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1. 发明专利

JP4895635B2 Carrier device 有权
公开(公告)号：JP4895635B2
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：JP2006041907
申请日：2006-02-20
申请人：セイコーインスツル株式会社
发明人：誠麻生
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07
CPC分类号： H01L21/6838 , Y10S294/902 , Y10S414/141 , Y10T428/30
摘要： A transporting arm has two protruding support sections. Front ends of the support sections are formed such that a thickness of the support sections decreases toward the front ends of those. A surface of the transporting arm on which a wafer is placed is provided with a plurality of suction holes formed at equal intervals in a fan-shaped region. The wafer is fixed to the transporting arm through the suction holes. The wafer is charged with a large amount of static electricity. The transporting arm is charged with the static electricity. A surface of the transporting arm is coated with a conductive fluorinated graphite material. Therefore, an electrical discharge rate of the transporting arm into an atmosphere increases. Accordingly, elevation of a surface potential of the transporting arm in a floating state can be appropriately suppressed. Reduction of repulsive force due to the static electricity acting between the transporting arm and the wafer leads to reduction of vibration of the wafer.

2. 发明专利

JP2008207962A Gripper 有权
标题翻译： GRIPPER
公开(公告)号：JP2008207962A
公开(公告)日：2008-09-11
申请号：JP2007297118
申请日：2007-11-15
申请人： Shibuya Kogyo Co Ltd , 澁谷工業株式会社
发明人： NISHINO YUKINOBU , NISHI TOKUO , YAMAMOTO YUKIHIRO
IPC分类号： B65G47/86 , A61L2/08 , B65B55/04 , B65B55/08
CPC分类号： A61L2/087 , A61L2202/122 , A61L2202/23 , B25J15/08 , B65B55/08 , B65G47/842 , B65G47/90 , B65G2201/0247 , Y10S294/902
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce an area where a gripper 2 interrupts an electron beam to the extent possible when a bottle 4 is irradiated with the electron beam in such a state that the gripper 2 holds the bottle 4. SOLUTION: The gripper 4 includes: a pair of supporting portions 22A, 22B disposed on both the sides of the resin bottle 4; and abutting portions 24A, 24B which are provided on the supporting portions 22A, 22B and respectively composed of two slim plate bodies 26A, 28A, 26B, 28B separated above and below. The abutting portions 24A, 24B on both the sides sandwich the neck part 4a of the bottle 4 from both the sides so as to hold the bottle 4. The supporting portions 22A, 22B do not contact the outer surface of the bottle 4 in such a state as to hold the bottle 4, so that the electron beam diffracts around the neck part 4a, thereby enabling to sterilize the whole surface. COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：为了减少在夹持器2保持瓶子4的状态下当瓶子4被电子束照射时可能的情况下夹持器2中断电子束的区域。解决方案：夹具4包括：设置在树脂瓶4的两侧的一对支撑部22A，22B; 以及设置在支撑部22A，22B上并且分别由上下分离的两个细长板体26A，28A，26B，28B构成的抵接部24A，24B。两侧的抵接部24A，24B从两侧夹着瓶4的颈部4a，以便保持瓶4.支撑部22A，22B不与瓶4的外表面接触保持瓶子4的状态，使得电子束在颈部4a周围衍射，从而能够对整个表面进行灭菌。版权所有（C）2008，JPO＆INPIT

3. 发明专利

JP2008532798A Hollow body conveying apparatus equipped with a device and such a device for gripping the neck of the hollow body 有权
公开(公告)号：JP2008532798A
公开(公告)日：2008-08-21
申请号：JP2008500236
申请日：2006-03-10
申请人：シデル・パーティシペーションズ
发明人：ウィリー・デュジャルダン , クリストフ・ラペール
IPC分类号： B29C49/42 , B29C31/08 , B29C49/64
CPC分类号： B29C49/4205 , B29C49/06 , B29C49/12 , B29C49/6418 , B29C2035/0822 , B29K2995/0072 , B29L2031/7136 , B29L2031/7158 , Y10S294/902
摘要：本発明は中空体の首部（１０）の外側を把持するための装置（５）に関する。本発明による装置はそれぞれの支持面（２９）を備える把持部片（１１、１２、１３、１４）を支持する環状体（１８）を備える。上述した把持部片は、支持面（２９）が環状体（１８）内に突出するような態様で、これらの把持部片が環状体（１８）の制限ストッパに載置される第１半径方向位置と、支持面（２９）が環状体（１８）に係合される中空体の首部の外側壁に対して適用される態様で、これらの把持部片が駆動して戻される第２半径方向位置と、を占有し得るように弾性手段（１５）によって半径方向に移動且つ押圧し得る。把持部片（１１、１２、１３、１４）の支持面（２９）は円筒状円弧の全体形態をして弧を描いている。

4. 发明专利

JP2005088096A Robot hand 有权
标题翻译：机器人手
公开(公告)号：JP2005088096A
公开(公告)日：2005-04-07
申请号：JP2003321850
申请日：2003-09-12
申请人： Honda Motor Co Ltd , 本田技研工業株式会社
发明人： HAYAKAWA MASATO , FUKUSHIMA TAKAFUMI , KISHIMOTO KAZUHIRO , TAKAHASHI KAZUYUKI
IPC分类号： B25J15/08 , B25J15/00
CPC分类号： B25J9/0009 , B25J13/085 , B25J15/0009 , Y10S294/902 , Y10S294/907
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a robot hand, improving the flexibility of a finger part to stably hold an object.
SOLUTION: A finger link (an end knuckle link 16a) constituting the finger part of the robot hand is composed of: a first member 16a1; a second member 16a2 closely adhering to part of the surface of the first member; and a third member 16a3 covering the first member 16a1 and the second member 16a2 to form a contact surface with the object, and the rigidity of the second member 16a2 is set lower than those of the first member 16a1 and the third member 16a3.
COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI
摘要翻译：要解决的问题：为了提供机器人手，提高手指部分的柔性以稳定地保持物体。构成机器人手的手指部的手指连杆（端部转向节连接部16a）由第一部件16a1，第二构件16a2紧密地附着在第一构件的表面的一部分上; 以及覆盖第一构件16a1和第二构件16a2以与物体形成接触面的第三构件16a3，并且将第二构件16a2的刚性设定为低于第一构件16a1和第三构件16a3的刚性。版权所有（C）2005，JPO＆NCIPI

5. 发明专利

JPS59157336A Tube grasping and holding apparatus 失效
标题翻译：管子雕刻和保持装置
公开(公告)号：JPS59157336A
公开(公告)日：1984-09-06
申请号：JP3046684
申请日：1984-02-22
申请人： Zinser Textilmaschinen Gmbh
发明人： UORUFUGANGU IIGERU
IPC分类号： D01H7/66 , D01H9/00
CPC分类号： D01H9/001 , Y10S294/902

6. 发明专利

JP2014525139A Semiconductor cleaning system and semiconductor cleaning method 有权
标题翻译：空值
公开(公告)号：JP2014525139A
公开(公告)日：2014-09-25
申请号：JP2014516456
申请日：2012-06-23
申请人：ダイナミックマイクロシステムズセミコンダクターイクイップメントゲーエムベーハー
发明人：レープシュトックルッツ
IPC分类号： H01L21/304 , B08B3/02 , B08B3/12 , B08B5/02 , B08B7/04 , F24F7/06 , F24F9/00 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/02041 , B08B3/08 , B08B3/12 , H01L21/67017 , H01L21/67028 , H01L21/67051 , H01L21/67173 , H01L21/67207 , H01L21/67359 , H01L21/67745 , H01L21/68707 , Y10S294/902
摘要：一つの実施の形態において、本発明はＥＵＶクリーニング及びＥＵＶキャリアをクリーニングするためのプロセスに関する。ＥＵＶクリーニングシステムは、別個の清浄な環境及び汚い環境と、二重容器キャリアの種々のコンポーネントのための別個のクリーニングチャンバと、同一のロボットハンドラを使用して種々のコンポーネントのピックアンドプレイスを行うためのグリッパアームと、異なる位置において異なるコンポーネントを保持するためのグリッパアームと、外側容器のための水平方向スピンクリーニング及び乾燥部と、熱水及び熱風（７０℃）クリーニングプロセス部と、乾燥のための熱風ノズルを用いた内側容器のクリーニングのための垂直方向ノズル及びラスタ化メガソニックノズルと、種々のコンポーネントの脱ガスを行う、例えば、一方は内側容器のため、他方は外側容器のための、パージガスを用いる高真空（例えば＜１０
-6 トル）の別個の真空汚染除去チャンバと、真空チャンバ内のヒータ及びＲＧＡセンサと、パージガスアセンブリステーションと、パージガス充填及び排出ステーションとを含んでいる。
摘要翻译：在一个实施例中，本发明公开了一种用于清洁EUV载体的EUV清洁器系统和方法。电子清洁系统包括单独的脏污和清洁环境，用于双层集装箱运输车不同部件的独立清洁室，用于使用相同的机器人处理器拾取和放置不同部件的夹持臂，用于在不同位置保持不同部件的夹持臂，水平旋转清洁并对外容器，热水和热风（70℃）清洗过程进行干燥，垂直喷嘴和用于清洁用于干燥的热空气喷嘴的内部容器的光栅化兆声波喷嘴，用于将不同部件排气的单独的真空去污室，例如用于内部和一个用于真空室内的吹扫气体，加热器和RGA传感器的高真空（例如，<10 -6 Torr）的外部容器，净化气体组装站和吹扫气体装卸站。

7. 发明专利

JP5266727B2 Gripper 有权
标题翻译：空值
公开(公告)号：JP5266727B2
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：JP2007297118
申请日：2007-11-15
申请人：澁谷工業株式会社
发明人：幸伸西納 , 富久雄西 , 幸宏山本
IPC分类号： B65B55/08 , A61L2/08 , B65B55/04
CPC分类号： A61L2/087 , A61L2202/122 , A61L2202/23 , B25J15/08 , B65B55/08 , B65G47/842 , B65G47/90 , B65G2201/0247 , Y10S294/902
摘要： When a bottle 4 made of resin is irradiated with an electron beam while it is being held by a gripper 2, an area of the bottle 4 which is shielded from the electron beam by the gripper 2 is minimized. The gripper has a pair of supports 22A, 22B positioned on opposite sides of the bottle made of resin, and abutments 24A, 24B disposed respectively on the supports 22A, 22B for holding the bottle 4 made of resin, each of the abutments 24A, 24B comprising two thin plates 26A, 28A, 26B, 28B which are vertically spaced from each other. The abutments 24A, 24B hold the bottle 4 by gripping a neck 4a of the bottle 4 on its opposite sides. While holding the bottle 4, the supports 22A, 22B are held out of contact with an outer surface of the bottle 4, allowing the electron beam to travel around the neck 4a to sterilize the entire surface of the bottle 4.
摘要翻译：当由树脂制成的瓶子4在被夹持器2保持时被电子束照射时，通过夹持器2屏蔽电子束的瓶子4的区域被最小化。夹具具有一对位于由树脂制成的瓶的相对侧上的支撑件22A，22B和分别设置在用于保持由树脂制成的瓶4的支撑件22A，22B上的支座24A，24B，每个支座24A，24B 包括彼此垂直间隔开的两个薄板26A，28A，26B，28B。支座24A，24B通过在相对的两侧夹住瓶子4的颈部4a来保持瓶子4。在保持瓶子4的同时，支撑件22A，22B与瓶子4的外表面保持不接触，允许电子束在颈部4a周围行进，对瓶子4的整个表面进行灭菌。

8. 发明专利

JP4912253B2 A substrate transport apparatus, the substrate processing apparatus and a substrate transfer method 有权
公开(公告)号：JP4912253B2
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：JP2007223299
申请日：2007-08-29
申请人：日本エー・エス・エム株式会社
发明人：民宏小林 , 孝幸山岸 , 朗渡部 , 邦容金内
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67745 , H01L21/67196 , H01L21/67201 , H01L21/68707 , Y10S294/902 , Y10S414/141

9. 发明专利

JP4097404B2 Edge gripping end effector wafer handling equipment 有权
公开(公告)号：JP4097404B2
公开(公告)日：2008-06-11
申请号：JP2000615323
申请日：2000-05-03
申请人：エーディーイーコーポレーション
发明人：フレデリック、アモルドグッドマン、 , アンソニフロリンディ、 , マンカメ、アニル
IPC分类号： B25J15/08 , H01L21/677 , B65G49/07 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/68707 , Y10S294/902 , Y10S414/141

10. 发明专利

JP3714873B2 Preform transporting device that includes an improved gripping means 有权
公开(公告)号：JP3714873B2
公开(公告)日：2005-11-09
申请号：JP2000599584
申请日：2000-02-14
申请人：シデル
发明人：ペルガツタ，ジヤン−ルイ
IPC分类号： B29C49/06 , B29C49/42 , B29C49/64
CPC分类号： B29C49/4205 , B29C49/06 , B29C49/6409 , B29K2067/00 , Y10S294/902

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