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1. 发明专利

KR20210027505A KR20210027505A - Plasma source with lamp house correction 审中-公开
公开(公告)号：KR20210027505A
公开(公告)日：2021-03-10
申请号：KR1020217005916A
申请日：2019-07-29
申请人： 케이엘에이 코포레이션
发明人： 시유 장 , 마크 에스 왕 , 일야 베젤
IPC分类号： H01J61/02 , H01J65/04
CPC分类号： H01J61/025 , G02B27/0025 , G01N21/211 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G02B17/0892 , G03F7/70033 , G03F7/70191 , G03F7/70225 , H01J65/04 , G01N2021/213 , G01N2021/95676
摘要： 램프 하우스 보정을 갖는 플라즈마 광원이 개시된다. 시스템은 펌프 조명을 생성하도록 구성된 펌프 소스를 포함할 수 있다. 펌프 조명은 플라즈마를 생성하기 위해 타원형 반사기 요소에 의해 플라즈마 램프 내에 포함된 체적 가스로 지향될 수 있다. 플라즈마는 광대역 조명을 생성하도록 구성될 수 있다. 시스템은 또한 플라즈마 램프에 의해 도입되는 수차들을 보정하기 위해 펌프 조명을 변경하도록 구성된 보정 플레이트 및/또는 비구면 타원형 반사기 요소를 포함할 수 있다. 시스템은 또한 시스템의 광학 요소들에 의해 도입된 수차들을 보정하기 위해 광대역 조명을 변경하도록 구성된 추가적인 비구면 보정 플레이트를 포함할 수 있다.

2. 发明专利

JP2017156351A 限界寸法の測定审中-公开
公开(公告)号：JP2017156351A
公开(公告)日：2017-09-07
申请号：JP2017078841
申请日：2017-04-12
申请人：ケーエルエー−テンカーコーポレイション
发明人：クリシュナンシャンカー , ワンハイミン
IPC分类号： G01N21/47 , G01N21/21 , G01B11/02 , G01N21/27
CPC分类号： G01N21/55 , G01B11/065 , G01J3/021 , G01J3/0229 , G01J3/42 , G01N21/211 , G01B2210/56 , G01N2021/213 , G01N2021/214 , G01N21/00 , G01N2201/0675
摘要：【課題】基板上で複数波長、複数方位、複数入射角の読み取りを行う分光機器を提供する。【解決手段】当該機器は、照明ビームを発生する広帯域光源104と、照明を、同時に複数の方位角度および複数の入射角度で基板上に向け、それによって反射ビームを発生させる対物レンズ106と、照明開口、および所望の慎重な組み合わせの方位角度および入射角度を有する反射ビームの部分を選択的に通すためにその中に形成される複数の収集開口を有する開口プレート116と、慎重な組み合わせの方位角度および入射角度を受け取って、読み取り値を生成するための検知器と、読み取り値を解釈するためのプロセッサとを有する。【選択図】図1

3. 发明专利

JP2015127708A 試験体の測定または分析のためのシステムおよび方法审中-公开
标题翻译：用于测量或分析样本的系统和方法
公开(公告)号：JP2015127708A
公开(公告)日：2015-07-09
申请号：JP2015015310
申请日：2015-01-29
申请人：ケーエルエー−テンカーコーポレイション
发明人：フィールデン,ジョン , ジャニック,ゲーリー , リー,シン , ザオ,クイアン , カーアック,トルステン , ヨー,スンチュル , タン,ゼンクアン
IPC分类号： H01L21/66 , G01J4/04 , G01B11/06 , G01N21/21
CPC分类号： G01J3/10 , G01N21/211 , G01N21/55 , G01J3/0286 , G01J3/36 , G01N2021/213 , G01N2021/335 , G01N21/33 , G01N21/9501
摘要：【課題】空気によって少なくとも部分的に吸収される光を使用するよう設計され、かつ、より能率的なパージングシステムを有する、光学ツールのための方法を開発する。【解決手段】試験体の測定のための方法において、該試験体の反射率測定データおよび分光偏光解析データを測定する工程と、該反射率測定データから、該試験体上に形成された窒化酸化物ゲート誘電体の厚さを判定する工程と、該厚さおよび該分光偏光解析データから、窒化酸化物ゲート誘電体の屈折率を判定する工程と、該屈折率から、該窒化酸化物ゲート誘電体の窒素濃度を判定する工程と、を含む。【選択図】図16
摘要翻译：要解决的问题：开发用于光学工具的系统和方法，其被设计为使用至少部分地被空气吸收并且具有更有效的吹扫系统的光。解决方案：测量样品的方法包括：测量反射测量数据和样品的光谱椭偏数据; 从反射测量数据确定在样品上形成的氮化氧化物栅极电介质的厚度; 确定氮化氧化物栅极电介质的厚度和光谱椭圆数据的折射率; 以及从所述折射率确定所述氮化氧化物栅极电介质的氮浓度。

4. 发明专利

JP2015114266A 偏光解析装置有权
标题翻译：极化分析仪
公开(公告)号：JP2015114266A
公开(公告)日：2015-06-22
申请号：JP2013258095
申请日：2013-12-13
申请人：大塚電子株式会社
发明人：杉田一紘 , 山▲崎▼ 雄介 , 大塚陽香
IPC分类号： G01N21/23 , G01J4/04 , G01J3/28 , G01N21/21
CPC分类号： G01N21/211 , G01N2021/213 , G01N2201/0675
摘要：【課題】サンプルの偏光特性を迅速に測定することが可能な偏光解析装置を提供する。【解決手段】本発明の偏光解析装置は、所定の波長領域を有する光を出射する光源2と、光源2から出射された光が透過する偏光子32と、サンプルSからの光が透過する空間位相変調器5と、空間位相変調器5を透過した光が透過する検光子42と、検光子42を透過した光を受光するイメージ分光器6と、を備える。空間位相変調器5は、複屈折材料からなり、光軸と直交する面内の第1の方向の各位置で位相差が互いに異なる。イメージ分光器6は、光軸と直交する面内の第1の方向とは異なる第2の方向に分光する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种可以快速测量样品的偏振特性的偏振分析装置。解决方案：偏振分析装置包括发射具有规定波长范围的光的光源2，透射从光发射的光的偏振器32 源极2，透射来自样品S的光的空间相位调制器5，透射由空间相位调制器5发送的光的分析器42以及接收由分析器42发送的光的图像分析仪6.空间相位调制器5 由双折射材料制成，并且相位差在与光轴正交的平面内沿第一方向在位置之间变化。图像分光仪6在与光轴正交的平面内沿与第一方向不同的第二方向分割光。

8. 发明专利

JP5302631B2 Optical measuring device, program, and measuring method 有权
公开(公告)号：JP5302631B2
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：JP2008287232
申请日：2008-11-08
申请人：株式会社堀場製作所
发明人：ナバトバ−ガバイン，ナタリア , エリックミネ
IPC分类号： G01B11/06
CPC分类号： G01B11/065 , G01B2210/56 , G01N2021/213
摘要： An optical measurement apparatus includes: a storage processing part storing into a storage part a plurality of main reference positions where measurement is to be performed and at least one movement value relative to each main reference position; a main measuring part moving a measurement position to one of the main reference positions stored in the storage part, then irradiating light, and then measuring a change in a state of reflected light; an auxiliary measuring part moving the measurement position to an auxiliary reference position based on the movement value relative to one of the main reference positions stored in the storage part, then irradiating light, and then measuring a change in a state of reflected light; a main calculating part performing analysis and calculating a film thickness or an optical constant; and an auxiliary calculating part performing analysis and calculating a film thickness or an optical constant.

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