专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

2. 发明专利

JP6186541B1 タンデム加速器及びイオン注入システム有权
公开(公告)号：JP6186541B1
公开(公告)日：2017-08-23
申请号：JP2017510522
申请日：2015-08-19
申请人：ヴァリアンセミコンダクターイクイップメントアソシエイツインコーポレイテッド
发明人：シュヨンウーチャン , クリストファールポリ , ウィリアムデイビスリー , フランクシンクレア , ジェイムズピクスリー
IPC分类号： G21K1/14 , H01J37/317 , H05H5/06
CPC分类号： H01J37/3007 , H01J37/05 , H01J37/08 , H01J37/3171 , H05H5/063 , H01J2237/0473 , H01J2237/0815
摘要：向上した性能を有するタンデム加速器及びイオン注入機を開示する。タンデム加速器は、複数の入力電極と、複数の出力電極と、それらの間に配置された高電圧端子とを含む。高電圧端子は除去管を含む。中性分子が除去管に注入され、中性分子は流入する負のイオンビームから電子を取り除く。その結果として生じた正のイオンは、複数の出力電極の方へ加速される。除去管を出る望ましくない正のイオンの量を低減するために、バイアス電極は、除去管の入り口と出口に配置される。バイアス電極は、端子に印加される第1の電圧より大きい第2の電圧でバイアスを受ける。バイアス電極は、ゆっくり動く正のイオンをはね返し、それらが除去管を出てワークピース及び出力電極の品質劣化をすることを防止する。

3. 发明专利

JP2015053187A 荷電粒子加速器及び該荷電粒子加速器を備える中性子発生装置有权
标题翻译：充电颗粒加速器和装有充电颗粒加速器的中性发生装置
公开(公告)号：JP2015053187A
公开(公告)日：2015-03-19
申请号：JP2013185523
申请日：2013-09-06
申请人：株式会社京都ニュートロニクス , Kyoto Neutronics Co Ltd
发明人： KAMEI TAKASHI , HIRAI ATSUHIKO , KOKUBO YUJI
IPC分类号： H05H5/06 , G21K5/04 , G21K5/08 , H05H3/06 , H05H6/00
摘要：【課題】正のイオン源が適用でき、かつ荷電変換器を使うことなくイオンビームのタンデム静電加速が可能な荷電粒子加速器を提供する。【解決手段】正のイオンビームを射出する接地電位を持つイオン源10と、イオンビームの進行軌道上に配置された一対の加速管11,12と、一対の加速管11,12間に接続された高電圧管21と、高電圧管21に正側スイッチ52を介して正電位を印加するための正側直流電源50と、高電圧管21に負側スイッチ53を介して負電位を印加するための負側直流電源51と、イオンビームを負電位の高電圧管21で加速した後に高電圧管21の電位を負から正に変換させて再加速するように、正側スイッチ52及び負側スイッチ53をパルス状にオンオフ制御するパルス発生回路54と、を備える。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够使用正离子源的带电粒子加速器，并且能够在不使用电荷转换器的情况下实现离子束的串联静电加速。解决方案：带电粒子加速器包括：离子源10，其发射正离子束并具有地电位; 布置在离子束的移动轨迹上的一对加速管11和12; 连接在一对加速管11和12之间的高压管21; 通过正侧开关52向高压管21施加正电位的正侧直流电源50; 通过负侧开关53向高压管21施加负电位的负侧直流电源51; 脉冲发生电路54以脉冲的方式控制正侧开关52和负侧开关53的通/断，使得在由高压管21加速负极后，离子通过将高压管21的电位从负变换为正，将光束重新加速。

4. 发明专利

JP2013520774A Dc high voltage source and the particle accelerator 有权
公开(公告)号：JP2013520774A
公开(公告)日：2013-06-06
申请号：JP2012554267
申请日：2011-02-02
申请人：シーメンスアクティエンゲゼルシャフト
发明人：オリヴァー・ハイト , ティモシー・ヒューズ
IPC分类号： H05H5/02 , H05H5/06
CPC分类号： H05H5/04 , H05H5/06
摘要：本発明は、キャパシタスタックと、スイッチングデバイスとを備えたＤＣ高電圧源に関し、キャパシタスタックは、第一の電位に設定可能な第一の電極（３７）と、第一の電極（３７）に対して同心状に配置され第二の電位に設定可能な第二の電極（３９）と、互いに同心状に配置され第一の電極（３７）と第二の電極（３９）との間に同心状に配置され第一の電位と第二の電位との間で連続的に増大していく電位レベルに設定可能な複数の中間電極（３３）とを有し、キャパシタスタックの電極（３３、３７、３９）がスイッチングデバイス（３５）に接続され、スイッチングデバイス（３５）の動作時に、互いに同心状に配置されたキャパシタスタックの電極（３３、３７、３９）が、増大していく電位レベルに設定可能となるようにスイッチングデバイスが構成されていて、キャパシタスタックの電極（３３、３７、３９）の間隔が中心電極（３７）に向けて減少する。

5. 发明专利

JP2006120420A Tandem type ion accelerator and ion beam adjustment method 审中-公开
标题翻译： TANDEM型离子加速器和离子束调整方法
公开(公告)号：JP2006120420A
公开(公告)日：2006-05-11
申请号：JP2004305928
申请日：2004-10-20
申请人： Ulvac Japan Ltd , 株式会社アルバック
发明人： AGAWA YOSHIAKI , SATAKOKU SHINJI , TORISU SHIGEMITSU , SEKI SEIJI
IPC分类号： H05H5/06 , G21K5/04 , H01J37/04
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a tandem type ion accelerator capable of easily and properly performing beam line adjustment for guiding ions to a charge conversion part, and to provide an ion beam adjustment method. SOLUTION: This tandem type ion accelerator 10 is provided with a pair of acceleration tubes 19A, 19B, a high voltage terminal 20 wherein the pair of acceleration tubes are connected with pre-stage and post-stage sides, a stripper canal (charge conversion part) 201 arranged in the high voltage terminal 20, reversing the polarity of ions accelerated by the acceleration tube 19A on the pre-stage side and guiding the ions to the acceleration tube 19B on the post-stage side. A light emitting material 31 emitting light in response to irradiation of the ions accelerated off the ion beam line passing the stripper canal 201 is provided on an ion beam guiding end side of the stripper canal 201. The beam line is adjusted to a position where the light emitting material does not emit light. Emission of the light emitting material 31 is monitored through a monitoring window 35 arranged coaxially with the beam line. COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
摘要翻译：要解决的问题：提供能够容易且适当地执行用于将离子引导到电荷转换部分的光束线调整的串联型离子加速器，并提供离子束调节方法。解决方案：该串联式离子加速器10设置有一对加速管19A，19B，高压端子20，其中一对加速管与前级和后级侧连接，剥离管（电荷转换部分201），反转在前级侧加速管19A加速的离子的极性，并将离子引导到后级侧的加速管19B。在剥离管201的离子束引导端侧设置有响应于离开通过剥离管201的离子束线加速的离子的照射而发光的发光材料31.将束线调整到发光材料不发光。发光材料31的发射通过与光束线同轴布置的监视窗35来监测。版权所有（C）2006，JPO＆NCIPI

6. 发明专利

JP2004523742A Charge exchange device for a charged particle accelerator 审中-公开
公开(公告)号：JP2004523742A
公开(公告)日：2004-08-05
申请号：JP2002555423
申请日：2001-12-20
申请人：バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド
发明人：バーレット，ポール , ファーフィー，ポール , ラフォンテーヌ，マーヴィン・アール
IPC分类号： G21K1/00 , G21K1/14 , H05H5/02 , H05H5/06
CPC分类号： G21K1/14
摘要：【課題】イオンビーム加速器に典型的に使用される電荷交換装置が，電荷交換チェンバーを画成し，イオンビームが当該電荷交換管に出入りできるようにするビーム口を画成する電荷交換管と，電荷交換管の外に取り付けられる収納管（電荷交換材のための入口をもつ），ならびに電荷交換管と収納管との間に取り付けられる，少なくともひとつの中間管を含む。電荷交換管および少なくともひとつの中間管は，電荷交換チェンバーに入り，そこを通る，電荷交換材のカラム状流を可能にするために，電荷交換チェンバーの向かい合う側で整列した，流れ口の少なくともひとつのｓセットを有する。電荷交換材の，ビーム口からの漏れは，従来技術の電荷交換装置と比較して減少する。

7. 发明专利

JP3374335B2 Ion accelerator 失效
公开(公告)号：JP3374335B2
公开(公告)日：2003-02-04
申请号：JP1808793
申请日：1993-01-08
申请人：バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド
发明人：伸宏所
IPC分类号： C23C14/48 , G21K1/14 , H01J37/08 , H01J37/317 , H01L21/265 , H05H3/04 , H05H5/06
CPC分类号： H05H5/06 , G21K1/14 , H05H3/04

8. 发明专利

JP3023936B2 失效
公开(公告)号：JP3023936B2
公开(公告)日：2000-03-21
申请号：JP23248591
申请日：1991-08-21
IPC分类号： H05H5/06

9. 发明专利

JPH09245998A TANDEM ACCELERATOR 失效
公开(公告)号：JPH09245998A
公开(公告)日：1997-09-19
申请号：JP7310996
申请日：1996-03-05
申请人： NISSIN HIGH VOLTAGE CO LTD
发明人： OMURA MITSUYOSHI , KIMURA TOSHIO
IPC分类号： H05H5/06
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To improve charge converting efficiency and beam carrying efficiency when beam energy is reduced. SOLUTION: An acceleration voltage source 5 is connected to a high voltage terminal 6, and an acceleration voltage Va is partially applied by a partial voltage resistance 7b to each acceleration electrode 7a on a low energy side acceleration tube 7 similarly to a high energy side acceleration tube 9. On the beam incidental side of the low energy side acceleration tube 7, to an acceleration electrode 7a' at a several stage from the grounding potential side, or at the third stage, for example, connecting adjustable high voltage source and a voltage of a similar degree to that when a rated acceleration voltage is applied to the acceleration tube is applied. Even when the acceleration voltage is reduced, a strong lens action is generated at an entrance part close to the grounding potensial side of the low energy side acceleration tube 7 to throttle a beam, thereby the beam introduced to a stripper canal can be increased.

10. 发明专利

JPH0927400A TANDEM ACCELERATOR 失效
公开(公告)号：JPH0927400A
公开(公告)日：1997-01-28
申请号：JP19924995
申请日：1995-07-13
申请人： NISSIN HIGH VOLTAGE CO LTD
发明人： IWAMOTO EIJI
IPC分类号： G21K1/14 , H05H5/06
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the recovering and circulating efficiency of stripper gas. SOLUTION: The inner part of the duct 2 of a high voltage terminal part for housing a stripper canal 1 is doubly divided into a stripper canal arrangement space 2a, a stripper canal inlet side space 2b, and the same outlet side space 2c by first inlet canal member 6 and outlet canal member 7, and second inlet canal member 11 and outlet canal member 12. The intake ports of turbo molecular pumps 8, 8' are connected to the canal arrangement space, and the exhaust ports to the inlet of a gas feed line 5 by an exhaust line 9. The intake ports of turbo molecular pumps 13, 13' are connected to the canal inlet side space and the same outlet side space, and the exhaust ports to the canal arrangement space. The turbo molecular pumps 8, 8' and 13, 13' are mutually connected in two-stage series relation, and the gas compression ratio as the whole pump is incommensurately increased to suppress the leak of stripper gas from stripper part to accelerating tube side.

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式