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    • 6. 发明专利
    • 基板処理方法及びパッケージの気密封止方法
    • 一种衬底处理方法和封装的气密密封方法
    • JP2017022056A
    • 2017-01-26
    • JP2015140752
    • 2015-07-14
    • 日本放送協会
    • 難波 正和本田 悠葵
    • H01L23/14H01L23/02H01L31/02H01J31/38C23C14/04H01J9/26
    • 【課題】真空処理装置の内部で、マスクの着脱を容易に行うことができ、基板表面に均一に処理が可能な基板処理方法と、この方法を用いたパッケージの気密封止方法を提供する。 【解決手段】基板の表面に磁性体からなるマスクを配置し、前記基板の裏面側に磁石を設けて前記マスクを基板表面に保持し、前記マスクを保持したまま真空中で基板の表面に対して、金属蒸着、スパッタリング等の処理を行う。また、この方法を利用し、光電変換膜ガラス基板と電子源アレイを備えたガラスパッケージ基板を、互いに接する面に形成した金属薄膜を用いて高真空内で接合し、真空気密封止を行う。 【選択図】図1
    • 真空处理装置的A内,掩模的附接和拆卸可以容易地进行,以提供一种衬底处理方法在基板的能够均匀地处理过的表面,密封的如何使用该方法包。 由所述衬底的所述表面上的磁性材料制成的掩模,该掩模召开在基板表面上的地方设置在基板的背面侧的磁体,同时保持掩模基板在真空中的表面 碲,执行金属沉积,一个工艺例如溅射。 此外,使用该方法,具有光电转换层的玻璃基片和电子源阵列,并且通过使用形成在彼此接触的表面上的金属薄膜在高真空中加入了玻璃封装基板,进行真正的气密密封。 点域1
    • 8. 发明专利
    • Imaging apparatus
    • 成像设备
    • JP2014123462A
    • 2014-07-03
    • JP2012278437
    • 2012-12-20
    • Pioneer Electronic Corpパイオニア株式会社
    • SATO TAKANOBU
    • H01J31/38
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a small size imaging apparatus that is able to obtain a magnetic field whose intensity is uniform in an electron beam discharge space.SOLUTION: An imaging apparatus comprises: an imager 11 having a photoelectric conversion film 43 and an electron emission source array 33, which are arranged opposite each other in the directions of front and back with an electron beam discharge space A between them; a disk-like first permanent magnet 51 disposed on the back of the imager 11 and forming a magnetic pole in the directions of front and back; and a cylindrical second permanent magnet 52 surrounding the imager 11 and radially forming a magnetic pole. The inside magnetic pole of the second permanent magnet 52 and the surface-side magnetic pole of the first permanent magnet 51 are made identical in pole, thereby forming a uniform magnetic field by magnetic forces oriented in the directions of front and back in the discharge space A.
    • 要解决的问题:提供能够获得在电子束放电空间中强度均匀的磁场的小尺寸成像装置。解决方案:一种成像装置包括:具有光电转换膜43和电子的成像器11 发射源阵列33,它们之间的电子束放电空间A在前后方向上彼此相对布置; 设置在成像器11背面的盘状的第一永久磁铁51,在前后方向形成磁极; 以及围绕成像器11并径向形成磁极的圆柱形第二永磁体52。 第二永磁体52的内侧磁极和第一永磁体51的表面侧磁极的极点相同,由此通过在放电空间内的前后方向上的磁力形成均匀的磁场 一个。