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1. 发明专利

JP2015044697A ガラス基板生産管理システム及びガラス基板生産管理方法有权
标题翻译：玻璃基板生产管理系统和玻璃基板生产管理方法
公开(公告)号：JP2015044697A
公开(公告)日：2015-03-12
申请号：JP2013175391
申请日：2013-08-27
申请人：日本電気硝子株式会社 , Nippon Electric Glass Co Ltd
发明人： DAITO SHINJI
IPC分类号： C03B33/037 , C03B33/03 , G01N21/958 , G02F1/1333 , G05B19/418
CPC分类号： C03B33/037 , G01N21/8851 , G01N21/958 , G01N2021/8858 , Y02P40/57 , Y02P90/22
摘要：【課題】ガラス基板の欠陥情報を上流側工程から下流側工程に伝達することを不要とし、且つ欠陥の検査を簡略化すると共に、トータル的な損益をも考慮したガラス基板生産管理システムの提供。【解決手段】上流側工程で10枚以上の一ロットの多面採りガラス基板から10枚以上を抜き取られて検査された欠陥データに基づいて、ロット平均欠陥密度を算出する第1検査手段Aと、上流側工程の処理者が受ける利益と下流側工程の処理者が受ける損失とを、1枚の多面採りガラス基板に存在する欠陥の個数を異ならせて複数回に亘る試算結果に基づいて、利益が損失を上回っている場合における1枚の多面採りガラス基板に存在する欠陥の欠陥許容個数を算出する試算手段Bと、一ロットの多面採りガラス基板の全数を検査して1枚の多面採りガラス基板に存在する欠陥の個数を計数する第2検査手段Cと、多面採りガラス基板の良否を判定する良否判定手段Dとを備える。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供一种玻璃基板生产管理系统，无需将玻璃基板缺陷的信息从上游流程转移到下游流程，并简化缺陷检查，同时考虑到总利润和损失。：玻璃基板生产管理系统包括：第一检查装置A，用于基于通过从十个或更多个多窗格玻璃板中抽取和检查十个或更多个多窗格玻璃基板获得的缺陷数据来计算批次平均缺陷密度底物在上游过程中; 试验计算装置B，用于在利用超过损失的多个玻璃基板上允许存在的缺陷数量的情况下，根据在多次运行中执行的估计结果，每个运行中缺陷数量变化，上游流程中运营商收到的利润以及运营商在下游流程中收到的损失; 第二检查装置C，用于检查一批中包含的所有多窗玻璃基板以计数一个多窗玻璃基板中存在的缺陷数; 以及用于确定多面板玻璃基板是否良好的通过/失败确定装置。

2. 发明专利

JP5369643B2 Defect inspection apparatus 有权
公开(公告)号：JP5369643B2
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：JP2008302214
申请日：2008-11-27
申请人：富士通セミコンダクター株式会社
发明人：直弘高橋 , 功本村
IPC分类号： H01L21/66 , G01N21/956
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/9503 , G01N2021/8854 , G01N2021/8858 , G06T7/0004 , G06T2207/30148 , H01L22/12
摘要： A distinguishing size for distinguishing a pseudo defect from a defect caused by a process trouble is stored in a first storage area. Defect data are stored in a second storage area. A processing unit detects a defect on a wafer surface, and stores the defect data in the second storage area. Before a defect detection process is completed for all areas of the wafer surface, a size of a defect detected in a partial area is compared with the distinguishing size stored in the first storage area. If the detected defect has a size equal to or larger than the distinguishing size, an alarm is output through an output unit, whereas if a defect having a size equal to or larger than the distinguishing size is not detected, the defect detection process is executed for the area still not subjected to the defect detection process.

3. 发明专利

JP2010021511A Defect inspection apparatus, defect inspection method, and manufacturing method for semiconductor device 有权
标题翻译：缺陷检查装置，缺陷检查方法和半导体器件的制造方法
公开(公告)号：JP2010021511A
公开(公告)日：2010-01-28
申请号：JP2008302214
申请日：2008-11-27
申请人： Fujitsu Microelectronics Ltd , 富士通マイクロエレクトロニクス株式会社
发明人： TAKAHASHI NAOHIRO , MOTOMURA ISAO
IPC分类号： H01L21/66 , G01N21/956
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/9503 , G01N2021/8854 , G01N2021/8858 , G06T7/0004 , G06T2207/30148 , H01L22/12
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problem wherein distinguishing of defects generated during a process cannot be made from pseudo defects. SOLUTION: A distinguishing size for distinguishing a defect caused by a process trouble from other pseudo defects is stored in a distinguishing size storage area (21). Defect information is stored in a defect information storage area (17). A processing unit detects a defect on a wafer surface, on the basis of image data, and stores the defect information in the defect information storage area. Before a defect detection process is completed for all regions to be subjected to defect detection on the wafer surface, steps are performed which include: (SB3) of comparing the size of a defect detected in a region with the distinguishing size stored in the distinguishing size storage area; (SB5) of allowing an output unit to output an alarm that indicates a fault of an inspection apparatus, when the detected defect has a size equal to or larger than the distinguishing size; and (SB6) of executing the defect detection process for regions which have not been subjected to defect detection processings, when defects having a size equal to or larger than the distinguishing size have not been detected. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：为了解决不能从伪缺陷中区分在处理期间产生的缺陷的问题。解决方案：区分尺寸存储区域（21）中存储用于将由工艺故障引起的缺陷与其他伪缺陷区分开的区别尺寸。缺陷信息存储在缺陷信息存储区域（17）中。处理单元基于图像数据检测晶片表面上的缺陷，并将缺陷信息存储在缺陷信息存储区域中。在对于在晶片表面进行缺陷检测的所有区域完成缺陷检测处理之前，执行步骤，其包括：（SB3）将区域中检测到的缺陷的大小与存储在区别尺寸中的区别大小进行比较储藏区域; （SB5），当检测到的缺陷具有等于或大于所述识别尺寸的尺寸时，允许输出单元输出指示检查装置的故障的报警; 和（SB6）对于没有进行缺陷检测处理的区域执行缺陷检测处理时，当没有检测到具有等于或大于识别尺寸的尺寸的缺陷时。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

4. 发明专利

JP2018087484A ひび割れ解析装置、ひび割れ解析方法及びひび割れ解析プログラム审中-公开
公开(公告)号：JP2018087484A
公开(公告)日：2018-06-07
申请号：JP2018001520
申请日：2018-01-09
申请人：株式会社東芝 , 東芝インフラシステムズ株式会社
发明人：米川陽子 , 熊倉信行 , 山崎恭彦 , 安波真悟
IPC分类号： G08G1/00 , E01C23/01
CPC分类号： G01N21/8851 , E01C23/01 , G01B11/30 , G01N21/88 , G01N21/95 , G01N2021/8858 , G01N2021/8861
摘要：【課題】ひび割れ解析処理の効率化を図ることができるひび割れ解析装置、ひび割れ解析方法及びひび割れ解析プログラムを提供することである。【解決手段】実施形態のひび割れ解析装置は、撮影画像取得部と、カメラ情報取得部と、ひび割れ検出部と、ひび割れ率算出部とを持つ。撮影画像取得部は、カメラが路面を所定の俯角で撮影することによって得られる撮影画像を取得する。カメラ情報取得部は、前記カメラに関する情報を取得する。ひび割れ検出部は、前記撮影画像に撮影されている背景に基づいて前記撮影画像の位置合わせを行い、前記位置合わせを行った後に、前記撮影画像をオルソ画像に変換する処理と、前記撮影画像を用いて前記路面のひび割れを検出する処理とを行う。ひび割れ率算出部は、前記オルソ画像と、前記路面のひび割れとに基づいて、ひび割れ率を算出する。【選択図】図1

5. 发明专利

JP4153675B2 Evaluation system of material life, and, a method of evaluation 有权
公开(公告)号：JP4153675B2
公开(公告)日：2008-09-24
申请号：JP2001112015
申请日：2001-04-10
申请人：三菱重工業株式会社
发明人：宣哉吉本 , 政司尾崎 , 直人川瀬 , 信太郎熊野 , 宣彦西村
IPC分类号： G01N23/225 , G01N21/88 , G01N21/892 , G06T1/00 , G06T7/00 , G06T7/60
CPC分类号： G06T7/00 , G01N21/88 , G01N2021/8858
摘要： A lifetime evaluating system includes a digitalizing unit, an acquiring unit and a determining unit. The digitalizing unit digitizes an original metallographic image of a mechanical element to form a digital image. The acquiring unit acquires a plurality of labels from the digital image. Here, each of the plurality of labels is a set of pixels with a predetermined property. The determining unit classifies the plurality of labels into a class of voids and a class of non-voids based on evaluation data. A lifetime of the mechanical element is determined based on a number of labels in the void class and a size of each of the labels in the void class.

6. 发明专利

KR102238149B1 KR102238149B1 - Method and system for inspecting growth quality of graphine 有权
公开(公告)号：KR102238149B1
公开(公告)日：2021-04-08
申请号：KR1020200067173A
申请日：2020-06-03
申请人： 한화에어로스페이스 주식회사 , 서울대학교 산학협력단
发明人： 박진성 , 김기범 , 김현미 , 김민식
IPC分类号： G01N21/88 , G01N17/00 , G01N21/84 , G01N21/95 , G06T7/00
CPC分类号： G01N21/8851 , G01N17/00 , G01N21/8422 , G01N21/95 , G06T7/0004 , G01N2021/8858 , G01N2021/8877 , G01N2021/8887
摘要： 동박(銅薄)의 제1층에 그래핀의 제2층이 합성된 결과의 그래핀-합성 동박에 대하여, 제2층의 그래핀의 합성 품질을 검사하는 방법으로서, 단계 (a) 내지 (f)를 포함한다. 단계 (e)에서, 부분 영역의 영상들 각각에 대하여, 전체 면적에 대한 그래핀 결함 면적의 비율을 구한다. 단계 (f)에서, 부분 영역의 영상들 각각에 대하여, 그래핀 결함 면적의 비율이 기준 값보다 낮은지의 여부에 따라 양호 또는 불량을 판정한다. 상기 기준 값은, 그래핀-합성 동박의 표본들에 대한 실험에 의하여 설정되되, 그래핀의 전기적 물성 값이 변하지 않게 하는 그래핀 결함 면적의 비율들 중에서 가장 높은 비율로서 설정된다.

7. 发明专利

JP6094891B2 ガラス基板生産管理システム及びガラス基板生産管理方法有权
公开(公告)号：JP6094891B2
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：JP2013175391
申请日：2013-08-27
申请人：日本電気硝子株式会社
发明人：大東慎司
IPC分类号： G05B19/418 , C03B33/03 , G02F1/1333 , G01N21/958 , C03B33/037
CPC分类号： C03B33/037 , G01N21/8851 , G01N21/958 , G01N2021/8858 , Y02P40/57 , Y02P90/22

8. 发明专利

JP2009109492A Method and system for determining cumulative foreign object characteristics during manufacturing of composite structure 审中-公开
标题翻译：用于确定复合结构制造过程中累积外来物件特性的方法和系统
公开(公告)号：JP2009109492A
公开(公告)日：2009-05-21
申请号：JP2008270661
申请日：2008-10-21
申请人： Boeing Co:The , ザ・ボーイング・カンパニーThe Boeing Company
发明人： ENGELBART ROGER W , HANNEBAUM REED
IPC分类号： G01B11/02 , G01B11/24 , G01N21/94 , G06T1/00
CPC分类号： G01N21/8851 , B29C70/38 , G01N21/94 , G01N21/95 , G01N2021/8472 , G01N2021/8858 , G01N2021/8874 , G06T7/0004 , G06T2207/30164
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and a system for determining cumulative foreign object characteristics during manufacturing of a composite structure.
SOLUTION: Images of sequential segments of the composite structure can be recorded during placement of the composite structure. The recorded images are analyzed for detecting foreign objects on the composite structure. The cumulative foreign object characteristics of the foreign objects detected on the composite structure can be determined, and the cumulative foreign object index can be provided to a user. Thereby, the method and the system for determining the cumulative foreign object characteristics during manufacturing of the composite structure can be provided.
COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

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