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1. 发明专利

JP2021156371A バタフライバルブ审中-公开
公开(公告)号：JP2021156371A
公开(公告)日：2021-10-07
申请号：JP2020057755
申请日：2020-03-27
申请人： CKD株式会社
发明人：鈴木優子 , 西川桂一
IPC分类号： F16K51/02 , F16K51/00
摘要：【課題】コストの増大を抑えつつ、モータに生じる異常な振動を確実に検知することが可能なバタフライバルブを提供する。【解決手段】圧力センサ35を備える真空チャンバ32と、真空ポンプ33との間の配管34上に配設され、真空チャンバ32の圧力制御を行うバタフライバルブ1であって、サーボモータ11と、サーボモータ11に接続されるロッドを中心に、開方向または閉方向に回転されるバタフライ弁体と、圧力センサ35が検出する真空チャンバ32の圧力値に基づき、バタフライ弁体の開度を調整する制御部13と、を備えるバタフライバルブ1において、制御部13は、少なくとも真空チャンバ32の圧力値が安定している場合に、監視時間内におけるバタフライ弁体の開度の変動量に基づき、サーボモータ11に異常な振動が発生しているか否かを判断する異常振動検知プログラム132aを備える。【選択図】図1

2. 发明专利

JP2021145101A 推定器および真空バルブ审中-公开
公开(公告)号：JP2021145101A
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：JP2020044344
申请日：2020-03-13
申请人：株式会社島津製作所
发明人：小崎純一郎
IPC分类号： F16K51/02 , H01L21/3065
摘要：【課題】校正用ガスのガス種に関係なくチャンバ容積の求めることができる推定器の提供。【解決手段】推定器1は、バルブ3の弁体開度θとその弁体開度θにおけるチャンバ圧力Pmとから成るデータ対(θ,Pm)を複数取得し、ガス種特性値a0およびチャンバ容積推定値V0を演算する演算部11と、を備える。演算部11は、実効排気速度、導入されるガスの流量Qin、チャンバ容積およびチャンバ圧力の間の関係を表す排気の式と、取得した複数のデータ対(θ,Pm)と、所定既知ガスに関する弁体開度θjと実効排気速度Seとの相関データ(Se(θj))とに基づいて、ガス種特性値a0およびチャンバ容積推定値V0を演算する。【選択図】図1

3. 发明专利

JP2021093055A 真空圧力制御システム审中-公开
公开(公告)号：JP2021093055A
公开(公告)日：2021-06-17
申请号：JP2019224247
申请日：2019-12-12
申请人： CKD株式会社
发明人：早瀬雄太郎
IPC分类号： F16K51/02 , G05D16/20
摘要：【課題】真空チャンバの圧力値を目標値とするために必要な真空制御弁の最適弁開度を、容易に算出可能な真空圧力制御システムを提供する。【解決手段】制御装置70は、圧力値制御を行う前に、真空チャンバ内の圧力値と、プロセスガスの流量との関係を1次関数に近似し、1次関数を、制御装置70に記憶させるマッピングプログラム702aを備え、1次関数に基づいて、プロセスガスの所定の流量を供給したときに、真空チャンバ内の圧力値を目標値とするのに必要な、真空制御弁30の最適弁開度VOを算出する弁開度算出プログラム702bを備え、最適弁開度VOに基づき真空制御弁30の弁開度を調整することで、真空チャンバ内の圧力値が目標値Ptとなるよう制御する。【選択図】図3

4. 发明专利

JP6877454B2 2部分から成る弁ディスクを備えた、流路を閉鎖するための真空弁有权
公开(公告)号：JP6877454B2
公开(公告)日：2021-05-26
申请号：JP2018544485
申请日：2017-02-23
申请人：バットホールディングアーゲー
发明人：クリストフベーム , ミシェルトロンカ , ヴォルフガングヴァイス
IPC分类号： F16K51/02 , F16K3/18

5. 发明专利

JP2021513034A ピストン−シリンダユニット审中-公开
公开(公告)号：JP2021513034A
公开(公告)日：2021-05-20
申请号：JP2020536611
申请日：2019-01-10
申请人：バットホールディングアーゲー
发明人：マルティンキーンライヒ
IPC分类号： F16K51/02 , F16K31/122
摘要：ピストン−シリンダユニットは、シリンダ内部空間(2)を有するシリンダハウジング(1)と、シリンダ内部空間(2)に配置されているピストン(3)と、を備えている。ピストン(3)からピストンロッド(4)が延在し、シリンダハウジング(1)の開口部を通過している。ピストンロッド(4)が、シリンダハウジング(1)に配置されたピストンロッド封止部材(12)によってシリンダハウジング(1)に対して封止されている。ピストンロッド(4)には、当該ピストンロッド(4)と一緒に移動する合成樹脂製のスライドスリーブ(11)が設けられている。スライドスリーブ(11)に対してピストンロッド封止部材(12)が当接する。【選択図】図5

6. 发明专利

KR102237186B1 KR102237186B1 - Vacuum gate valve 有权
公开(公告)号：KR102237186B1
公开(公告)日：2021-04-07
申请号：KR1020190116269A
申请日：2019-09-20
申请人： (주)엔투텍
发明人： 송성태 , 하정우
IPC分类号： F16K31/44 , F16K3/02 , F16K3/316 , F16K27/04 , F16K31/04 , F16K51/02
CPC分类号： F16K31/44 , F16K27/04 , F16K3/0254 , F16K3/3165 , F16K31/04 , F16K51/02
摘要： 본 발명은 밸브몸체부와 하우징부와 개폐부와 구동부를 구비한 진공 게이트 밸브에 관한 것으로서, 구동부는, 일방에 설치된 액추에이터와, 전후진 구동력을 전달하는 링크커넥터와, 제1 힌지축을 개재해서 회전지지되도록 설치되는 제1 링크편와, 개폐부에 힌지결합되는 제2 링크편과, 개폐부의 후진시 접촉하여 완충하고 전진시 접촉하여 가압하는 접촉편을 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명은 구동부로서 액추에이터와 링크기구와 접촉편을 구비함으로써, 개폐구동부의 개폐구동시 링크기구에 접촉편을 설치하여 개폐부를 1개 이상의 면접촉 지점에서 가압 및 완충 지지하면서 구동력을 전달하여 동력전달 성능을 향상시키는 동시에 개폐구동을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.

7. 发明专利

KR102225162B1 KR102225162B1 - Air-valve unit for vacuum system 有权
公开(公告)号：KR102225162B1
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：KR1020200074986A
申请日：2020-06-19
申请人： (주)브이텍
发明人： 조호영
IPC分类号： F16K51/02 , F16K31/02 , F16K31/12 , F16K37/00
CPC分类号： F16K51/02 , F16K31/02 , F16K31/12 , F16K37/0025
摘要： 본 발명은 진공 시스템용 에어-밸브 유닛에 관한 것이다. 이 밸브 유닛은 외부 배기공간의 압력을 감지하여 전자밸브 온/오프 신호를 출력하는 제어부를 포함함으로써, 배출 홀에 대한 에어의 공급 및 차단을 능동적으로 제어할 수 있도록 구성된다. 또한, 상기 밸브-유닛은 바람직하게 복수의 홀과 전자밸브를 구성하고 상기 제어부에 의하여 각 홀의 출구 개폐가 제어되도록 함으로써, 예컨대 진공 생성라인의 증설 또는 생성/파기 라인의 병용 등이 가능해진다.

8. 发明专利

JP2021021444A 真空バルブの加熱機構审中-公开
公开(公告)号：JP2021021444A
公开(公告)日：2021-02-18
申请号：JP2019138641
申请日：2019-07-29
申请人：株式会社ブイテックス
发明人：永井秀明
IPC分类号： F16K51/02 , F16K49/00
摘要：【課題】チャンバ内にパーティクルが拡散しないように真空バルブの弁体を加熱することができる真空バルブの加熱機構を提供する。【解決手段】真空バルブの加熱機構は、チャンバに通じる開口部220が空けられた弁箱210に設けられた給電端子230と、前記開口部を開閉させる弁体300を加熱するヒーター400に電力を供給するために前記弁体に設けられた受電端子410と、を備え、前記給電端子は、前記受電端子の側に突出して、その周囲を伸縮可能に被覆する押え材260を有し、前記弁体が前記開口部を閉塞するよりも先に前記押え材が前記弁体に接触して前記受電端子の周囲を密閉した上で、前記弁体が前記開口部を閉塞する際に前記押え材を圧縮させることで前記受電端子に接続される。【選択図】図5

9. 发明专利

JP6828446B2 バルブ制御装置有权
公开(公告)号：JP6828446B2
公开(公告)日：2021-02-10
申请号：JP2017003447
申请日：2017-01-12
申请人：株式会社島津製作所
发明人：平田伸幸 , 小崎純一郎 , 中谷敦夫 , 中村雅哉
IPC分类号： F16K37/00 , F16K31/04 , F04B37/16 , F04B49/06 , F16K51/02 , G05D16/20

10. 发明专利

JP2020190295A 真空開閉弁审中-公开
公开(公告)号：JP2020190295A
公开(公告)日：2020-11-26
申请号：JP2019095896
申请日：2019-05-22
申请人： CKD株式会社
发明人：河野哲児郎
IPC分类号： C23C16/44 , F16K51/02
摘要：【課題】弁体が動作する際に生じる振動を抑えることが可能な真空開閉弁を提供することを目的とする。【解決手段】真空チャンバ11と、真空ポンプ15と、の間に配設され、ポペット弁体33Aの開閉動作により真空チャンバ11の排気を行う真空開閉弁30であって、ポペット弁体33Aの開度を指定する開度指示を行う真空圧力制御装置70と、開度指示により指定された開度に対応する位置に弁体を動作させるサーボ弁60と、を備える真空開閉弁30において、サーボ弁60が、ポペット弁体33Aの位置を、所定の時間内に、第1位置(開度X1)から第2位置(開度X2)まで動作させる開度制御を行うための開度指示は、第1位置と第2位置との間の第3位置(開度X3)に対応する開度を指定した後、第3位置(開度X3)に対応する開度から第2位置(開度X2)に対応する開度まで漸次変動するものであること、を特徴とする【選択図】図8

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