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1. 发明专利

JP2018032861A 陰極構成体、電子銃、及びこのような電子銃を有するリソグラフィシステム审中-公开
公开(公告)号：JP2018032861A
公开(公告)日：2018-03-01
申请号：JP2017171156
申请日：2017-09-06
申请人：マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ.
发明人：ローラ・ディヌ−グールトレル , エリック・ペトルス・ホガーボルスト
IPC分类号： G03F7/20 , H01J37/06 , H01J1/28 , H01J1/20 , H01J3/18 , H01J37/305 , H01L21/027
CPC分类号： H01J37/3174 , G03F7/70058 , H01J1/15 , H01J1/28 , H01J3/027 , H01J3/029 , H01J37/075 , H01J37/3177 , H01J2229/481 , H01J2237/061
摘要：【課題】より長期間、改善された寿命にわたって良好な性能を有する電子ビームリソグラフィ用の電子銃熱電子陰極を提供する。【解決手段】電子を放出するための放出表面32が設けられた放出部分30と、加熱されたとき放出部分に向かって拡散して放出表面から第1の蒸発速度で発せられる仕事関数低下粒子70を放出する材料を保持するためのリザーバー38とを有する熱電子陰極と、陰極の放出表面から放出された電子を集束させるための集束表面を有する集束電極40と、集束表面上の仕事関数低下粒子の蓄積が防止される温度に集束表面を保つように構成された調整可能な熱源50とを具備する陰極構成体20を設ける。【選択図】図1a

2. 发明专利

JP2017501553A 陰極構成体、電子銃、及びこのような電子銃を有するリソグラフィシステム审中-公开
标题翻译：具有阴极结构，电子枪，和这样的电子枪光刻系统
公开(公告)号：JP2017501553A
公开(公告)日：2017-01-12
申请号：JP2016544160
申请日：2014-12-22
申请人：マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ.
发明人：ディヌ−グールトレル、ローラ , ホガーボルスト、エリック・ペトルス
IPC分类号： H01J3/02 , H01J37/06 , H01L21/027
CPC分类号： H01J37/3174 , G03F7/70058 , H01J1/15 , H01J1/28 , H01J3/027 , H01J3/029 , H01J37/075 , H01J37/3177 , H01J2229/481 , H01J2237/061
摘要：本発明は、長手方向(Z)に電子を放出するための、放出周縁(35)で境界が定められた放出表面(32)を収容している陰極本体(22)と、横断方向(X、Y)に陰極本体を少なくとも部分的に囲み、放出表面によって放出された電子を集束させるための、アパーチャ周縁(45)で境界が定められた電子透過アパーチャ(44)を有する集束電極(40)とを具備し、陰極本体は、アライメントされた位置(R0)から最大横断距離(d1)を超えて集束電極内に移動可能に配置され、アパーチャ周縁は、最大横断距離(d1)を超えるオーバーラップ距離(d2)にわたって、放出周縁を超えて放出表面の上に横断方向に延びている陰極構成体(20)に関する。
摘要翻译：本发明中，为了以发射在纵向方向上的电子（Z），阴极体（22）容纳通过释放轮辋（35），沿横向方向限定的释放表面（32）（X，至少部分地包围阴极体Y），用于聚焦由所述发光面发射的电子，并且通过所述孔边缘界定的具有聚焦电极的电子传输孔（45）（44）（40）包括阴极体可移动地设置在所述对准位置（R0）最大横向距离（D1）超出从孔周边的聚焦电极是重叠距离超过最大横向距离（d1）的在（D2），该阴极结构在发射表面超出放电轮缘约（20）横向延伸。

3. 发明专利

JP2017502469A 陰極構成体、電子銃、及びこのような電子銃を有するリソグラフィシステム有权
标题翻译：具有阴极结构，电子枪，和这样的电子枪光刻系统
公开(公告)号：JP2017502469A
公开(公告)日：2017-01-19
申请号：JP2016544063
申请日：2014-12-22
申请人：マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ.
发明人：ディヌ−グールトレル、ローラ , ホガーボルスト、エリック・ペトルス
IPC分类号： H01J37/06 , G03F7/20 , H01J1/20 , H01J1/28 , H01J37/305 , H01L21/027
CPC分类号： H01J37/3174 , G03F7/70058 , H01J1/15 , H01J1/28 , H01J3/027 , H01J3/029 , H01J37/075 , H01J37/3177 , H01J2229/481 , H01J2237/061
摘要：本発明は、電子を放出するための放出表面が設けられた放出部分と、加熱されたとき、放出部分に向かって拡散して放出表面から第1の蒸発速度(Φc)で発せられる仕事関数低下粒子を放出する材料を保持するためのリザーバーとを有する熱電子陰極と、陰極の放出表面から放出された電子を集束させるための集束表面を有する集束電極と、集束表面上の仕事関数低下粒子の蓄積が防止される温度に集束表面を保つように構成された調整可能な熱源とを具備する陰極構成体に関する。
摘要翻译：本发明包括被设置用于当被加热时，功函数在从排出表面的第一蒸发速率降低发射到朝向释放部分扩散发射电子发射表面的释放部分（.PHI.c）具有用于保持发射的粒子，其具有用于聚焦从阴极的发射表面发射的电子的聚焦表面的聚焦电极的材料的贮存器中的热离子阴极，功函数的聚焦表面上降低颗粒包括被配置为保持存储的聚焦表面温度可调节的热源防止阴极结构涉及。

4. 发明专利

JP2005322520A Cathode-ray tube 审中-公开
标题翻译：阴极射线管
公开(公告)号：JP2005322520A
公开(公告)日：2005-11-17
申请号：JP2004139981
申请日：2004-05-10
申请人： Matsushita Toshiba Picture Display Co Ltd , 松下東芝映像ディスプレイ株式会社
发明人： KIMIYA JUNICHI
IPC分类号： H01J29/48 , H01J29/50
CPC分类号： H01J29/48 , H01J2229/481 , H01J2229/4824
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electron gun capable of adjusting a wide range of focus states by an electron gun with one kind of structure.
SOLUTION: An electron gun 6 comprises an electron beam forming portion 8 (cathode K, G1 electrode, G2 electrode) for forming an electron beam, and an electron beam focusing portion 9 (G3 electrode, G4 electrode, G5A electrode, G5B electrode, G5C electrode, G6 electrode). The electron beam focusing portion 9 has a first focus adjusting lens for changing divergence angles of electron beams, in the same manner between horizontal direction and perpendicular direction, and a second focus adjusting lens that permits the focus adjustment of the electron beams independently of the first focus adjusting lens. A first focus voltage (Vf1) is impressed on the G3 electrode. A dynamic focus voltage (Vf2+Vd), superimposed by a dynamic voltage (Vd) synchronized with the deflection of a second focus (Vf2), is impressed on the G5C electrode.
COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
摘要翻译：要解决的问题：提供能够通过具有一种结构的电子枪来调节宽范围的聚焦状态的电子枪。解决方案：电子枪6包括用于形成电子束的电子束形成部分8（阴极K，G1电极，G2电极）和电子束聚焦部分9（G3电极，G4电极，G5A电极，G5B 电极，G5C电极，G6电极）。电子束聚焦部分9具有以与水平方向和垂直方向相同的方式改变电子束的发散角的第一焦点调节透镜和允许独立于第一像素的电子束的聚焦调节的第二调焦透镜调焦镜头。在G3电极上施加第一聚焦电压（Vf1）。由与第二焦点（Vf2）的偏转同步的动态电压（Vd）叠加的动态聚焦电压（Vf2 + Vd）施加在G5C电极上。版权所有（C）2006，JPO＆NCIPI

5. 发明专利

JPWO2014007167A1 Ｘ線管有权
标题翻译： X射线管
公开(公告)号：JPWO2014007167A1
公开(公告)日：2016-06-02
申请号：JP2014523715
申请日：2013-06-28
申请人：株式会社東芝 , 東芝電子管デバイス株式会社
发明人：智成石原 , 智成石原 , 直紀赤堀 , 直紀赤堀 , 阿武　秀郎 , 秀郎阿武
IPC分类号： H01J35/06
CPC分类号： H01J35/06 , A61B6/44 , H01J1/16 , H01J1/18 , H01J1/88 , H01J3/06 , H01J3/18 , H01J19/10 , H01J19/42 , H01J23/04 , H01J23/083 , H01J29/04 , H01J29/50 , H01J29/62 , H01J35/14 , H01J37/065 , H01J2229/481 , H01J2229/4827 , H01J2229/4831 , H01J2229/50 , H01J2229/582 , H01J2229/5835 , H01J2235/06 , H01J2237/032 , H01J2237/049 , H01J2237/06375 , H01J2893/0005 , H01J2893/005 , H01J2893/0088 , H01J2893/0089 , H01J2893/0094
摘要：焦点寸法可変制御と管電流制御を簡便かつ安定して行うことができるX線管を提供する。フィラメント(11)と、該フィラメント(11)が収められる溝部(16)とを有する陰極(10)を備えたX線管において、前記溝部(16)を、同一平面上に前記フィラメント(11)が位置し、前記溝部(16)の幅方向(db)に前記フィラメント(11)を挟む一対の第1底面(S1)と、前記溝部(16)の長さ方向(da)に前記フィラメント(11)及び前記一対の第1底面(S1)を挟み、前記一対の第1底面(S1)より前記溝部(16)の開口(16a)側に位置している第2底面(S2)とを有するものとした。
摘要翻译：提供一种X射线管，其可以很容易地和稳定地执行聚焦大小可变的控制和管电流控制。灯丝（11），在具有阴极（10）具有槽的灯丝（11）的X射线管容纳（16），所述槽（16），在同一平面内的灯丝（11）位置，并且所述凹槽（16）中的横向方向（分贝）的灯丝（11）的一对第一底表面的夹住（S1），在所述凹槽（16）的纵向方向（DA）的灯丝（11）和夹持所述一对第一底表面（S1）的和具有槽（16）比所述一对第一底表面（S1），其位于（16A）侧上的第二底表面（S2）的一个开口这是。

6. 发明专利

JP2006313748A Condensing lens structure for cathode-ray tube electron gun 审中-公开
标题翻译：阴极管电子枪的透镜结构
公开(公告)号：JP2006313748A
公开(公告)日：2006-11-16
申请号：JP2006124053
申请日：2006-04-27
申请人： Thomson Licensing , トムソンライセンシングThomson Licensing
发明人： LEFORT MICHEL , KLINGUER BRUNO
IPC分类号： H01J29/48
CPC分类号： H01J29/503 , H01J29/62 , H01J2229/481 , H01J2229/5635
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a condensing lens structure for a cathode ray tube electron gun having three parallel beams. SOLUTION: This invention is related to an electron gun of a color cathode-ray tube equipped with two continuous electrodes. The two electrodes have three serial openings, respectively. a tip end of the electrode 150 on which a convergence voltage is impressed has a plate 110 having serial openings 100, 101, 102. The plate is bent so that the openings 100, 102 at side parts locate on a plane different from that of the central opening. The peripheral part 151 of the electrode 150 has an inside peripheral edge part 120 extending along a longitudinal direction Z of which a depth 170 at a side opening area is different from a depth 171 at a central opening area. Two main functions of the condensing lens can control the difference of convergence between side beams and a central beam and the difference of asigmatism of the central beam against that of side beams individually. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种具有三个平行光束的阴极射线管电子枪的聚光透镜结构。解决方案：本发明涉及一种配有两个连续电极的彩色阴极射线管的电子枪。两个电极分别具有三个串联开口。在其上施加有会聚电压的电极150的尖端具有具有串联开口100,101,102的板110.板被弯曲，使得侧部的开口100,102位于不同于中央开放。电极150的周边部分151具有沿着纵向方向Z延伸的内周边部分120，其纵向开口区域的深度170与中心开口区域处的深度171不同。聚光透镜的两个主要功能可以控制侧光束与中心光束之间的会聚差异，以及中央光束的像差与侧光束的差异。版权所有（C）2007，JPO＆INPIT

7. 发明专利

JP6223973B2 X線管有权
公开(公告)号：JP6223973B2
公开(公告)日：2017-11-01
申请号：JP2014523715
申请日：2013-06-28
申请人：東芝電子管デバイス株式会社
发明人：石原智成 , 赤堀直紀 , 阿武秀郎
IPC分类号： H01J35/06
CPC分类号： H01J35/06 , H01J19/10 , H01J19/42 , H01J29/50 , H01J3/06 , H01J35/14 , H01J37/065 , A61B6/44 , H01J1/16 , H01J1/18 , H01J1/88 , H01J2229/481 , H01J2229/4827 , H01J2229/4831 , H01J2229/50 , H01J2229/582 , H01J2229/5835 , H01J2235/06 , H01J2237/032 , H01J2237/049 , H01J2237/06375 , H01J23/04 , H01J23/083 , H01J2893/0005 , H01J2893/005 , H01J2893/0088 , H01J2893/0089 , H01J2893/0094 , H01J29/04 , H01J29/62 , H01J3/18

9. 发明专利

JP2005332675A Color cathode-ray tube device 审中-公开
标题翻译：彩色阴极射线管设备
公开(公告)号：JP2005332675A
公开(公告)日：2005-12-02
申请号：JP2004149580
申请日：2004-05-19
申请人： Matsushita Toshiba Picture Display Co Ltd , 松下東芝映像ディスプレイ株式会社
发明人： UENO HIROBUMI , WADA YASUNORI , TOMOYASU HIROYUKI , MORIMOTO TAIJI , ISHIHARA TOMONARI , TAKEGAWA TSUTOMU , NISHIYAMA KOJI
IPC分类号： H01J29/48 , H01J29/50 , H01J31/20
CPC分类号： H01J29/48 , H01J29/488 , H01J29/503 , H01J31/206 , H01J2229/481 , H01J2229/4817 , H01J2229/4875
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To improve picture quality of a color cathode-ray tube by using electronic beams in which the diameter of spot in horizontal and vertical directions does not become large locally respectively and the diameter of spot in horizontal direction is smaller than that of the conventional electronic beams on the phosphor screen.
SOLUTION: The structure of the color cathode-ray tube device includes a bulb, a phosphor screen, an electronic gun, and a deflector, and a focus electrode 13, a first field correction electrode 15, an anode electrode 14, and a second field correction electrode 16 form an electronic lens in which, by the impression of a focusing voltage on the focus electrode 13 and the first field correction electrode 15, and by the impression of an anode voltage higher than the focusing voltage on the anode electrode 14 and the second field correction electrode 16, the focusing force in vertical direction perpendicular to the horizontal direction is stronger than the focusing force in horizontal direction inside the focus electrode 13, and the dispersing force in the vertical direction is stronger than the dispersing force in the horizontal direction inside the anode electrode 14.
COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
摘要翻译：解决的问题：为了通过使用其中水平和垂直方向上的点的直径不会变得局部不均匀且水平方向上的点的直径变小的电子束来提高彩色阴极射线管的图像质量比在荧光屏上的常规电子束的光束。解决方案：彩色阴极射线管装置的结构包括灯泡，荧光屏，电子枪和偏转器，以及聚焦电极13，第一场校正电极15，阳极电极14和第二场校正电极16形成电子透镜，其中通过聚焦电极13和第一场校正电极15上的聚焦电压的印象，并且通过比阳极电极上的聚焦电压高的阳极电压 14和第二场校正电极16，垂直于水平方向的垂直方向的聚焦力比聚焦电极13内的水平方向的聚焦力强，并且垂直方向的分散力比分散力强阳极14内的水平方向。（C）2006，JPO＆NCIPI

10. 发明专利

JP2004516608A Single-beam tracking type cathode-ray tube 审中-公开
公开(公告)号：JP2004516608A
公开(公告)日：2004-06-03
申请号：JP2002550278
申请日：2001-11-27
申请人：コーニンクレッカフィリップスエレクトロニクスエヌヴィKoninklijke Philips Electronics N.V.
发明人：ハーウィレムセンオスカー , セーファンデルファールトネイス , ペーセーエムクレインマルセリヌス
IPC分类号： H01J29/48 , H01J31/20
CPC分类号： H01J31/20 , H01J2229/481 , H01J2229/4841 , H01J2229/5635 , H01J2231/121
摘要：蛍光体のラインを複数有している表示スクリーンを具えるビームトラッキング型の単一ビームカラーＣＲＴには、分布型主レンズ（ＤＭＬ）式の電子銃が設けられている。この分布型主レンズは、複数の長円形のグリッドを有しており、各グリッドは単一の長円形ビーム通過開口部を有する。これらグリッド及び開口部の長手方向軸線は、蛍光体のラインの方向と交差している。主レンズにより引き起こされる非点収差を補償するための補正手段が設けられている。

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