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1. 发明专利

JP5641772B2 位置決め装置、及びそれを用いたリソグラフィ装置並びにデバイス製造方法有权
标题翻译：定位装置，以及使用该方法的光刻设备和器件制造方法
公开(公告)号：JP5641772B2
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：JP2010103548
申请日：2010-04-28
申请人：キヤノン株式会社
发明人：義範牧田 , 義範牧田
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20 , H01L21/68
CPC分类号： G03F7/70758 , G03F7/70725 , G05B2219/36585 , G05B2219/42173

2. 发明专利

JP2011014876A Positioning device, lithographic apparatus using same, and method of manufacturing device 有权
标题翻译：定位装置，使用其的平台装置和制造装置的方法
公开(公告)号：JP2011014876A
公开(公告)日：2011-01-20
申请号：JP2010103548
申请日：2010-04-28
申请人： Canon Inc , キヤノン株式会社
发明人： MAKITA YOSHINORI
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/68
CPC分类号： G03F7/70758 , G03F7/70725 , G05B2219/36585 , G05B2219/42173
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a positioning device of which the table is lightweight and small, and which has strong brake force without being dependent on control drive functions, such as position control and velocity control, at the time of emergency stop of a table.SOLUTION: The positioning device which positions the table 1 includes: a motor 12 which drives the table 1 in a drive area on a surface table 2; a position detector 3 which detects the position of the table 1; and a control section 30 which controls the motor 12. In the device, the control section 30 has first output sections 7, 8a, 8d which output current for controlling the position of the table 1 based on the output of the position detector 3, second output sections 16a, 16d which output current for giving the thrust toward the center of the drive area to the table 1, and switching sections 10a, 10d which switch from such a state that the motor 12 is controlled according to the output of the first output sections 7, 8a, 8d to such a state that the motor 12 is controlled according to the output of the second output sections 16a, 16d, based on a stop signal for stopping the table 1.
摘要翻译：要解决的问题：为了提供一种桌子重量轻，并且具有强制动力而不依赖于诸如位置控制和速度控制的控制驱动功能的定位装置，在紧急停止桌子时解决方案：定位台1的定位装置包括：在台面2的驱动区域中驱动台1的马达12; 检测台1的位置的位置检测器3; 以及控制电动机12的控制部30.在该装置中，控制部30具有基于位置检测器3的输出输出用于控制台1的位置的电流的第一输出部7,8a，8d，第二输出部分16a，16d，其输出用于向台1提供驱动区域的中心的推力;以及切换部分10a，10d，其根据第一输出的输出从马达12的控制状态切换根据第二输出部分16a，16d的输出，基于用于停止工作台1的停止信号来控制电动机12的状态。

3. 发明专利

JP2017016348A テーブル形式データによる運転を行う数値制御装置有权
标题翻译：用于使用表格式数据执行操作数值控制器
公开(公告)号：JP2017016348A
公开(公告)日：2017-01-19
申请号：JP2015131716
申请日：2015-06-30
申请人：ファナック株式会社
发明人：金丸智
IPC分类号： B23Q15/00 , G05B19/416
CPC分类号： G05B19/195 , G05B19/4063 , G05B2219/33309 , G05B2219/36585
摘要：【課題】テーブル形式データによる運転制御において、事前の加減速に関する計算や指令ブロックの追加無しに、基準値と制御軸の座標とを同期したまま加減速制御を行なう数値制御装置を提供すること。【解決手段】本発明のテーブル形式データによる運転制御を行う数値制御装置は、テーブル形式データから読み出した指令ブロックを解析して制御点の基準値、および座標値を取得して出力する読み出し部と、制御点への移動を加減速区間と速度一定区間とに分割する区間判別部と、速度一定区間における送り速度を算出する送り速度算出部と、加減速区間では加減速するように、また速度一定区間では速度算出部が算出した前記送り速度で、制御軸に対する制御周期毎の移動量を算出する分配処理部と、を備え、送り速度算出部において算出する送り速度で、加減速区間における加減速制御に基づいた基準値に対する座標値の遅れを補正する。【選択図】図3
摘要翻译：通过表格式数据A的操作控制，而无需额外的计算和命令用于预加速和减速块，以提供一个数值控制而减速控制是同步的，其执行与参考值的坐标和控制轴。一种数值控制器通过将本发明的表格式数据来控制操作包括用于将控制点的基准值的读取单元分析从表格数据读出的命令块，并且获取的坐标值输出中，区间判定部分的控制点中的加速和减速段的运动和恒定速度段，用于以恒定速度部分计算的进料速度的进给速度计算部分，以加速或减速的加速和减速的部分，也速度在进料速度的速度计算单元计算出的预定部分，以及用于计算每个控制循环到所述控制轴的移动量的分配处理部，在进料速率来计算进料率计算部，压力在加速和减速段相对于基于所述减速控制的基准值的坐标值的延迟来校正。点域

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