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1. 发明专利

JP2015079550A 熱アシスト磁気ヘッド検査方法及び熱アシスト磁気ヘッド検査装置审中-公开
标题翻译：热辅助磁头检测方法和热辅助磁头检测装置
公开(公告)号：JP2015079550A
公开(公告)日：2015-04-23
申请号：JP2013214611
申请日：2013-10-15
申请人：株式会社日立ハイテクファインシステムズ
发明人：望月秀樹 , 松下典充 , 村上真一郎
IPC分类号： G01Q80/00 , G01Q60/50 , G01Q60/18 , G11B5/31 , G11B5/455
摘要：【課題】熱アシスト磁気ヘッドの検査において、ロックインアンプを用いて近接場光の発光状態を安定して検査することを可能にする。【解決手段】熱アシスト磁気ヘッドの検査において、近接場光の発光領域及びその分布を求めることを、近接場光により探針から発生した散乱光を検出して得た信号から包絡線検波回路でパルス駆動電流又はパルス駆動電圧に起因する高周波信号成分を除去し、この高周波成分を除去した信号からハイパスフィルタで直流成分を除去した信号を作成し、この直流成分を除去した信号とカンチレバー加振信号に同期した信号とをロックインアンプに入力して近接場光の発光領域に対応した信号を抽出するようにした。【選択図】図1A
摘要翻译：要解决的问题：当检查热辅助磁头时，使用锁定放大器稳定地检查近场光的发光状态。解决方案：热辅助磁头的检查获得近场光的发光面积场光和发光区域的分布：通过从由近场光检测由探测器产生的散射光获得的信号中消除由于脉冲驱动电流或脉冲驱动电压引起的高频信号分量，使用包络检测电路; 从去除了高频分量的信号中产生使用高通滤波器从其中去除DC分量的信号; 将去除了直流分量的信号和与悬臂激励信号同步的信号输入到锁定放大器，以提取对应于近场光的发光区域的信号。

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