基本信息:
- 专利标题： 有機薄膜パターン形成装置および形成方法
- 专利标题（英）：Organic thin film pattern forming apparatus and method of forming
- 专利标题（中）：有机薄膜图案形成装置和形成方法
- 申请号：JP2015501127 申请日：2013-02-20
- 公开(公告)号：JPWO2014128848A1 公开(公告)日：2017-02-02
- 发明人： 和浩 上田 , 和浩 上田
- 申请人： 株式会社日立製作所
- 申请人地址： 東京都千代田区丸の内一丁目6番6号
- 专利权人： 株式会社日立製作所
- 当前专利权人： 株式会社日立製作所
- 当前专利权人地址： 東京都千代田区丸の内一丁目6番6号
- 代理人： 井上 学; 戸田 裕二; 岩崎 重美
- 优先权： JP2013054078 2013-02-20
- 主分类号： H05B33/10
- IPC分类号： H05B33/10 ; H01L21/302 ; H01L51/50 ; H05H7/04 ; H05H7/10
Printing method as patterning technology of functional organic thin film, there is a μCP method. However, patterning the fine pattern on a large substrate, it is difficult surface is patterned on the transfer substrate which is uneven. Therefore, using electromagnetic waves such as X-rays, to provide a technique for patterning a fine pattern on a large substrate on functional organic molecular thin film.
And the electron beam source 1, and electron acceleration tube 5 for accelerating the electron beam generated from the electron beam source, the undulator magnet column 9, between the undulator magnet column and the electron accelerating tube, the undulator magnet column in in occurrence of the generated electromagnetic waves, and device configuration provided the deflection electromagnet 8 to control the direction of travel, patterning an organic thin film.
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H05 | 其他类目不包含的电技术 |
| ----H05B | 电热；其他类目不包含的电照明 |
| ------H05B33/00 | 电致发光光源 |
| --------H05B33/10 | .专门适用于制造电致发光光源的设备或方法 |