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1. 发明专利

JP2020106123A スプール弁审中-公开
公开(公告)号：JP2020106123A
公开(公告)日：2020-07-09
申请号：JP2018247218
申请日：2018-12-28
申请人： CKD株式会社
发明人：廣瀬泰久 , 南谷隆弘 , 西川桂一 , 田中良典 , 吉田尚史
IPC分类号： F16K3/24
摘要：【課題】軸線方向におけるスプールの移動量と流体の流量増加量との関係を柔軟に設定することができ、且つ製造難度が高くなることを抑制することのできるスプール弁を提供する。【解決手段】スプール弁は、軸線方向に延びる円筒状であり、軸線方向において互いに離れた第1ポート(26A)及び第2ポート(27A)が形成されたスリーブ(22)と、軸線方向に延びて縮径部(43A〜43C)を有する円柱状であり、スリーブの内部を軸線方向に移動して第1ポートを開閉することで、第1ポートと第2ポートとを連通及び遮断するスプール(21)と、を備える。第1ポートは、スリーブの周方向において第1幅を有する貫通孔である第1貫通部(81)と、スリーブの周方向において第1幅と異なる第2幅を有する貫通孔である第2貫通部(82〜84)とを含む。【選択図】図3

2. 发明专利

JP2020160730A 温度調整用流量制御ユニット审中-公开
公开(公告)号：JP2020160730A
公开(公告)日：2020-10-01
申请号：JP2019058709
申请日：2019-03-26
申请人： CKD株式会社
发明人：南谷隆弘 , 廣瀬泰久 , 西川桂一 , 西村康典
IPC分类号： G05D23/19 , G05D7/06
摘要：【課題】配管スペースを小さくできる小型な温度調整用流量制御ユニットを提供すること。【解決手段】温度調整用流量制御ユニット(1)は、メイン流体を入力するメイン流体入力配管(3)と、メイン流体を出力するメイン流体出力配管(4)と、メイン流体出力配管から出力されるメイン流体の流量を制御するポンプ(14)と、第1温度の低温流体を入力する低温流体入力配管(5)と、第1温度より高温の高温流体を入力する高温流体入力配管(7)と、メイン流体入力配管(3)に入力したメイン流体と、低温流体入力配管(5)に入力した低温流体と、高温流体入力配管(7)に入力した高温流体とを混合することにより、メイン流体の温度を所定温度に制御し、メイン流体出力配管(4)に出力する流体制御部(24)とが集積配置され、ハウジング(2)で覆われている。【選択図】図6

3. 发明专利

JP2020160731A 温度調整用流量制御ユニット审中-公开
公开(公告)号：JP2020160731A
公开(公告)日：2020-10-01
申请号：JP2019058711
申请日：2019-03-26
申请人： CKD株式会社
发明人：吉田尚史 , 西村康典 , 南谷隆弘 , 廣瀬泰久 , 西川桂一
IPC分类号： G05D23/19
摘要：【課題】ハウジングに設けられた電子機器の故障又は動作不良を防止できる温度調整用流量制御ユニットを提供すること。【解決手段】メイン配管(3,4)と、ポンプ(14)と、低温配管(5,6)と、高温配管(7,8)と、流体制御部(24)と、電子機器(51,52,53,28,29)とを集積配置し、これらがハウジング(2)により覆われた温度調整用流量制御ユニット(1)であって、低温配管(5,6)に断熱材を装着せず、ハウジング(2)の内部空気に晒されている低温配管(5,6)の近くに、ポンプ(14)を配置する。【選択図】図6

4. 发明专利

JP5912439B2 温度制御システム、半導体製造装置及び温度制御方法有权
标题翻译：温度控制系统，该半导体制造装置和温度控制方法
公开(公告)号：JP5912439B2
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：JP2011249360
申请日：2011-11-15
申请人：東京エレクトロン株式会社 , CKD株式会社
发明人：小林敦 , 田淵敦彦 , 若井秀樹 , 伊藤一寿 , 廣瀬泰久 , 西川桂一 , 南谷隆弘
IPC分类号： G05D23/00 , G05D23/19
CPC分类号： H01L21/67103 , G05D23/1934 , H01L21/67109 , H01L21/67248

5. 发明专利

JP2021156371A バタフライバルブ审中-公开
公开(公告)号：JP2021156371A
公开(公告)日：2021-10-07
申请号：JP2020057755
申请日：2020-03-27
申请人： CKD株式会社
发明人：鈴木優子 , 西川桂一
IPC分类号： F16K51/02 , F16K51/00
摘要：【課題】コストの増大を抑えつつ、モータに生じる異常な振動を確実に検知することが可能なバタフライバルブを提供する。【解決手段】圧力センサ35を備える真空チャンバ32と、真空ポンプ33との間の配管34上に配設され、真空チャンバ32の圧力制御を行うバタフライバルブ1であって、サーボモータ11と、サーボモータ11に接続されるロッドを中心に、開方向または閉方向に回転されるバタフライ弁体と、圧力センサ35が検出する真空チャンバ32の圧力値に基づき、バタフライ弁体の開度を調整する制御部13と、を備えるバタフライバルブ1において、制御部13は、少なくとも真空チャンバ32の圧力値が安定している場合に、監視時間内におけるバタフライ弁体の開度の変動量に基づき、サーボモータ11に異常な振動が発生しているか否かを判断する異常振動検知プログラム132aを備える。【選択図】図1

6. 发明专利

JP2019049362A 流路切替弁、及びその製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019049362A
公开(公告)日：2019-03-28
申请号：JP2018242946
申请日：2018-12-26
申请人： CKD株式会社
发明人：伊藤彰浩 , 纐纈雅之 , 西川桂一 , 廣瀬泰久 , 南谷隆弘
IPC分类号： F16K11/065
摘要：【課題】流体の流路を切り替える応答性を向上させることのできる流路切替弁を提供することにある。【解決手段】流体の流路を切り替える流路切替弁であって、所定面31aにおいて所定方向に所定長で開口する開口流路32が形成された弁体31と、所定面に対向する対向面41aに開口する複数のポートが、所定方向に所定長よりも短い間隔で並んで形成され、且つ複数のポートにそれぞれ接続された接続流路42,43,44が形成された本体41と、所定方向において弁体の両端部36にそれぞれ取り付けられ、所定面と対向面との間に所定隙間が形成されるように弁体を支持し、所定方向への弁体の移動量に応じて弁体に弾性力を加える板ばね51と、弁体を所定方向に往復駆動するアクチュエータと、を備える。【選択図】図3

7. 发明专利

JP6461869B2 流路切替弁、及びその製造方法有权
公开(公告)号：JP6461869B2
公开(公告)日：2019-01-30
申请号：JP2016145726
申请日：2016-07-25
申请人： CKD株式会社
发明人：伊藤彰浩 , 纐纈雅之 , 西川桂一 , 廣瀬泰久 , 南谷隆弘
IPC分类号： F16K31/06 , F16K27/04 , F16K3/316

8. 发明专利

JP2017187162A 流路切替弁、及びその製造方法有权
公开(公告)号：JP2017187162A
公开(公告)日：2017-10-12
申请号：JP2016145726
申请日：2016-07-25
申请人： CKD株式会社
发明人：伊藤彰浩 , 纐纈雅之 , 西川桂一 , 廣瀬泰久 , 南谷隆弘
IPC分类号： F16K31/06 , F16K27/04 , F16K3/316
摘要：【課題】流体の流路を切り替える応答性を向上させることのできる流路切替弁を提供することにある。【解決手段】流体の流路を切り替える流路切替弁であって、所定面31aにおいて所定方向に所定長で開口する開口流路32が形成された弁体31と、所定面に対向する対向面41aに開口する複数のポートが、所定方向に所定長よりも短い間隔で並んで形成され、且つ複数のポートにそれぞれ接続された接続流路42,43,44が形成された本体41と、所定方向において弁体の両端部36にそれぞれ取り付けられ、所定面と対向面との間に所定隙間が形成されるように弁体を支持し、所定方向への弁体の移動量に応じて弁体に弾性力を加える板ばね51と、弁体を所定方向に往復駆動するアクチュエータと、を備える。【選択図】図3

9. 发明专利

JP6161619B2 静電容量式変位センサ有权
公开(公告)号：JP6161619B2
公开(公告)日：2017-07-12
申请号：JP2014539703
申请日：2013-09-27
申请人： CKD株式会社
发明人：西川桂一 , 南谷隆弘 , 廣瀬泰久 , 伊藤一寿
IPC分类号： G01D5/241
CPC分类号： G01B7/00 , G01B7/003 , G01D5/2412

10. 发明专利

JP5893419B2 スプール弁有权
标题翻译：滑阀
公开(公告)号：JP5893419B2
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：JP2012016942
申请日：2012-01-30
申请人： CKD株式会社
发明人：伊藤一寿 , 廣瀬泰久 , 南谷隆弘 , 西川桂一
IPC分类号： F16K3/24

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