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1. 发明专利

JP6046871B2 スパッタ装置および成膜装置有权
标题翻译：溅射装置和成膜装置
公开(公告)号：JP6046871B2
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：JP2016536796
申请日：2015-07-31
申请人：キヤノンアネルバ株式会社
发明人：廣見太一 , 下川英利 , 市川篤行
IPC分类号： H01L21/203 , C23C14/34
CPC分类号： C23C14/00 , C23C14/34 , C23C14/54 , G01L21/00 , H01L21/203 , H01L21/285

2. 发明专利

JP2016504582A 測定セル構成を用いて真空圧を測定するための方法および装置有权
标题翻译：用于使用测量单元的测量结构的真空压力的方法和装置
公开(公告)号：JP2016504582A
公开(公告)日：2016-02-12
申请号：JP2015548309
申请日：2013-11-20
申请人：インフィコンゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング , インフィコンゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
发明人：ムリス，フェリックス , ビュスト，マルティン
IPC分类号： G01L9/12 , G01L21/00
CPC分类号： G01L9/0072 , G01L9/0045 , G01L9/0075 , G01L9/125 , G01L13/025 , G01L21/00
摘要：発明は、圧力トランスデューサとしてのダイヤフラム(2)を用いて真空圧を測定するための容量性ダイヤフラム圧力測定セル(20)を含有する測定セル構成(100)に関し、測定セル構成は、温度センサとして働く構成要素が熱転送域(13)を介して第1の筐体本体に熱的に接するようにダイヤフラム圧力測定セル(20)に対して位置決めされるプリント回路基板(10)を備える。別の電子部品がマイクロチップ(12)として設計され、マイクロチップは、温度デジタルコンバータ(TDC)およびキャパシタンスデジタルコンバータ(CDC)とともにデジタル信号プロセッサ(DSP)を含有し、デジタル信号プロセッサは時間測定法を用いて動作する。温度デジタルコンバータおよびキャパシタンスデジタルコンバータは、温度についての参照抵抗器(Rref)およびキャパシタンス(Cx)についての参照キャパシタ(Cref)と比較したダイヤフラム圧力測定セル(20)の温度(Tx)およびキャパシタンス(Cx)を確定し、当該抵抗器およびキャパシタはプリント回路基板上に配置される。キャパシタンスは、ダイヤフラム(2)の変形に依存して、測定すべき圧力についての測定値を形成する。温度補正された圧力信号は、相関手段を用いて2つの測定された信号から導出され、当該測定された信号は予め較正プロセスから確定されており、圧力信号は、信号出力(16)において圧力信号p=f(Cx,Teff)として出力されて、さらに処理される。このように、測定精度が高く迅速な圧力測定が可能になる。
摘要翻译：本发明涉及含有一个电容性隔膜压力测量单元，用于测量所述真空压力（20）（2）（100），压力换能器，所述测量单元构造的膜片测量电池装置，作为一个温度传感器部件包括经由所述第一印刷电路板被定位相对于与热到壳体主体（10）接触隔膜压力测量单元（20）的传热区域（13）。另一电子部件被设计成一个微芯片（12），微芯片，具有温度 - 数字转换器（TDC）和含有一个数字信号处理器（DSP），数字信号处理器时间测量的电容 - 数字转换器（CDC）它的工作使用。温度数字转换器和电容 - 数字转换器，所述参考电阻器的温度（Rref的），并与隔膜压力测量单元为（CX）（20）（Tx）和电容参考电容（Cref的）的电容温度（CX）以确认，该电阻器和电容器被布置在印刷电路板上。电容，这取决于膜片（2）的变形，以形成测量值用于待测量的压力。温度补偿压力信号从使用所述相关性的两个测量信号导出装置，所测量的信号是预先确定的，从校准过程的压力信号，在信号输出的压力信号（16） p = F（CX，效应T）是作为进一步的处理输出。因此，允许测量精度高快速压力测量。

3. 发明专利

JP2015129684A 金属セラミック接合体、隔膜真空計、金属とセラミックとの接合方法、および、隔膜真空計の製造方法审中-公开
标题翻译：金属陶瓷接头，真空真空管，金属与陶瓷的接合方法，以及真空吸盘的制造方法
公开(公告)号：JP2015129684A
公开(公告)日：2015-07-16
申请号：JP2014001418
申请日：2014-01-08
申请人：株式会社アルバック
发明人：高橋直樹 , 吉田圭佑
IPC分类号： G01L21/00 , G01L9/00
CPC分类号： G01L21/00 , B32B15/04 , B32B37/06 , B32B37/14 , C04B37/025 , G01L9/00 , G01L9/007 , B32B2307/202 , C04B2237/10 , C04B2237/343 , C04B2237/348 , C04B2237/365 , C04B2237/366 , C04B2237/368 , C04B2237/403 , C04B2237/405 , C04B2237/406 , C04B2237/62 , C04B2237/84
摘要：【課題】接合物にひずみが生じることを抑えられる金属セラミック接合体、隔膜真空計、金属とセラミックとの接合方法、および、隔膜真空計の製造方法を提供する。【解決手段】開口11aが筒端に形成された筒形状を有する基準容器11と、開口11aを塞ぐ板形状を有する隔膜と、釉薬から構成されて隔膜と基準容器11とを接合する接合層21と、基準容器11の外表面を構成して接合層21に覆われる導電層22であって、接合層21よりも電気伝導率が高い導電層22とを有する。さらに、基準容器11の表面のうち隔膜から離れた部位に位置する端子層23であって、隔膜と端子層23との間に接合層21が位置し、隔膜と端子層23との間の電圧を接合層21に印加できる端子層23と、を備える。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供能够抑制接头材料，隔膜真空计，金属对陶瓷的接合方法以及隔膜真空计的制造方法的变形的金属陶瓷接头。解决方案：金属陶瓷接头包括：具有在其气缸端具有开口11a的圆柱形的参考容器11; 具有阻挡开口11a的板状的隔膜; 由釉料制成的接合层21将隔膜连接到参考容器11; 并且形成参考容器11的外表面的导电层22被接合层21覆盖，并且具有比接合层21高的导电性。金属陶瓷接头还包括位于参考容器11的与隔膜分离的表面的一部分。接合层21位于隔膜和端子层23之间，并且隔膜和端子层23之间的电压可以施加到接合层21。

4. 发明专利

JP2017194305A 真空計状態検出方法およびシステム审中-公开
公开(公告)号：JP2017194305A
公开(公告)日：2017-10-26
申请号：JP2016083458
申请日：2016-04-19
申请人：アズビル株式会社
发明人：添田将 , 石原卓也 , 関根正志 , 栃木偉伸
IPC分类号： G01L21/00
CPC分类号： G01L27/007 , G01L21/00
摘要：【課題】真空計の整備時期がより正確に判断できるようにする。【解決手段】状態判断部123は、計測部122が得た出力と基準となる基準特性とを比較して出力が基準特性以上とされた過大圧印加状態の回数を積算し、回数が設定されている上限値に達したことを判断する。警報出力部125は、状態判断部123が、出力が基準特性以上となった回数が設定されている上限値に達したことの判断により警報を出力する。【選択図】図1

5. 发明专利

JP2017125850A 真空計审中-公开
公开(公告)号：JP2017125850A
公开(公告)日：2017-07-20
申请号：JP2017001298
申请日：2017-01-06
申请人： Q’z株式会社
发明人：北條久男
IPC分类号： G01L9/00 , G01L21/00
CPC分类号： G01L21/10 , G01L9/00 , G01L9/008 , G01L21/00
摘要：【課題】圧電素子の一端の変位を許容し他端の変位を低減することで、正確に圧力測定することができる真空計を提供すること。【解決手段】真空計は、外圧により変位するダイヤフラム40と、軸方向Aの一端に開口部21を有する第1筒状体20と、軸方向で第1筒状体20Aと連結され、第1筒状体22と連結されない側の端部が閉鎖された第2筒状体30と、を含み、ダイヤフラム40により開口部21が封止される気密容器と、軸方向の両端側に可動端部と固定端部とを有し、可動端部がダイヤフラム40と一体で変位するように固定され、気密容器内にて軸方向に沿って配置される圧電素子50と、を有する。第1筒状体20Aは、圧電素子50の固定端部が固定される固定部22Aを一体的に有する。【選択図】図1

6. 发明专利

JP5524055B2 Method for calibrating a measuring cell structure, and a method of operating 有权
公开(公告)号：JP5524055B2
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：JP2010517246
申请日：2008-06-09
申请人：インフィコンゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
发明人：ベルク，クリスティアン , シュトリーツェル，カーステン
IPC分类号： G01L27/00
CPC分类号： G01L27/005 , G01L21/00

7. 发明专利

JP2009524024A Vacuum measuring cell with a diaphragm 有权
公开(公告)号：JP2009524024A
公开(公告)日：2009-06-25
申请号：JP2008550600
申请日：2006-11-23
申请人：インフィコンゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
发明人：ビュスト，マーティン
IPC分类号： G01L9/12 , G01L9/00 , G01L19/06
CPC分类号： G01L19/0636 , G01L9/0047 , G01L9/0075 , G01L21/00
摘要：本発明は、２つの平坦なハウジング部分（１，４）の間に配置されたダイヤフラム（２，４１）を備え、第１のハウジング部分（１）は基準真空室（１０）を形成しており、第２のハウジング部分（４）は測定されるべき媒体と接続するための接続手段（５）を備える測定真空室（９）を形成しており、ダイヤフラムの撓みを測定するための手段が設けられている測定セルに関するものであり、測定されるべき媒体に曝露されるダイヤフラム表面（４１ａ）は構造化された表面として構成されており、それによりダイヤフラムに堆積した測定媒体の材料による応力曲げが大幅に低減されるようになっている。

8. 发明专利

JPWO2016051714A1 ガラスパネルユニット及びその検査方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2016051714A1
公开(公告)日：2017-08-31
申请号：JP2016551513
申请日：2015-09-17
申请人：パナソニックIpマネジメント株式会社
发明人：将石橋 , 将石橋 , 瓜生　英一 , 英一瓜生 , 阿部　裕之 , 裕之阿部 , 長谷川　賢治 , 賢治長谷川
IPC分类号： C03C27/06 , E06B3/677 , G01M3/20
CPC分类号： G01M3/02 , C03C27/06 , G01L21/00 , G01N7/04 , G01N21/783
摘要：ガラスパネルユニット10は、第1ガラスパネル20と、第2ガラスパネル30と、シール40と、真空空間50と、ガス吸着体60と、を備える。シール40は、第1ガラスパネル20と第2ガラスパネル30とを枠状に気密に接合する。ガス吸着体60は、真空空間50内に配置される。ガス吸着体60は、ゲッタを有する。ガス吸着体60は、第1ガラスパネル20及び第2ガラスパネル30のうちの少なくとも一方を通して視認可能である。ガス吸着体60は、ガスを吸着することにより色が変化する。

9. 发明专利

JP4989659B2 Vacuum measuring cell with a diaphragm 有权
公开(公告)号：JP4989659B2
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：JP2008550600
申请日：2006-11-23
申请人：インフィコンゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
发明人：ビュスト，マーティン
IPC分类号： G01L9/12 , G01L9/00 , G01L19/06
CPC分类号： G01L19/0636 , G01L9/0047 , G01L9/0075 , G01L21/00

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