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1. 发明专利

JP5735974B2 磁石固定具有权
标题翻译：磁体夹具
公开(公告)号：JP5735974B2
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：JP2012539457
申请日：2010-11-17
申请人：アール・イー・エム・テクノロジーズ・インコーポレーテツド
发明人：スロカ,ゲーリー , エル−サイード,オメル
IPC分类号： B23F19/00 , B23Q3/152 , B23F23/06
CPC分类号： B24B31/06 , B23Q3/15 , B23Q3/152

2. 发明专利

JP5510411B2 Production method of the electrostatic chuck and the electrostatic chuck 有权
公开(公告)号：JP5510411B2
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：JP2011171019
申请日：2011-08-04
申请人： Toto株式会社
发明人：佳津子石川 , 順治米澤 , 利裕青島
IPC分类号： H01L21/683 , B23Q3/15 , H02N13/00
CPC分类号： H02N13/00 , B23Q3/152 , H01L21/6833

3. 发明专利

JP4833696B2 Work centering method and centering device 有权
公开(公告)号：JP4833696B2
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：JP2006067563
申请日：2006-03-13
申请人：日本トムソン株式会社
发明人：尚樹越野
IPC分类号： B23Q3/18 , B23Q1/64 , B23Q3/15
CPC分类号： B23B13/12 , B23B2270/12 , B23Q3/152 , B23Q3/183 , B23Q2230/002 , Y10T279/23 , Y10T279/26 , Y10T279/29

4. 发明专利

JP2007245241A Work centering method and device therefor 有权
标题翻译：工作中心方法及其设备
公开(公告)号：JP2007245241A
公开(公告)日：2007-09-27
申请号：JP2006067563
申请日：2006-03-13
申请人： Nippon Thompson Co Ltd , 日本トムソン株式会社
发明人： ETSUNO NAOKI
IPC分类号： B23Q3/18 , B23Q1/64 , B23Q3/15
CPC分类号： B23B13/12 , B23B2270/12 , B23Q3/152 , B23Q3/183 , B23Q2230/002 , Y10T279/23 , Y10T279/26 , Y10T279/29
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a work centering method and a device therefor, which sets a workpiece quickly and accurately centers it in a magnetic chuck mounted on a spindle. SOLUTION: The work centering device makes centering of the workpiece 9 by abutting thereto working parts 13 provided in two places, the workpiece being sucked fast to the magnetic chuck mounted on the spindle to be driven into rotation. The working parts 13 are supported by a supporting plate 11 rotatable round one fulcrum O, and when the fulcrum O of the supporting plate 11 moves toward the rotational center OG of the magnetic chuck, the parts 13 abut on the workpiece 9 and correct the dislocation of the workpiece 9 while they swing in compliance with the workpiece 9 positioned eccentrically, and the center OW of the workpiece 9 is put in alignment with the rotational center OG of the magnetic chuck. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：为了提供一种工件定心方法及其装置，其将工件快速准确地设置在安装在主轴上的磁性卡盘中。解决方案：工件定心装置通过与设置在两个位置上的工作部件13抵靠而使工件9对中，工件被快速吸入安装在主轴上的磁性卡盘以被驱动旋转。工作部13由可旋转的一个支点O支撑的支撑板11支撑，并且当支撑板11的支点O朝向磁性卡盘的旋转中心OG移动时，部件13抵接在工件9上并且校正位错工件9的中心OW与磁性卡盘的旋转中心OG对准，同时工件9的偏心偏移与工件9一致。版权所有（C）2007，JPO＆INPIT

5. 发明专利

JP6109519B2 磁力を使用して材料に力を印加するための装置有权
公开(公告)号：JP6109519B2
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：JP2012227645
申请日：2012-10-15
申请人：ザ・ボーイング・カンパニー , The Boeing Company
发明人：グラブス, クリストファーヴァーノン
IPC分类号： B65H5/06 , B26D7/08 , A21C3/02 , F16C13/00
CPC分类号： B25B27/0092 , B23Q3/152 , B26B25/005

7. 发明专利

JP2013087950A Apparatus and method utilizing magnetic force to apply force to material 有权
标题翻译：使用磁力应用于材料的装置和方法
公开(公告)号：JP2013087950A
公开(公告)日：2013-05-13
申请号：JP2012227645
申请日：2012-10-15
申请人： Boeing Co:The , ザ・ボーイング・カンパニーThe Boeing Company
发明人： GRUBBS CHRISTOPHER VERNON
IPC分类号： F16C13/00 , A21C3/02 , B26D7/08 , B65H5/06
CPC分类号： B25B27/0092 , B23Q3/152 , B26B25/005
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To apply and compress a force or to cut a material by using a magnetic force with a handle of a roller comprising a magnet.SOLUTION: The apparatus comprises a handle 12, shafts 14 and 16, a magnet 18 and a roller 20. The handle 12 includes holes 26 and 28. The shaft 16 includes a hub 40 and a rod 42. The rod 42 has a circular cross section. The rod 42 is fitted into the hole 28 of the handle 12, penetrates the hub 40 to a hole 44 in the axial direction and holds the hub 40 at a position opposed to a hub 34 and in a suitable location within a U-shaped opening of the handle 12. The roller 20 is formed cylindrical, and a circular cavity 46 is widened between confronted ends 48 and 50 of the roller 20. The magnet 18 is fitted into the circular cavity 46 of the roller 20 in a center part 52 of the cavity 46 between the confronted ends 48 and 50 of the roller 20 and between the confronted hubs 34 and 40 of the shafts 14 and 16.
摘要翻译：要解决的问题：通过使用具有包括磁体的辊的手柄的磁力来施加和压缩力或切割材料。解决方案：该装置包括手柄12，轴14和16，磁体18和辊20.手柄12包括孔26和28.轴16包括轮毂40和杆42.杆42具有圆形截面。杆42装配到手柄12的孔28中，将毂40沿轴向穿透到孔44，并将轮毂40保持在与轮毂34相对的位置，并且位于U形开口内的适当位置辊20形成为圆柱形，并且圆形空腔46在辊20的相对端48和50之间加宽。磁体18在辊20的圆形空腔46中装配到辊20的中心部分52中在辊20的面对端48和50之间以及轴14和16的面对的轮毂34和40之间的空腔46.（C）2013，JPO和INPIT

8. 发明专利

JP4071576B2 Machine Tools 有权
公开(公告)号：JP4071576B2
公开(公告)日：2008-04-02
申请号：JP2002244589
申请日：2002-08-26
申请人：株式会社太陽工機 , 株式会社森精機製作所
发明人：登渡辺
IPC分类号： B23Q17/22 , B23B25/06 , B23Q3/18 , B24B5/00 , B24B5/02 , B24B41/06 , B24B49/10
CPC分类号： B23Q17/2291 , B23Q3/152 , B23Q3/183 , B23Q2230/002 , Y10T409/303864 , Y10T409/306944 , Y10T409/309408 , Y10T409/30952 , Y10T483/14

9. 发明专利

JP6015012B2 静電チャック部材有权
标题翻译：静电卡盘构件
公开(公告)号：JP6015012B2
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：JP2012016943
申请日：2012-01-30
申请人：住友大阪セメント株式会社
发明人：釘本弘訓 , 安藤和人
IPC分类号： H02N13/00 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/6833 , B23Q3/152 , C04B35/44 , C04B35/645 , C04B35/6455 , B82Y15/00 , C04B2235/3224 , C04B2235/3225 , C04B2235/656 , C04B2235/761 , C04B2235/763 , C04B2235/77 , C04B2235/785 , C04B2235/786 , H01L21/6831 , Y10S977/932

10. 发明专利

JP2013542590A Highly conductive electrostatic chuck 有权
公开(公告)号：JP2013542590A
公开(公告)日：2013-11-21
申请号：JP2013528285
申请日：2011-09-08
申请人：インテグリス・インコーポレーテッド , バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド
发明人：スローネン，デイビツド , ストーン，リユドミーラ , ブレイク，ジユリアン , ストーン，デール・ケイ , クツク，リチヤード・エイ , ドンネル，ステイーブン , ベンカトラマン，チヤンドラ
IPC分类号： H01L21/683 , B23Q3/15 , H02N13/00
CPC分类号： H02N13/00 , B23Q3/152 , H01L21/6831 , H01L21/6833
摘要： In accordance with an embodiment of the invention, there is provided an electrostatic chuck comprising a conductive path covering at least a portion of a workpiece-contacting surface of a gas seal ring of the electrostatic chuck, the conductive path comprising at least a portion of an electrical path to ground; and a main field area of a workpiece-contacting surface of the electrostatic chuck comprising a surface resistivity in the range of from about 108 to about 1012 ohms per square.

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