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    • 4. 发明专利
    • 電子デバイス製造装置に用いられるインジケータ、並びにその装置の設計及び/又は管理方法
    • 在电子设备的制造装置中使用的指标,并且该装置的设计和/或管理
    • JPWO2015025699A1
    • 2017-03-02
    • JP2015532792
    • 2014-08-04
    • 株式会社サクラクレパス
    • 和弘 釆山盛作 大城
    • H01L21/66C09D11/00H01L21/3065
    • H01L21/67253C09D11/037C09D11/50G01N21/78G01N21/783H01J37/32935
    • (課題)電子デバイス製造装置内において、簡便にプラズマ、オゾン、紫外線、及びラジカル含有ガスからなる群から選ばれた少なくとも1種の処理が基板全体に対して均一に行われているかどうかを検知することが可能なインジケータ、並びに上記インジケータを用いた装置の設計及び/又は管理方法を提供する。(解決手段)電子デバイス製造装置に用いられるインジケータであって、(1) 前記インジケータは、プラズマ、オゾン、紫外線、及びラジカル含有ガスからなる群から選ばれた少なくとも1種を検知し、(2) 前記インジケータの形状が、前記電子デバイス製造装置で使用される基板の形状と同一であり、(3) 前記インジケータは、変色層を含み、(4) 前記変色層は、プラズマ、オゾン、紫外線、及びラジカル含有ガスからなる群から選ばれた少なくとも1種と反応することにより変色又は消色するインキ組成物によって形成されている、ことを特徴とする、インジケータ。
    • 在电子器件制造装置(挑战),很容易地检测等离子体,臭氧,紫外线,和至少一种治疗选自包含气体自由基组成的组中是否均匀地传导至整个板 这是可能的指标,以及设计和/或使用上述指示器的装置的管理方法。 (溶液)。一种用于在电子装置制造设备中使用的指标,(1)指示感测等离子体,臭氧,紫外线,和至少一种选自含有气体自由基组成的组,(2) 的指标,与在电子设备的制造装置中使用的基板的形状,(3),所述指示器包括颜色变化层的形状,(4)的颜色变化层,等离子体,臭氧,紫外线,和 它是由变色或脱色的油墨组合物通过与至少一种选自含有气体自由基的组中选择,其中,所述指示器反应而形成。
    • 6. 发明专利
    • 時間による色変化表示を伴う器具、インジケータ、方法、およびキット
    • 仪器与由时间的颜色变化显示时,指示器,方法和试剂盒
    • JP2016537441A
    • 2016-12-01
    • JP2016517342
    • 2014-09-24
    • センサー・インターナショナル,エルエルシー
    • ヒーコック,グレゴリー・エル
    • C09K3/00
    • G01N21/78A61B17/3211A61B2090/0807A61B2090/0814G01N21/783G01N31/229
    • 器具、方法、およびキットは、可変色染料を有する2つ以上の使用規定インジケータであって、染料が環境への曝露直後およびその後の所定時間にわたって半透明であるかまたは第1の色を有し、染料が所定時間にわたって前記環境に曝露された後で色を変化させる、2つ以上の使用規定インジケータを備える。二重環境インジケータは、第1の環境への曝露直後に半透明であるかまたは第1の色を有し、第2の環境に曝露された後で色を変化させる第1のインジケータ可変色染料と、第2の環境への曝露直後およびその後の所定時間にわたって半透明であるかまたは第1の色を有し、所定時間にわたって第2の環境に曝露された後で色を変化させる第2のインジケータ可変色染料とを備える。時間曝露インジケータは、逐次的に色を変化させるように配置される、少なくとも1つの可変色染料を備える。【選択図】図1
    • 仪器,方法和试剂盒包括具有可变颜色的染料使用指示器的两个或更多个规则,所述染料具有一种颜色或是第一透光超过立即然后在预定的时间暴露于环境 ,染料改变暴露于环境以进行预定的时间,其包括使用指示器的两个或更多个规则后的颜色。 双重环境指示器暴露于第一环境中,第一指示可变颜色染料在暴露于第二环境之后改变颜色后立即具有或第一色半透明 时,在第二暴露于环境和在未来的预定时间后立即具有或是第一颜色是半透明的,一个第二正被暴露于第二环境的时间在预定时段之后改变颜色 和指示器可变颜色染料。 时间曝光指示器被布置成顺序地改变颜色,其包括至少一个可变的色染料。 点域1