-02
申请人：国立大学法人埼玉大学 , セブンシックス株式会社
发明人：塩田達俊 , 西浦匡則
IPC分类号： H01S3/13
摘要：【課題】レーザー光の波長を可変にする。【解決手段】生成するレーザー光の波長が可変である波長可変レーザー装置であって、通過するレーザー光を増幅する増幅部と、通過するレーザー光のうち、予め設定された通過帯域の波長成分を通過させるフィルタ部とを備え、レーザー光の波長を目標波長に変更する場合に、フィルタ部は、通過帯域の設定を、現在の通過帯域である現通過帯域から、レーザー光の目標波長に対応する目標通過帯域まで、少なくとも2回のステップに分けて変化させる波長可変レーザー装置を提供する。【選択図】図7

3. 发明专利

JP2019152645A 光周波数計測装置审中-公开
公开(公告)号：JP2019152645A
公开(公告)日：2019-09-12
申请号：JP2018190682
申请日：2018-10-09
申请人：日本電信電話株式会社 , 学校法人東京電機大学
发明人：石澤淳 , 日達研一 , 西川正 , 原一鳳
IPC分类号： H01S3/00 , H01S3/13 , G01J9/00
摘要：【課題】高精度な参照光源を必要とすることなく、被計測レーザーの光周波数を高確度で計測する。【解決手段】光周波数特定部70が、設定信号の設定周波数f0を第1および第2のシフト周波数f0a,f0bに変更した際における、基準信号の繰り返し周波数frepa,frepbを計測し、これらの周波数差frepa−frepbに基づいて、モード次数Nさらには被計測レーザー光の光周波数fxを特定する。【選択図】図1

4. 发明专利

JP2018078293A レーザーパルスマルチプライヤを用いた半導体検査及び計測システム审中-公开
公开(公告)号：JP2018078293A
公开(公告)日：2018-05-17
申请号：JP2017220025
申请日：2017-11-15
申请人：ケーエルエー−テンカーコーポレイション
发明人：チュアンユン−ホアレックス , リオウジャスティンダイアンフアン , アームストロングジェイジョセフ , デンユージン
IPC分类号： G01N21/956 , H01S3/00 , H01L21/66 , G01N21/84 , H01S3/083 , H01S3/13
CPC分类号： H01S3/005 , C23C16/00 , G02B17/00 , G02B17/0848 , G02B27/00 , G02B27/108 , H01S3/00 , H01S3/10
摘要：【課題】レーザーの出力で動作するUVレーザーの反復率を向上させるための実用的かつ低コストな技術を提供する。【解決手段】半導体の検査または計測に用いるパルスマルチプライヤは、レーザーパルスを受け取るビームスプリッター103と、ビームスプリッター103を含むリングキャビティを形成する1つ以上のミラー106,107を備える。ビームスプリッターは、レーザーパルスのエネルギーの第1の割合をパルスマルチプライヤの出力として向け、レーザーパルスのエネルギーの第2の割合をリングキャビティに向け、リングキャビティは、波長板を含んでおらず、連続する出力パルスは同一の偏光状態を有する。【選択図】図1A

5. 发明专利

JP2017501385A ランダム波長計測器审中-公开
标题翻译：随机波长测量仪器
公开(公告)号：JP2017501385A
公开(公告)日：2017-01-12
申请号：JP2016527442
申请日：2014-10-29
申请人：ユニバーシティーコートオブザユニバーシティーオブセイントアンドリューズUniversity Court Of The University Of St Andrews , ユニバーシティーコートオブザユニバーシティーオブセイントアンドリューズUniversity Court Of The University Of St Andrews
发明人：ドラキアキシャン , ドラキアキシャン , マジルマイケル , マジルマイケル , メッツガークラウス , メッツガークラウス
IPC分类号： G01J9/02 , H01S3/00 , H01S3/13
CPC分类号： G01J9/0246 , G01J1/4257 , G01J3/0205 , G01J4/00 , G01J2001/0481 , G01J2009/0257
摘要：光を散乱させることでランダム化させ、スペックルパターンを生成するための、複数のランダムに配置された散乱体を有するランダマイザと、前記スペックルパターンを検出して光の少なくとも1つの特性及び/又は光の少なくとも1つの特性における変化を求めるための検出器と、備える光学系。【選択図】図1
摘要翻译：由散射光，用于产生斑点图案的随机，布置在多个的光的随机的，至少一个特征的具有随机化散射通过检测散斑图案和/或检测器，并且包括用于在光的至少一个属性确定的变化的光学系统。点域1

6. 发明专利

JP6013793B2 分散補償媒体有权
标题翻译：色散补偿中
公开(公告)号：JP6013793B2
公开(公告)日：2016-10-25
申请号：JP2012137052
申请日：2012-06-18
申请人：日本電信電話株式会社
发明人：石橋茂雄 , 長沼和則
IPC分类号： H01S3/13 , G02B5/08 , H01S3/08

7. 发明专利

JP2016119476A 光共振装置及び共振器において一周時間を調節する方法有权
标题翻译：光学谐振装置，以及用于调谐谐振器中的平行时间的方法
公开(公告)号：JP2016119476A
公开(公告)日：2016-06-30
申请号：JP2015248420
申请日：2015-12-21
申请人：メンロシステムズゲーエムベーハー
发明人：ロナルトホルツヴァルト , ヴォルフガングヘンゼル
IPC分类号： H01S3/067 , H01S3/10 , H01S3/098 , G02F1/37 , G01J9/02 , G01B9/02 , H01S3/13
CPC分类号： H01S3/1062 , H01S3/08054 , H01S3/106 , H01S3/109 , H01S3/137 , H01S3/06791 , H01S3/0816 , H01S3/083
摘要：【課題】優れた操作を提供し又はより速い調節を可能にするために、繰り返し率、共振器内を循環するパルスの群一周時間及び/又は共振器放射の搬送オフセット周波数を変更又は制御する可能性を提供する。【解決手段】共振器(2)を含む光共振装置(1)において、干渉計(9)が、前記共振器(2)内に配置され、少なくとも第1及び第2干渉計レッグ(9a,9b)を有する。前記2つの干渉計レッグ(9a,9b)は、互いに異なる光路長(L1,L2)を有する。本発明によれば、干渉計(9)が前記共振器(2)内を循環する放射線(8)を前記第1及び第2干渉計レッグ(9a,9b)に分割する分割比が可変に調節可能である。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供改变或控制重复率的可能性，在谐振器中循环的脉冲的组往返时间和/或谐振器辐射的载波偏移频率，以便提供优异的处理或允许更快的调整。：在包括谐振器（2）的光学谐振装置（1）中，干涉仪（9）布置在谐振器（2）中，并且至少包括第一和第二干涉仪支腿（9a，9b）。两个干涉仪腿（9a，9b）具有彼此不同的光路长度（L1，L2）。根据本发明，分频比可变地调节，干涉仪（9）通过该分割比将谐振器（2）中循环的辐射（8）分解成第一和第二干涉仪支腿（9a，9b）。选择的图示：图2

8. 发明专利

JP2016509749A レーザーパルスマルチプライヤを用いた半導体検査及び計測システム审中-公开
标题翻译：半导体检测和计量系统中使用的激光脉冲乘数
公开(公告)号：JP2016509749A
公开(公告)日：2016-03-31
申请号：JP2015546549
申请日：2013-12-03
申请人：ケーエルエー−テンカーコーポレイション , ケーエルエー−テンカーコーポレイション
发明人：ユン−ホアレックスチュアン , ユン−ホアレックスチュアン , ジャスティンダイアンフアンリオウ , ジャスティンダイアンフアンリオウ , ジェイジョセフアームストロング , ジェイジョセフアームストロング , ユージンデン , ユージンデン
IPC分类号： H01S3/13 , G01N21/956 , H01L21/66
CPC分类号： H01S3/005 , C23C16/00 , G02B17/00 , G02B17/0848 , G02B27/00 , G02B27/108 , H01S3/00 , H01S3/10
摘要：パルスマルチプライヤはビームスプリッター及び1つ以上のミラーを含む。ビームスプリッターは連続する入力レーザーパルスを受け取り、かつ各パルスのエネルギーの一部をリングキャビティに向ける。リングキャビティの周りを循環した後、パルスエネルギーの一部はビームスプリッターを通過してリングキャビティから射出し、エネルギーの一部は再循環する。リングキャビティの光路長を選択することにより、出力連続レーザーパルスの反復率は入力反復率の倍数にすることができる。出力パルスの相対エネルギーはビームスプリッターの透過率及び反射率を選択することにより制御できる。このパルスマルチプライヤはパルス当たりのピーク出力を安価に低減でき、同時に最小の総出力損失で秒当たりのパルス数を増加させる。
摘要翻译：脉冲倍增器包括一个分束器和一个或多个反射镜。分束器接收输入激光连续脉冲，而直接在环腔的每个脉冲的能量的一部分。周围的环形腔中循环后，从通过分束器的环形腔射出的脉冲能量的一部分，部分能量被回收。通过选择环腔的光路长度，输出连续的激光脉冲的重复率可以是输入的重复率的倍数。输出脉冲的相对能量可以通过选择分束器的透射率和反射率来进行控制。该脉冲乘数可以廉价降低每个脉冲的峰值功率，同时增加了每秒最低的总功率损耗的脉冲数。

9. 发明专利

JP5865977B1 ファイバレーザ装置、光パワーモニタ装置、及び光パワーモニタ方法有权
标题翻译：光纤激光装置，该光学功率监测装置，以及光功率监视方法
公开(公告)号：JP5865977B1
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：JP2014205880
申请日：2014-10-06
申请人：株式会社フジクラ
发明人：柏木正浩 , 藤田智之
IPC分类号： H01S3/13 , H01S3/00 , G02B6/42 , G01J1/02 , G01J1/42 , H01S3/067
摘要：【課題】反射光を精度良くモニタして加工特性の劣化を防止することが可能なファイバレーザ装置等を提供する。【解決手段】ファイバレーザ装置は、増幅媒体として機能する光ファイバFと、光ファイバFから出力される光を伝送する伝送媒体として機能する光ファイバF1と、光ファイバF,F1の融着接続点Pよりも出力光の出力側に配置され、融着接続点Pで漏れ出した出力光を検出する光検出器26aと、融着接続点Pよりも出力光の入力側に配置され、融着接続点Pで漏れ出した反射光を検出する光検出器26bとを有する光パワーモニタ装置12と、反射光が生じない状況下で光パワーモニタ装置12から予め得られた光検出器26a,26bの検出結果の関係を用い、光検出器26bの検出結果から出力光の影響を排除する演算を行う演算部31とを備える。【選択図】図5
摘要翻译：本发明提供一种由能够防止的处理特性劣化的光纤激光装置精确地监测，例如反射光。的光纤激光装置中，光纤F其功能是作为一个放大介质，光纤F1充当传输介质，用于从光纤F，光纤F，熔接点F1传送的光输出它被布置在比P，光电检测器26A，用于检测输出光在熔接点P泄漏的输出光的输出侧，比所述熔接点P被设置在输出光，融合的输入侧光功率监视器单元12和，在先前的情况下获得的光检测器26A从光功率监视器装置12在没有反射的光，并用于在连接点P和26b检测反射光泄漏的光检测器26b的包括使用的关系的检测结果的，用于执行操作的计算单元31，以消除输出光的从光检测器26b的检测结果的影响。点域5

10. 发明专利

JP2016503584A レーザパルス集束有权
标题翻译：激光脉冲聚焦
公开(公告)号：JP2016503584A
公开(公告)日：2016-02-04
申请号：JP2015542170
申请日：2012-11-14
申请人：バーフェリヒトゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング , バーフェリヒトゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
发明人：フォーグラークラウス , フォーグラークラウス , キッテルマンオーラフ , キッテルマンオーラフ , フェーゼルマティーアス , フェーゼルマティーアス , ドニツキークリストフ , ドニツキークリストフ
IPC分类号： H01S3/13 , A61F9/008 , H01S3/00 , H01S5/0683 , H01S5/50
CPC分类号： H01S3/0057 , A61F9/008 , A61F9/0084 , G01J11/00 , H01S3/106
摘要：ある特定の実施形態において、システム(10)は、レーザ光源(20)、1つ以上の光学素子(24)、監視デバイス(28)、および制御コンピュータ(30)を含む。レーザ光源(20)は、1つ以上のレーザパルスを出射する。光学素子(24)は、レーザパルスのパルス長を変更し、監視デバイス(28)は、パルス長の変化を検出するためにレーザパルスのパルス長を測定する。制御コンピュータ(30)は、監視デバイス(28)から測定されたパルス長を受け取り、パルス長の変化を補償する1つ以上のレーザパラメータを決定し、レーザパラメータに従ってレーザ光源(20)を制御する。【選択図】図1
摘要翻译：在某些实施例中，系统（10）包括一个激光光源（20），一个或多个光学元件（24），监测装置（28），以及控制计算机（30）。一种激光光源（20）发射的一个或多个激光脉冲。光学元件（24）改变激光脉冲的脉冲长度，监控装置（28）测量，以检测在脉冲长度的变化的激光脉冲的脉冲长度。控制计算机（30）接收来自所述监测装置（28）测量的脉冲长度，确定一个或多个激光器参数，以补偿脉冲长度的变化，并控制在根据激光参数激光光源（20）。点域1

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