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1. 发明专利

JPWO2014128848A1 有機薄膜パターン形成装置および形成方法审中-公开
标题翻译：有机薄膜图案形成装置和形成方法
公开(公告)号：JPWO2014128848A1
公开(公告)日：2017-02-02
申请号：JP2015501127
申请日：2013-02-20
申请人：株式会社日立製作所
发明人：和浩上田 , 和浩上田
IPC分类号： H05B33/10 , H01L21/302 , H01L51/50 , H05H7/04 , H05H7/10
CPC分类号： H05H7/04 , H05H2007/041 , H05H2007/043 , H05H2007/046
摘要：機能性有機薄膜のパターンニング技術としては印刷法,μCP法がある。しかし,大型基板に微細パターンをパターンニングする,表面が凹凸している被転写基板上にパターンニングすることは困難である。そこで,X線等の電磁波を利用し,機能性有機分子薄膜に大型基板に微細パターンをパターンニングする技術を提供する。電子線源1と、電子線源から発生する電子線を加速するための電子加速管5と、アンジュレータ磁石列9と、前記電子加速管と前記アンジュレータ磁石列との間に、前記アンジュレータ磁石列中で発生する電磁波の発生,進行方向を制御する偏向電磁石8とを設けた装置構成とし、有機薄膜をパターニングする。
摘要翻译：印刷法作为功能有机薄膜的图案化技术，有μCP方法。然而，图案化的大型基板上形成微细图案时，难以进行表面图案化，被转移到基底上是不均匀的。因此，使用的电磁波，例如X射线，以用于在功能性有机分子薄膜构图的大型基板上的微细图案的技术。的电子束源1，用于加速从所述电子束源，波荡磁铁阵列9产生的电子束，所述波动器磁体阵列和电子加速管，所述波动器磁体阵列中之间的电子加速管5 在代设有弯曲电磁体8，以控制的行进方向，形成图案的有机薄膜所产生的电磁波，以及装置结构的。

2. 发明专利

JP6041648B2 指向性エネルギー照射装置有权
标题翻译：定向能量施放
公开(公告)号：JP6041648B2
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：JP2012264769
申请日：2012-12-03
申请人：三菱重工業株式会社
发明人：西方伸吾 , 内山裕貴 , 醍醐浩之 , 松田竜一 , 石井伸也 , 内田弘樹
IPC分类号： H01S3/30 , F41H13/00
CPC分类号： H01S3/0903 , F41H13/005 , F41H13/0068 , H05H7/02 , H05H7/04 , F41H13/0043 , F41H13/0075 , H05H2007/022 , H05H2007/027 , H05H2007/041

3. 发明专利

JP2017510032A アンジュレータ有权
公开(公告)号：JP2017510032A
公开(公告)日：2017-04-06
申请号：JP2016555561
申请日：2015-03-30
申请人：エーエスエムエルネザーランズビー.ブイ. , エーエスエムエルネザーランズビー.ブイ.
发明人：ニキペロフ，アンドレイ，アレクサンドロビッヒ , アッケルマンス，ヨハネス，アントニウス，ゲラルドス , グリミンク，レオナルドゥス，アドリアヌス，ゲラルドス , ループストラ，エリック，レロフ , レンケンズ，マイケル，ヨセフ，マシス , トーマ，アドリアン , ニーンフイス，ハン−クワン
IPC分类号： H05H13/04 , G03F7/20 , H05H7/04
CPC分类号： G03F7/70025 , G03F7/70008 , H01F6/04 , H01F7/0273 , H01F7/0278 , H01S3/0903 , H05H7/04 , H05H2007/041
摘要：【課題】自由電子レーザ用のアンジュレータを提供する。【解決手段】自由電子レーザ用のアンジュレータ(24b)は、電子ビーム用のパイプ(140)と、パイプに沿って軸方向に延びる1つ以上の周期的磁気構造(142)と、を含む。それぞれの周期的磁気構造は、複数の磁石(144)と複数の受動強磁性素子(148)とを含み、複数の磁石が、軸方向に延びる一列に複数の受動強磁性素子と交互に配置される。複数の磁石のそれぞれはパイプから空間的に分離され、受動強磁性素子のそれぞれはパイプに向かって隣接磁石から半径方向に延びる。磁石とパイプとの間にスペーサエレメント(146)を設け、磁石のための放射線遮蔽及び/又はパイプの冷却を提供することができる。【選択図】図9

4. 发明专利

JP2014109412A Directional energy irradiation apparatus 有权
标题翻译：方向能量辐射装置
公开(公告)号：JP2014109412A
公开(公告)日：2014-06-12
申请号：JP2012264769
申请日：2012-12-03
申请人： Mitsubishi Heavy Ind Ltd , 三菱重工業株式会社
发明人： NISHIKATA SHINGO , UCHIYAMA YUKI , DAIGO HIROYUKI , MATSUDA RYUICHI , ISHII SHINYA , UCHIDA HIROKI
IPC分类号： F41H13/00 , H01S3/30 , H05H13/04
CPC分类号： H01S3/0903 , F41H13/0043 , F41H13/005 , F41H13/0068 , F41H13/0075 , H05H7/02 , H05H7/04 , H05H2007/022 , H05H2007/027 , H05H2007/041
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To destruct a target object even in a situation in which destruction effect cannot be expected, while maintaining destruction performance by laser beam.SOLUTION: A directional energy irradiation apparatus 100 includes an FEL device 20 and an HPM device 30. The FEL device 20 accelerates free electrons by using microwave supplied from a microwave source 10, and emits laser beam 200 generated by accelerated free electrons. An HPM device 30 emits high-power microwave 300 generated on the basis of surplus power of the microwave after the usage in the acceleration of free electrons in the FEL device 20.
摘要翻译：要解决的问题：即使在不能预期的破坏效果的情况下也能够破坏目标物体，同时保持激光束的破坏性能。解决方案：定向能量照射装置100包括FEL装置20和HPM装置30。 FEL装置20通过使用从微波源10提供的微波加速自由电子，并且发射由加速的自由电子产生的激光束200。 HPM装置30在FEL装置20中的自由电子加速中使用之后，发射基于微波剩余功率产生的高功率微波300。

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