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    • 4. 发明专利
    • Surface acoustic wave device, electronic apparatus and sensor device
    • 表面声波装置,电子装置和传感器装置
    • JP2012060420A
    • 2012-03-22
    • JP2010201751
    • 2010-09-09
    • Seiko Epson Corpセイコーエプソン株式会社
    • OBATA NAOHISA
    • H03H9/145H01L41/09H01L41/18H01L41/22H01L41/311H03B5/30H03H9/25
    • H03H9/02551H01L41/04H03H9/0542H03H9/14594
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To optimize adjustment of frequency temperature characteristics with respect to an operational temperature range in an SAW device having frequency temperature characteristics that are represented by a curve and have a maximum value, a minimum value and an inflection point therebetween.SOLUTION: On a main surface of a crystal substrate 2 having Euler angles of (-1.5°≤φ≤1.5°, 117°≤θ≤142° and |ψ|≠90°×n (where n=0, 1, 2 and 3)), an SAW device 1 has: an IDT 3 for exciting Rayleigh waves (the wave length: λ) of an upper limit mode of a stop band; and inter-electrode-finger grooves 8 recessed between electrode fingers of the IDT 3. Since a line occupancy ratio η of the IDT 3 and the depth G of the inter-electrode-finger grooves 8 satisfy a predetermined relation with respect to the wave length λ, the SAW device 1 has frequency temperature characteristics represented by a cubic curve having an inflection point between a maximum value and a minimum value within an operational temperature range and further can adjust the inflection point therebetween to desired temperature or a desired temperature range by the line occupancy ratio η of the IDT 3 within the operational temperature range.
    • 要解决的问题:为了优化频率温度特性相对于具有由曲线表示的频率温度特性的SAW器件的工作温度范围的调整,并且具有最大值,最小值和它们之间的拐点 。 解决方案:在具有欧拉角度(-1.5°≤φ≤1.5°,117°≤θ≤142°和¾ψ¾≠90°×n(其中n = 0,1,...)的晶体基板2的主表面上, 如图2和图3所示),SAW器件1具有:用于激励停止带的上限模式的瑞利波(波长λ)的IDT 3; 以及在IDT3的电极指之间凹陷的电极指间沟8。由于IDT 3的线占有率η和电极间指状槽8的深度G相对于波长满足预定关系 λ,SAW器件1具有由在工作温度范围内具有最大值和最小值之间的拐点的三次曲线表示的频率温度特性,并且还可以通过以下方式将其之间的拐点调整到期望温度或期望温度范围 在工作温度范围内的IDT 3的线路占有率η。 版权所有(C)2012,JPO&INPIT
    • 8. 发明专利
    • 弾性波デバイス
    • 弹性波装置
    • JP2016119569A
    • 2016-06-30
    • JP2014258017
    • 2014-12-19
    • 太陽誘電株式会社
    • 中村 健太郎堤 潤佐藤 良夫田中 旅人松田 隆志
    • H03H9/25H03H9/64H03H9/145
    • H03H9/14547H03H9/059H03H9/1452H03H9/14561H03H9/14564H03H9/1457H03H9/14594H03H9/64H03H9/6483
    • 【課題】不要波を抑制すること。 【解決手段】圧電基板18と、前記圧電基板上に形成され、電極指12を有し、弾性波を励振するIDT10と、を具備し、異方性係数が正であり、前記IDTの電極指が交差する交差領域36は、前記電極指の延伸方向の中央に設けられた中央領域30と、前記延伸方向のエッジに設けられたエッジ領域32と、を有し、前記中央領域と前記エッジ領域との電極指は連続しており、前記エッジ領域の電極指の幅方向のピッチが前記中央領域の電極指の幅方向のピッチより大きくなるように、前記中央領域の電極指に対し前記エッジ領域の電極指は傾斜しており、前記中央領域の電極指の幅方向と前記圧電基板の結晶軸方向とのなす角度は前記エッジ領域の電極指の幅方向と前記結晶軸方向とのなす角度より小さい弾性波デバイス。 【選択図】図7
    • 要解决的问题:提供一种可以抑制不需要的波的弹性波装置。解决方案:弹性波装置具有压电基板18,形成在压电基板上的IDT 10具有电极指12并且激发弹性波。 各向异性系数为正,并且IDT的电极指相交的交叉区域36具有设置在电极指的延伸方向的中心的中心区域30,以及设置在延伸部的边缘的边缘区域32 方向。 中心区域的电极指和边缘区域的电极指彼此连续,并且边缘区域的电极指相对于中心区域的电极指倾斜,使得在宽度方向上的间距 边缘区域的电极指大于中心区域的电极指的宽度方向的间距。 中心区域的电极指的宽度方向与压电基板的晶体取向之间的交叉角度小于边缘区域的电极指的宽度方向与晶体取向之间的交叉角度。图示:图 7
    • 10. 发明专利
    • Surface acoustic wave resonator, surface acoustic wave oscillator and electronic apparatus
    • 表面声波谐波器,表面声波振荡器和电子设备
    • JP2013138495A
    • 2013-07-11
    • JP2013034978
    • 2013-02-25
    • Seiko Epson Corpセイコーエプソン株式会社
    • YAMANAKA KUNIHITO
    • H03H9/145H03B5/30H03H9/25
    • H03H9/25H03B5/326H03H9/02551H03H9/0296H03H9/02992H03H9/14538H03H9/14594
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface acoustic wave resonator capable of realizing excellent frequency temperature characteristics.SOLUTION: A crystal substrate 30 having an Euler angle (-1°≤φ≤1°, 117°≤θ≤142° and 42.79°≤|ψ|≤49.57°) is used, and an SAW resonator 10 has IDTs 12 for exciting an SAW in a stop band upper end mode and grooves 32 formed by recessing the crystal substrate 30 positioned among electrode fingers 18a and 18b constituting the IDTs 12. When a wave length of the SAW is represented by λ and each depth of the grooves 32 is represented by G, λ and G satisfy an expression of 0.01λ≤G. Further, when a line occupancy rate of the IDTs 12 is represented by η, each depth of the grooves 32 G and the line occupancy rate η satisfy an expression of -2.0000×G/λ+0.7200≤η≤-2.5000×G/λ+0.7775, where λ, G and η satisfy the following expressions: 0.0100λ≤G≤0.0500λ-3.5898×G/λ+0.7995≤η≤-2.5000×G/λ+0.7775 and 0.0500λ
    • 要解决的问题:提供一种能够实现优异的频率温度特性的表面声波谐振器。解决方案:具有欧拉角(-1°≤&phgr;≤1°,117°≤& t;≤142°和 42.79°≤|ψ|≤49.57°),SAW谐振器10具有用于激励阻带上端模式的SAW的IDT12以及构成电极指18a和18b之间的晶体基板30的凹陷形成的沟槽32 IDT 12.当SAW的波长由λ表示,沟槽32的每个深度由G表示时,λ和G满足0.01λ≤G的表达式。 此外,当IDT12的线占有率由&eegr表示时,槽32G的每个深度和线占有率&eegr; 满足-2.0000×G /λ+0.7200≤&eegr≤-2.5000×G /λ+ 0.7775的表达式,其中λ,G和&eegr; 满足以下表达式:0.0100λ≤G≤0.0500λ-3.5898×G /λ+0.7995≤&eegr≤-2.5000×G /λ+ 0.7775和0.0500λ