会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 10. 发明专利
    • 半導体パッケージの製造方法
    • 半导体封装制造方法
    • JP2015126121A
    • 2015-07-06
    • JP2013270073
    • 2013-12-26
    • 日東電工株式会社
    • 盛田 浩介石坂 剛石井 淳志賀 豪士飯野 智絵
    • G03F7/38H01L21/56H01L23/12
    • H01L23/5389G03F7/038G03F7/0387H01L21/56H01L24/19H01L24/96H01L24/97H01L21/561H01L21/568H01L2224/04105H01L2224/12105H01L23/12H01L23/3128H01L2924/0002H01L2924/181H01L2924/18162
    • 【課題】バッファーコート膜の感光予定部の周辺が感光することを防止できる半導体パッケージの製造方法を提供する。 【解決手段】支持板11aと支持板11a上に積層された仮固定材11b及び仮固定材11b上に仮固定された半導体チップ14を備えるチップ仮固定体11、並びにチップ仮固定体11上に配置された熱硬化性樹脂シート12を加圧して、半導体チップ14及び半導体チップ14を覆う熱硬化性樹脂シート12を備える封止体51を形成する工程と、封止体を加熱することで熱硬化性樹脂シート12を硬化させて、半導体チップ14及び半導体チップ14を覆う硬化樹脂を備える硬化体52を形成する工程と、硬化体から仮固定材11bを剥離する工程と、硬化体の仮固定材11bと接していた面上に再配線層を形成して、再配線体53を形成する工程とを含む。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种半导体封装,其可以防止缓冲涂层膜的曝光预定部分的周边暴露。解决方案:半导体封装制造方法包括:向芯片临时固定体施加压力的工艺 11,其包括支撑板11a,堆叠在支撑板11a上的临时固定材料11b和临时固定到临时固定材料11b的半导体芯片14以及布置在芯片临时固定体11上的热固性树脂板12, 包含半导体芯片14的封装体51和覆盖半导体芯片14的热固性树脂片12; 通过将包封体从包含半导体芯片14的固化体52和覆盖半导体芯片14的热固性树脂加热而使热固性树脂片12固化的工序; 将临时固定材料11b与固化体分离的工序; 以及在固化体的与临时固定材料11b接触以形成重新接线体53的表面上形成再布线层的工序。