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    • 1. 发明专利
    • Liquid droplet generation module
    • 液滴产生模块
    • JP2013202555A
    • 2013-10-07
    • JP2012076095
    • 2012-03-29
    • Nitto Denko Corp日東電工株式会社
    • SAOMOTO KENJIROSUGIURA SHINSUKESUGAWARA SHINJINABE ERIKONAKAGAWA MASAO
    • B01F15/02A61B17/12B01F3/08B01F5/00
    • A61B17/1204A61B17/12181A61B2017/00004A61B2017/00526A61B2017/1205B01F3/0807B01F5/0471B01F13/0059B01F15/0264
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid droplet generation module having a flow passage structure capable of forming more liquid droplet generation flow passages and of saving a space.SOLUTION: A liquid droplet generation module 1 includes a base member 2 and a flow passage structure 300. The flow passage structure 300 includes a plurality of liquid droplet generation flow passages 3. In each liquid droplet generation flow passage 3, a liquid dispersing phase material and a liquid continuous phase material are distributed, liquid droplets of the dispersing phase material are generated by shearing force of the continuous phase material, and discharge ports 112, 122 for discharging the generated liquid droplets are installed. Each liquid droplet generation flow passage 3 is formed in the base member 2 so that the direction of each of the discharge ports 112, 122 faces one point P. Since the direction of each discharge port of the plurality of liquid droplet generation flow passages 3 is concentrated on one point, spaces required for the discharge ports 112, 122 can be reduced compared to a case where the direction of each discharge port is dispersed.
    • 要解决的问题:提供一种具有能够形成更多液滴产生流路并具有节省空间的流路结构的液滴产生组件。液滴生成模块1包括基底构件2和流路结构 流路结构300包括多个液滴产生流路3.在每个液滴产生流路3中,分散有液相分散相材料和液体连续相材料,生成分散相材料的液滴 通过连续相材料的剪切力,并且安装用于排出所产生的液滴的排出口112,122。 每个液滴产生流路3形成在基部构件2中,使得排出口112,122的方向面对一个点P.由于多个液滴产生流路3的排出口的方向为 集中在一点上,与每个排​​放口的方向分散的情况相比,可以减少排出口112,122所需的空间。
    • 9. 发明专利
    • Gas distribution system for a plasma etch reactor ceramic showerhead
    • 空值
    • JP2014515561A
    • 2014-06-30
    • JP2014513540
    • 2012-05-16
    • ラム リサーチ コーポレーションLam Research Corporation
    • カン・マイケルパターソン・アレックス
    • H01L21/3065
    • H01J37/3244B01F15/0264C23C16/45561C23C16/45563C23C16/4558H01J37/321H01J37/3211H01J37/32642H01J2237/006H01J2237/334H01L21/30655H01L21/31116H01L21/67069Y10T137/0402Y10T137/85938
    • 【課題】
      【解決手段】セラミックシャワーヘッドのためのガス供給システムが、ガス接続ブロックとガスリングとを備えており、ガス接続ブロックは、ブロックのガス流出口がシャワーヘッドの外周のガス流入口にプロセスガスを供給するように、ガスリングに取り付けられる。 ガスリングは、流路を内部に備えた下部リングと、流路を覆う溶接されたカバープレートとを備える。 ガスリングは、ガスリングの長さの1/2にわたって伸びる第1の流路と、第1の流路の下流端に中点が接続された2つの第2の流路と、第2の流路の下流端に中点が接続された4つの第3の流路とを備えてよい。 カバープレートは、第1の流路を覆う第1の部分と、第1の部分の端部に中点が接続された2つの第2の部分と、第2の部分の端部に中点が接続された第3の部分とを備えてよい。 流路は、プロセスガスがガスリングの1つのガス流入口からカバーリングの8つの流出口まで等しい距離を移動して等しいガス流量を可能にするように構成される。
      【選択図】図8A
    • 用于陶瓷喷头的气体输送系统包括气体连接块和气体环,气体连接块安装在气体环上,使得块中的气体出口将工艺气体输送到喷头外周的气体入口。 气环包括其中具有通道的底环和封闭通道的焊接盖板。 气体环可以包括在气体环的长度上延伸1/2的第一通道,在其中点连接到第一通道的下游端的两个第二通道,以及在其中点处连接到第二通道的下游端的四个第三通道。 盖板可以包括封闭第一通道的第一部分,在其中点处连接到第一部分的端部的两个第二部分,以及在其中点处连接到第二部分的端部的第三部分。 通道布置成使得处理气体相对于气体环中的单个气体入口相等的距离传递到盖环中的八个出口,允许相等的气体流动。