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1. 发明专利

JP6266015B2 超高速均一ナノ粒子生成ノズル、生成装置および生成方法有权
公开(公告)号：JP6266015B2
公开(公告)日：2018-01-24
申请号：JP2015549241
申请日：2013-10-25
申请人：ポステックアカデミー‐インダストリーファウンデーション
发明人：イ,ジンウォン , キム,インホ
IPC分类号： C01B32/55 , B05B7/26 , B05B1/02 , H01L21/304 , B08B5/02
CPC分类号： B24C1/003 , B24C5/04

2. 发明专利

JP2016198854A 処理装置审中-公开
标题翻译：加工设备
公开(公告)号：JP2016198854A
公开(公告)日：2016-12-01
申请号：JP2015080861
申请日：2015-04-10
申请人：株式会社東芝
发明人：鷹野正宗
IPC分类号： H01L21/301 , B24C9/00 , B24C1/00
CPC分类号： H01L21/67051 , B24C1/003 , B24C3/22 , B24C3/322 , H01L21/6715
摘要：【課題】金属膜又は樹脂膜を処理する際の形状異常の抑制を可能にする処理装置を提供する。【解決手段】試料を載置可能なステージ10と、ステージを回転させる回転機構14と、試料に物質を噴射する第1のノズル16と、試料の回転中心Cに液体を供給する第2のノズル26とを備える。表面に溝の形成されたシリコン基板Wの裏面から第1のノズルにより二酸化炭素粒子がステージ表面に対して略垂直に噴射され、移動機構18により直線的に相対移動させることで金属膜を除去する。【選択図】図1
摘要翻译：为了提供允许抑制的形状异常处理的金属膜或树脂膜时的处理装置。和样品可放置台10，用于旋转台的旋转机构14，首先，第一喷嘴16，用于在样品中注入物质将液体供应至所述样品的旋转中心C的第二喷嘴和26。通过从硅衬底W的表面具有凹部的后表面的第一喷嘴二氧化碳颗粒是基本上垂直于台表面喷射，与线性通过移动机构18相对移动除去金属膜。点域1

3. 发明专利

JP2016517799A ドライ・アイスの固体微粒子をガス媒体の流れと混合するための装置用のドライ・アイスの固体微粒子を粉砕及び供給するための装置有权
标题翻译：设备，用于干冰的固体颗粒与所述气体介质的流混合研磨和分配有干冰装置固体颗粒
公开(公告)号：JP2016517799A
公开(公告)日：2016-06-20
申请号：JP2016512882
申请日：2013-05-07
申请人：アイシーエスアイシーイークリーニングシステムズエス.アール.オー. , アイシーエスアイシーイークリーニングシステムズエス.アール.オー.
发明人：クビシュ、イヴァン , バカラ、ルドヴィート , ガブリシュ、ペテル
IPC分类号： B02C4/02
CPC分类号： B24C1/003
摘要：動力源7に接続された回転式ローラ1を含むドライ・アイスの固体微粒子を粉砕及び供給するための装置。回転式ローラ1に対して、回転式に構成された支持本体2に偏心して配置された回転式ローラ3が配置され、動力源7に動的に連結するための手段4を具備する。
摘要翻译：一种用于研磨和分配包括连接到电源7的可旋转的辊1干冰的固体颗粒。对旋转辊1，它一直被偏心地布置到所述结构支撑体2旋转辊3被设置成将旋转，包括用于4用于动态地连接到电源7。

4. 发明专利

JP2015505719A プレナムチェンバーを含んでいる、極低温流体のジェットを放出する為の装置审中-公开
标题翻译：它包括一个集气室，装置用于释放低温流体的射流
公开(公告)号：JP2015505719A
公开(公告)日：2015-02-26
申请号：JP2014542911
申请日：2012-10-23
申请人：レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード
发明人：キンター、ジャック , リシャール、フレデリク , トリュショ、シャーレ
IPC分类号： B08B7/00
CPC分类号： F28G1/16 , B24C1/003 , B24C1/086 , F28G1/12 , Y10T137/0396 , Y10T137/8593 , Y10T137/85938
摘要：この発明は、流体供給パイプ(1)を備え極低温流体の1つ又はそれ以上のジェット(6)を放出する為の装置に関係し、流体供給パイプはその下流に配置された1つ又はそれ以上の流体放出ノズル(5)に供給し、流体供給パイプの流体流れ断面が第1直径(d)を有する。この発明に従うと、極低温流体の1つ又はそれ以上のジェットを放出する為の装置はまた、流体供給パイプと流体放出ノズルとの間に配置されパイプ(1)とノズル(5)の両方に流体的に連結されている、少なくとも1つのプレナムチェンバー(4)を備える。個々のプレナムチェンバーの流体流れ断面は、流体供給パイプ(1)の流体流れ断面の第1直径(d)より大きな第2直径(D)を有する。この発明はまた、極低温流体の1つ又はそれ以上のジェットを使用する対応している処理ユニットに関係している。この発明はさらに、この発明の装置を使用した、作業操作を行う為の方法に関係している。【選択図】図2
摘要翻译：本发明涉及一种装置，用于释放低温流体的一个或多个喷射流的步骤包括将流体供给管（1）（6），该流体供给管是一个下游布置或其供给上述流体排出喷嘴（5），该流体供给管的流体流动的横截面具有第一直径（d）。根据本发明，用于释放低温流体的一个或多个喷射装置也设置成两个喷嘴的流体供应管和流体排出喷嘴和配管（1）（5）之间流体连接，包括至少一个增压室（4）。各增压室中的流体流横截面具有流体流横截面（d）的流体供应管的第一直径大的第二直径（D）（1）。本发明还涉及一种相应地具有使用低温流体的一个或多个喷射流的处理单元。本发明还使用本发明的装置涉及用于执行工作操作的方法。 .The

6. 发明专利

JP2014028393A Method of replacing corroded fluid conducting component in device by welding and component obtained thereby 有权
标题翻译：通过焊接更换设备中的腐蚀性流体传导元件的方法及其获得的元件
公开(公告)号：JP2014028393A
公开(公告)日：2014-02-13
申请号：JP2013106970
申请日：2013-05-21
申请人： Ati Properties Inc , エイティーアイ・プロパティーズ・インコーポレーテッド
发明人： RICHARD C SUTHERLIN , HERB BRETT J , RONALD A GRAHAM
IPC分类号： B21C37/06 , B01J19/02 , B23K15/00 , B23K20/00 , B23K20/08 , B23K20/24 , C22C16/00
CPC分类号： B23K15/04 , B01J19/02 , B01J19/2415 , B01J2219/0236 , B01J2219/0277 , B21C23/085 , B21C23/22 , B23K13/01 , B23K15/0006 , B23K20/10 , B23K20/129 , B23K20/233 , B23K31/027 , B23K2203/05 , B23K2203/08 , B23K2203/14 , B23K2203/18 , B24C1/003 , C22F1/183 , C22F1/186 , F16L9/18 , F28F9/18 , F28F11/00 , F28F19/06 , F28F2275/062 , H05B6/10 , Y02P20/142 , Y10T29/4935 , Y10T428/12292 , Y10T428/31808
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a corrosion resistant fluid conducting component, and a method of replacing a fluid conducting component in a device operating under conditions promoting corrosion with the corrosion resistant fluid conducting component.SOLUTION: A corrosion resistant fluid conducting component 10 includes a region 14 (an inner layer) made of a corrosion resistant first material, and a region 17 (an outer layer) made of a second material. The inner layer and the outer layer are joined together by solid state welding. A region on which the replacement component is mounted in the device includes a material substantially identical to the second material. The replacement of the fluid conducting component is performed by securing the outer layer of the corrosion resistant fluid conducting component for replacement to the material of the mounting region by welding. There is provided a method of replacing a fluid conducting component with the corrosion resistant fluid conducting component.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种耐腐蚀流体导电组件，以及一种替代在与耐腐蚀流体导电组件一起促进腐蚀的条件下工作的装置中的流体导电组分的方法。解决方案：耐腐蚀流体导电组件10包括由耐腐蚀的第一材料制成的区域14（内层）和由第二材料制成的区域17（外层）。内层和外层通过固态焊接连接在一起。替换部件安装在装置中的区域包括与第二材料基本相同的材料。流体传导部件的更换是通过焊接将用于更换的耐腐蚀性流体导电部件的外层固定在安装区域的材料上来进行的。提供了一种用耐腐蚀流体传导部件代替流体传导部件的方法。

7. 发明专利

JP2013147352A Dry ice belt washing system for laser cutting device 有权
标题翻译：用于激光切割装置的干冰带洗涤系统
公开(公告)号：JP2013147352A
公开(公告)日：2013-08-01
申请号：JP2013002316
申请日：2013-01-10
申请人： Xerox Corp , ゼロックスコーポレイションXerox Corporation
发明人： FICARRA RICHARD P , MCGRAW THOMAS C , REID GORDON B , BRYL DEREK A
IPC分类号： B65G45/22 , B23K26/42 , B65G45/26
CPC分类号： B24C1/003 , B23K26/38 , B23K26/702 , B23K2203/40 , B23K2203/50 , B65G45/22 , B65G45/26
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a belt washing system for washing a conveyor belt having a conveyance surface.SOLUTION: A belt washing system 10 includes a dry ice spraying device 20, and a debris collection sub system 22. The dry ice spraying device 20 includes a delivery system 28 having at least one nozzle 24 arranged adjacent to a conveyor belt 16. Dry ice pellets are released from the nozzle 24 onto a conveyor belt conveyance surface 18, and the dry ice pellets thereby remove debris from the conveyance surface 18. The debris collection sub system 22 includes a collector housing 34 arranged adjacent to the conveyor belt conveyance surface 18. The collector housing 34 traps the debris removed from the conveyor belt conveyance surface 18 and guides the debris in a direction of leaving the conveyor belt 16.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于清洗具有输送表面的输送带的带式洗涤系统。解决方案：带式洗涤系统10包括干冰喷射装置20和碎片收集子系统22.干冰喷射装置20 包括具有邻近输送带16布置的至少一个喷嘴24的输送系统28.干冰颗粒从喷嘴24释放到输送带输送表面18上，并且干冰颗粒从而从输送表面18去除碎屑。碎片收集子系统22包括邻近传送带传送表面18设置的收集器壳体34.收集器壳体34捕获从传送带传送表面18移除的碎屑并沿着离开传送带16的方向引导碎屑。

8. 发明专利

JP2013518177A Method of cleaning coating equipment 审中-公开
公开(公告)号：JP2013518177A
公开(公告)日：2013-05-20
申请号：JP2012549264
申请日：2010-12-22
申请人：エリコン・トレーディング・アクチェンゲゼルシャフト,トリュープバッハOerlikon Trading AG,Truebbach
发明人：ネフ，ペーター
IPC分类号： C23C14/00
CPC分类号： C23C14/564 , B24C1/003 , B24C1/04 , C23C16/4407
摘要：本発明は、コーティング設備の副次面に適用されるべき洗浄法に関する。コーティングの前に、付着防止層（１０）が副次面に塗布される。コーティング材料が付着防止層に付いた後、ドライアイス噴射またはＣＯ
２スノー噴射によって副次面が洗浄される。

9. 发明专利

JP2012527358A Surface treatment apparatus and method according to the injection of the low-temperature fluid 审中-公开
公开(公告)号：JP2012527358A
公开(公告)日：2012-11-08
申请号：JP2012511318
申请日：2010-05-07
申请人：レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード
发明人：クインタール、ジャック , トルショ、シャルル , リシャール、フレデリック
IPC分类号： B26F3/00
CPC分类号： B24C1/003 , B05B13/0421 , B05B15/0425 , B05B15/1222 , B24C3/065 , C04B41/009 , C04B41/53 , C04B41/72 , Y02P70/36 , C04B14/00 , C04B28/02
摘要：本発明は、一つ以上の低温の高圧流体の噴射を用いる加工装置に関し、高圧低温流体の噴射を分配する流体分配ノズル（１１）を含む可動ツール（４）に接続された低温流体の供給源（１）と、可動ツール（４）の周りに配置されて吸引手段（２５）に接続された第１および第２の保護囲いとを含む。当該装置は、ドライガスを第２の囲い（２３）に供給するため、二つの囲い（２０，２３）の間の少なくとも一つのガス保護バリアとして適し、それを作るように設計されたガスシーリング手段（２３）を備える。本発明はまた、高圧低温流体を用いて素材の表面処理、吹付け、またはピーリングのために、同じように行い、そしてそれを使用する方法に関する。
【選択図】図３

10. 发明专利

JP4511197B2 Feeder assembly for particle blast system 有权
公开(公告)号：JP4511197B2
公开(公告)日：2010-07-28
申请号：JP2003585933
申请日：2003-04-01
申请人：コールドジェットエルエルシー
发明人：アルフォード、ケヴィン・エス , ドレスマン、リチャード , ブルーカー、リチャード , マラリー、ダニエル , リヴィエ、マイケル
IPC分类号： B24C7/00 , B24C1/00 , B65G53/46
CPC分类号： B65G53/4633 , B24C1/003 , B24C7/0069 , B65G53/4641

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