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    • 4. 发明专利
    • For processing a workpiece in vacuum, apparatus having a housing bottom part rotatable relative to the housing
    • JP2012510368A
    • 2012-05-10
    • JP2011537898
    • 2009-11-30
    • グローバル ビーム テクノロジーズ アーゲーGlobal Beam Technologies AG.
    • ヴォクルカ フランツ
    • B23K15/06B23K15/00
    • B23K15/06B23K15/0046H01J37/16H01J37/185H01J37/315
    • 本発明は、真空下でワークピースを加工するための加工装置100に関するものであり、内部空間を有するハウジング1と、ハウジング蓋2と、ハウジング1に対し回転可能にしたハウジング底部6と、ハウジング底部6に連結し、かつハウジング1の内部空間に配置したロータ装置8であって、このロータ装置8内にワークピースを収容するための複数個のチャンバ81を設けた、該ロータ装置8とを備え、ハウジング1および/またはハウジング蓋2に複数個の作業開口4,12,13を形成し、ロータ装置8における複数個のチャンバ8のそれぞれには、少なくとも1つのロータ開口21を設け、これにより、ロータ装置8の回転に基づき円形経路82を規定し、この円形経路82に沿ってロータ開口21が変位する構成とし、作業開口4,12,13を円形経路82に沿って配置する際、それぞれのロータ開口21を、円形経路82に沿う変位時に作業開口4,12,13と合致できるよう構成し、ロータ装置8とハウジング1および/またはハウジング蓋2との間における、それぞれのロータ開口21周りにロータ開口シール部材14を設け、また、少なくとも2種類のロータシール部材を、ロータ装置8とハウジング蓋2および/またはハウジング1との間において、ロータ開口シール部材14と接触する状態で設け、円形経路82に沿う環状空間83,83a,83b,83cを、前記作業開口4,12,13および前記ロータ開口21の位置で区切り、前記環状空間83,83a,83b,83cを画定し、そして部分毎にシールする構成とする。
    • 6. 发明专利
    • Electron beam working machine
    • 电子束工作机
    • JPS61111788A
    • 1986-05-29
    • JP23477384
    • 1984-11-05
    • Mitsubishi Electric Corp
    • MANABE MASARU
    • H01J37/30B23K15/06
    • B23K15/06
    • PURPOSE:To improve the airtightness of a vessel by providing a tubular seal sealed with a fluid of a prescribed pressure, between the periphery of an opening part and a belt, and varying an external form of a seal tube in accordance with a deformation of the belt. CONSTITUTION:Tubular seals 20a, 20b are provided between grooves 1b, 1c and a belt 6, respectively, and also the inside of its tube is sealed with a fluid such as air etc. Pressure control devices 21a, 21b control the fluid in the tube of the seals 20a, 20b to a prescribed pressure through pipelines 22a, 22b, respectively. According to his method, as for the tubular seals 20a, 20b, its outside diameter is varied in accordance with a deformation of the belt 6, and also they adhere closely to a gap to the belt 6, and prevent air from invading the inside of a vessel. Accordingly, the airtightness of the vessel is improved.
    • 目的:通过提供一种用规定压力的流体密封的管状密封件,在开口部分的周边与带之间,以及改变外部形式的密封管,以改变容器的气密性 带。 构成:管状密封件20a,20b分别设置在槽1b,1c和带6之间,并且其管内部也用空气等流体密封等。压力控制装置21a,21b控制管中的流体 的密封件20a,20b分别通过管道22a,22b到达规定的压力。 根据他的方法,对于管状密封件20a,20b,其外径根据带6的变形而变化,并且它们也紧密地粘附到与带6的间隙附近,并且防止空气侵入 一艘船 因此,容器的气密性得到改善。
    • 7. 发明专利
    • Electronic beam welding machine
    • 电子束焊机
    • JPS58187278A
    • 1983-11-01
    • JP7087482
    • 1982-04-27
    • Nec Corp
    • NAKAMURA TSUYOSHIKAWASE YUTAKA
    • B23K15/00B23K15/06
    • B23K15/06
    • PURPOSE:To exactly prevent leakage of X-ray by simple lead lining, and to easily reassemble an evacuating system, by lining the inside of a pipe of a connecting flange part of a duct for connecting an electronic beam welding chamber and a vacuum evacuating device, with a limited quantity of lead having specified length. CONSTITUTION:The inside of a pipe 2 of a flange part being a joint of pipes 1, 2 of a vacuum evacuating duct is lined with lead 10. The pipe 1 has a structure fitted to the lead 10. In this case, when the length of the lead 10 and the thickness of the flange part are denoted as l2 and l1, repsectively, their relation is set as l2=4-5l1. When the quantity of the lead 10 is said extent, the influence of degassing can be disregarded, and leakage of X-rays generated secondarily can be prevented more than conventional cased.
    • 目的:通过简单的铅内衬来精确防止X射线泄漏,并且通过将用于连接电子束焊接室和真空排气装置的管道的连接法兰部分的管道的内部衬里,容易地重新组装排气系统 ,具有指定长度的有限数量的铅。 构成:作为真空排气管的管道1,2的接头的法兰部分的管2的内部排列有引线10.管1具有安装在引线10上的结构。在这种情况下,当长度 的引线10和凸缘部分的厚度表示为l2和l1,代表性地,它们的关系设置为l2 = 4-5l1。 当引线10的数量为所述范围时,可以忽略脱气的影响,并且可以比传统的套管更多地防止产生的二次X射线泄漏。