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    • 7. 发明专利
    • 熱アシスト磁気ヘッド検査方法及び熱アシスト磁気ヘッド検査装置
    • 热辅助磁头检测方法和热辅助磁头检测装置
    • JP2015079550A
    • 2015-04-23
    • JP2013214611
    • 2013-10-15
    • 株式会社日立ハイテクファインシステムズ
    • 望月 秀樹松下 典充村上 真一郎
    • G01Q80/00G01Q60/50G01Q60/18G11B5/31G11B5/455
    • 【課題】熱アシスト磁気ヘッドの検査において、ロックインアンプを用いて近接場光の発光状態を安定して検査することを可能にする。 【解決手段】熱アシスト磁気ヘッドの検査において、近接場光の発光領域及びその分布を求めることを、近接場光により探針から発生した散乱光を検出して得た信号から包絡線検波回路でパルス駆動電流又はパルス駆動電圧に起因する高周波信号成分を除去し、この高周波成分を除去した信号からハイパスフィルタで直流成分を除去した信号を作成し、この直流成分を除去した信号とカンチレバー加振信号に同期した信号とをロックインアンプに入力して近接場光の発光領域に対応した信号を抽出するようにした。 【選択図】 図1A
    • 要解决的问题:当检查热辅助磁头时,使用锁定放大器稳定地检查近场光的发光状态。解决方案:热辅助磁头的检查获得近场光的发光面积 场光和发光区域的分布:通过从由近场光检测由探测器产生的散射光获得的信号中消除由于脉冲驱动电流或脉冲驱动电压引起的高频信号分量, 使用包络检测电路; 从去除了高频分量的信号中产生使用高通滤波器从其中去除DC分量的信号; 将去除了直流分量的信号和与悬臂激励信号同步的信号输入到锁定放大器,以提取对应于近场光的发光区域的信号。
    • 8. 发明专利
    • 磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法
    • 磁头检测装置及磁头检测方法
    • JP2015069677A
    • 2015-04-13
    • JP2013203517
    • 2013-09-30
    • 株式会社日立ハイテクファインシステムズ
    • 飛田 明松下 典充
    • G11B5/455
    • 【課題】磁気力顕微鏡のカンチレバーの実振幅変位量を最適化して、微弱な磁界強度の測定に対応できるようにする。 【解決手段】磁気ヘッド検査装置を、磁気ヘッドを載置するXYステージと、表面に磁性膜が形成された探針を先端部に形成したカンチレバーと、このカンチレバーを所定の周波数で振動させる加振部と、カンチレバーを磁気ヘッドの表面から所定高さに保持するZステージと、加振部により所定の周波数で加振されたカンチレバーの変位量を検出する変位検出部と、カンチレバーを振動させながら磁気ヘッドの表面を走査しているときに変位検出部から出力された変位信号に基づいてカンチレバーの振動の振幅を制御する制御部と、変位検出部からの出力信号を受けて磁気ヘッドの良否を判定するヘッド検査部とを備えて構成した。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:优化磁力显微镜的悬臂的实际振幅位移,以便能够处理弱磁场强度的测量。解决方案:磁头检查装置包括:XY台安装在磁头上 ; 具有形成在其前端的探针的悬臂,在所述探针的表面上形成的磁性膜; 振荡单元以预定频率振荡悬臂; 将所述悬臂保持在距所述磁头的表面预定高度的Z台; 位移检测单元,通过所述振荡单元检测以所述预定频率振荡的所述悬臂的位移; 基于从所述位移检测单元输出的位移信号,在使所述悬臂摆动的同时扫描所述磁头的表面时,控制所述悬臂的振动的振幅的控制单元; 以及头部检查单元,其响应于来自位移检测单元的输出信号来确定磁头是否良好或故障。
    • 9. 发明专利
    • 磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置及びその検査方法
    • 磁头或磁盘检查装置和磁头或磁盘检查方法
    • JP2015060615A
    • 2015-03-30
    • JP2013195686
    • 2013-09-20
    • 株式会社日立ハイテクファインシステムズHitachi High-Tech Fine Systems Corp
    • HIGA KUNIHITOSUZUKI TOSHIAKIKISHIE KAZUHIKO
    • G11B5/455G11B5/00G11B5/02G11B5/84G11B21/10
    • 【課題】サーボバースト信号を検出した磁気ヘッドからの信号の振幅を安定させ、磁気ディスク上での磁気ヘッドの位置決め誤差を低減させる。【解決手段】磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置を、スピンドルモータと、磁気ディスク上の所望の位置に磁気ヘッドを設定する磁気ヘッド位置決め機構と、磁気ディスクにサーボパターン及びデータを書き込むことと、書き込んだサーボパターンを読み取った信号に基づいて磁気ディスクに書き込んだデータを読み取った信号を処理して検査を行う制御回路部とを備えて構成し、制御回路部は、磁気ディスク上で所望の位置に設定された磁気ヘッドにより磁気ディスクにサーボパターンを書き込む前に磁気ヘッドにダミー信号を印加して磁気ヘッドを発熱させ、この発熱させた磁気ヘッドで磁気ディスクにサーボパターンを書き込むようにした。【選択図】図1
    • 要解决的问题:稳定来自检测伺服脉冲串信号的磁头的信号的幅度,并减少磁头在磁盘上的故障定位。解决方案:磁头或磁盘检查装置包括:主轴电机; 磁头定位机构,其将磁头设置在磁盘上的期望位置; 以及控制电路单元,通过将伺服模式和数据写入磁盘来进行检查,并且根据读取写入的伺服模式的信号处理读取写入到磁盘的数据的信号。 控制电路单元向磁头施加虚拟信号,以通过设置在磁盘上的期望位置的磁头将伺服模式写入磁盘之前加热磁头,并通过该磁头将伺服模式写入磁头 加热磁头。