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    • 5. 发明专利
    • 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射装置
    • 液体喷射头,制造方法和液体喷射头的液体喷射装置
    • JP2016203569A
    • 2016-12-08
    • JP2015091091
    • 2015-04-28
    • エスアイアイ・プリンテック株式会社
    • 久保田 禅
    • B41J2/16B41J2/14
    • B41J2/14209B41J2/14201B41J2/1609B41J2/162B41J2/1631B41J2/1632B41J2/1635B41J2/1643B41J2/1606B41J2002/14217B41J2002/14491
    • 【課題】配線パターンの簡素化を図るとともに、小型化を図った上で多ノズル化を実現できる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射装置を提供する。 【解決手段】ダミーチャネル52の内側面に形成された個別電極66と、吐出チャネル51の内側面に形成された共通電極62と、アクチュエータプレート45の接続溝55内に形成され、吐出チャネル51を挟んでX方向で対向する個別電極66同士を接続するとともに、FPCが接続される個別パッド67と、アクチュエータプレート45上において、後側に向けて開放された浅溝部61と、浅溝部61内に形成され、浅溝部61内を通して共通電極62及びFPC間を接続する共通パッド64と、アクチュエータプレート45のうち表面45aと後側端面とのなす角部に形成され、共通パッド64と個別パッド67とを分断する分断溝54と、を備えている。 【選択図】図3
    • 阿具有简化布线图案,是提供一种液体喷射头,可实现喷嘴的数目就可以做得较小,制造方法和液体喷射头的液体喷射装置。 和形成在所述虚设通道52,形成在排出通道51的内表面上的公共电极62的内表面上的单独电极66在致动器板45,排放通道51的连接槽55形成 三明治彼此面对与,各个焊盘67 FPC连接到X方向,在致动器板45,连接单独电极66的浅槽部61是向背面侧开放,浅槽61 形成,用于连接公共电极62和通过浅槽部61内的FPC,一个公共焊盘64形成在表面45a和致动器板45的后端表面,并且该公共焊盘64与各个焊盘67之间的角度部 分割槽54用于分割,和一个。 点域
    • 8. 发明专利
    • 液体吐出ヘッドの製造方法
    • 液体排放头制造方法
    • JP2016049673A
    • 2016-04-11
    • JP2014175513
    • 2014-08-29
    • キヤノン株式会社
    • 小寺 泰人鈴木 敏夫
    • B41J2/14B41J2/16
    • B41J2/162B41J2/14233B41J2/1606B41J2/161B41J2/1623B41J2/1628B41J2/1631B41J2/164
    • 【課題】吐出性能の均一性を向上させることが可能な液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。 【解決手段】本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、第1のシリコン層16と第2のシリコン層22との間に酸化シリコン層18を挟んだSOI基板5に、第1のシリコン層16で開口し、酸化シリコン層18を含み、第2のシリコン層22まで達する凹状の孔部17aを形成する工程と、第1のシリコン層16および孔部17aの内周部に第1の保護膜19を形成する工程と、第1の保護膜19に撥水膜21を形成する工程と、撥水膜21の、第1のシリコン層16に対向する部分に支持基板23を貼り付ける工程と、第2のシリコン層22を除去するとともに孔部17aの底部を貫通させる工程と、撥水膜21の、孔部17aの内周部に形成された部分を除去する工程と、撥水膜21から支持基板23を剥離する工程と、を有する。 【選択図】 図2
    • 要解决的问题:提供一种能够提高排出性能的均匀性的液体排出头的制造方法。解决方案:液体排出头的制造方法执行以下步骤:形成在 第一硅层16包括氧化硅层18并到达第二硅层22,SOI衬底5中的氧化硅层18夹在第一硅层16和第二硅层22之间; 在第一硅层16和孔部分17a的内周上形成第一保护膜19的步骤; 在第一保护膜19上形成防水膜21的步骤; 将支撑基板23接合到防水膜21的与第一硅层16相对的部分的步骤; 去除第二硅层22并穿透孔部分17a的底部的步骤; 除去形成在孔部17a的内周上的部分的步骤; 以及从支持基板23剥离防水膜21的步骤