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    • 7. 发明专利
    • インプリント装置、及び物品の製造方法
    • 印刷装置及制造方法
    • JP2015088708A
    • 2015-05-07
    • JP2013228753
    • 2013-11-01
    • キヤノン株式会社
    • 中野 一志
    • B29C59/02H01L21/027
    • G03F7/0002B29C59/02B29C59/026B29C59/16B29L2031/3406B29L2031/3475G03F7/70483
    • 【課題】正確なパターン形成とスループットとの両立に有利なインプリント装置を提供する。 【解決手段】基板上のインプリント材をモールドで成形して前記基板上にパターンを形成するインプリント装置であって、前記成形中に前記モールドを透過しうる透過性ガスと、前記成形中に液化しうる凝縮性ガスとを混合した混合ガスを、前記基板上の前記インプリント材と前記モールドとの間の空間に供給する供給部と、前記インプリント材の種類及び前記基板上に形成すべきパターンの特徴の少なくとも一方に基づいて、前記混合ガスにおける前記透過性ガスと前記凝縮性ガスとの混合比が変更されるように、前記供給部を制御する制御部と、を有することを特徴とするインプリント装置を提供する。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种用于实现精确图案形成和生产量之间的平衡的压印装置。解决方案:提供了一种用于通过使用模具在基板上形成印模材料而在基板上形成图案的压印装置 。 压印装置包括:用于在成形期间提供能够渗透通过模具的可渗透气体的混合气体的供应部件和在成形期间能够变成液体的冷凝气体到基板上的压印材料之间的空间和 模具; 以及控制部,其基于压印材料的种类和图案的特征中的至少一种来形成在基板上,以改变混合气体中混合的可渗透气体和冷凝气体的比例来控制供给部。