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    • 9. 发明专利
    • 半導体素子
    • JP2020120080A
    • 2020-08-06
    • JP2019012383
    • 2019-01-28
    • 株式会社村田製作所
    • 黒川 敦小林 一也
    • H01L29/737H01L21/60H01L21/331
    • 【課題】外部基板に実装する際に、電気的な接続不良の発生を抑制することができる半導体素子を提供する。 【解決手段】半導体素子は、半導体基板と、半導体基板の上に設けられたコレクタ層と、コレクタ層の上に設けられたベース層と、ベース層の上に設けられたエミッタ層と、エミッタ層に電気的に接続されたエミッタ配線と、エミッタ配線の上に設けられた上部金属層と、エミッタ配線及び上部金属層を覆うとともに、少なくともコレクタ層と重なる領域に第1開口が設けられた第1保護膜と、第1開口を介してエミッタ配線と電気的に接続される下部バンプ金属層を含み、下部バンプ金属層の平面視での面積が第1開口の面積よりも大きいバンプと、を有し、第1保護膜の端部は、第1開口を囲み、かつ、上部金属層の上に設けられる。 【選択図】図3