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1. 发明专利

JP2015010030A フッ化炭素、フッ化炭素の製造方法、及びその利用有权
标题翻译：碳氟化物，氟氟化碳的制造方法及其用途
公开(公告)号：JP2015010030A
公开(公告)日：2015-01-19
申请号：JP2013139165
申请日：2013-07-02
申请人：東京応化工業株式会社 , Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
发明人： OGATA HISAYUKI , SUZUKI YASUO , MATSUSHITA ATSUSHI , MITAKE TATSUHIRO
IPC分类号： C01B31/02 , C07C17/00 , C07C19/08 , C07C21/18 , C23C16/30
CPC分类号： C09J7/0228 , C08K5/01 , C08K2201/011 , C09J7/401 , C09J2427/005 , Y10T428/1429 , Y10T428/2982
摘要：【課題】新規な特性を有する新規なフッ化炭素、その製造方法及びその利用を提供する。【解決手段】本発明に係るフッ化炭素は、フッ素と炭素とからなり、累積粒度分布におけるd50が、1.0nm以上、4.0nm以下である。本発明に係るフッ化炭素の製造方法は、本発明に係るフッ化炭素を製造する方法であって、フルオロカーボンガスを用いて誘導結合プラズマを生成することによってラジカルを発生させるプラズマ処理工程を包含する。【選択図】なし
摘要翻译：要解决的问题：提供具有新特性的新的氟化碳，其制备方法及其用途。溶液：提供由氟和碳组成的氟化碳，其中累积颗粒中的（D50）尺寸分布为1.0nm以上且4.0nm以下。提供一种生产氟化碳的方法，其包括使用碳氟化合物气体产生感应耦合等离子体以产生自由基的等离子体处理步骤。

2. 发明专利

JP2011162796A Polymer compound, photoresist composition including the polymer compound, and resist pattern formation method 有权
标题翻译：聚合物化合物，包括聚合物化合物的光电组合物和耐蚀图案形成方法
公开(公告)号：JP2011162796A
公开(公告)日：2011-08-25
申请号：JP2011111661
申请日：2011-05-18
申请人： Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd , 東京応化工業株式会社
发明人： OGATA HISAYUKI , MATSUMARU SHOGO , KINOSHITA YOHEI , HANEDA HIDEO , SHIONO HIROHISA , SHIMIZU HIROAKI , KUBOTA NAOTAKA
IPC分类号： C08F220/10 , G03F7/039
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a polymer compound which can constitute a photoresist composition having an excellent resolution, forming a fine pattern with a good rectangularity, obtaining favorable resist characteristics even when acid strength of an acid generated from an acid generator is weak, and having favorable sensitivity, the photoresist composition using the polymer compound and a resist pattern formation method using the photoresist composition. SOLUTION: The polymer compound having alkali solubility changeable by the action of acid and contains a structural unit (a1) derived from a compound expressed by general formula (2) (in the formula, R 1 expresses a ≤20C aliphatic cyclic group, (n) expresses integers of 0 or 1-5, R 2 expresses hydrogen atom, fluorine atom or a ≤20C lower alkyl group or a ≤20C fluorinated lower alkyl group) and a structural unit (a3) derived from (meth)acrylic ester containing a lactone-containing single ring or polycyclic group. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
摘要翻译：待解决的问题：为了提供可以构成具有优异分辨率的光致抗蚀剂组合物的高分子化合物，形成具有良好矩形性的精细图案，即使当由酸产生剂产生的酸的酸强度为弱，并且具有良好的灵敏度，使用高分子化合物的光致抗蚀剂组合物和使用光致抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案形成方法。解决方案：具有碱溶解性的高分子化合物可以通过酸的作用而变化，并含有由通式（2）表示的化合物（式中，R 1 ）表示的结构单元（a1）表示≤20C脂族环状基团，（n）表示0或1-5的整数，R 2表示氢原子，氟原子或≤20C低级烷基或≤20C氟化低级烷基）和衍生自含有内酯单环或多环基团的（甲基）丙烯酸酯的结构单元（a3）。版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

3. 发明专利

JP2009203450A Adhesive composition and adhesive film 有权
标题翻译：胶粘组合物和粘合膜
公开(公告)号：JP2009203450A
公开(公告)日：2009-09-10
申请号：JP2008106666
申请日：2008-04-16
申请人： Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd , 東京応化工業株式会社
发明人： ASAI TAKAHIRO , MISUMI KOICHI , OGATA HISAYUKI , TAKAHASHI MOTOKI , IMAI HIROFUMI
IPC分类号： C09J133/06 , C09J7/02 , C09J125/04 , C09J133/24
CPC分类号： C09J133/064
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an adhesive composition which can form an adhesive layer having high adhesive strength under a high-temperature environment, particularly at 200°C to 250°C. SOLUTION: The adhesive composition consists mainly of a polymer obtained by copolymerizing a (meth)acrylic acid alkylester composed of a chain structure with a monomer composition containing a monomer having a maleimide group. Thus, the adhesive composition forming an adhesive layer in which adhesive strength at high temperature is kept can be provided. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种粘合剂组合物，其可以在高温环境下，特别是在200℃至250℃下形成具有高粘合强度的粘合剂层。粘合剂组合物主要由通过将由链状结构构成的（甲基）丙烯酸烷基酯与含有具有马来酰亚胺基团的单体的单体组合物共聚得到的聚合物组成。因此，可以提供形成其中保持高温下的粘合强度的粘合剂层的粘合剂组合物。版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

4. 发明专利

JP2015033850A 複合層材料审中-公开
标题翻译：复合层材料
公开(公告)号：JP2015033850A
公开(公告)日：2015-02-19
申请号：JP2014139142
申请日：2014-07-04
申请人：東京応化工業株式会社 , Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd , 株式会社ナノメンブレン , Nanomembrane Technologies Inc
发明人： OGATA HISAYUKI , NOGUCHI TAKUYA , FUJIMURA SATOSHI , FUJIKAWA SHIGENORI
IPC分类号： B32B7/06 , B32B27/38 , C08L63/00 , C08L79/00
摘要：【課題】大型化が容易に可能で、支持フィルム以外の層から短時間で容易に除去することができる支持フィルムを備えた複合層材料を提供する。【解決手段】複合層材料10は、少なくとも二つの層が積層してなり、一方の最外側の層2は、それ以外の層1から除去することができ、かつ自立性を有する支持フィルムである。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种复合层材料，其具有能够容易地扩大并能够在短时间内容易地从支撑膜以外的层除去的支撑膜。解决方案：形成复合层材料10 通过层压至少两层。最外层2是可以从其它层以外的层1除去并具有自立性的支撑膜。

5. 发明专利

JP2015013977A 接着剤組成物及び接着フィルム有权
标题翻译：胶粘组合物和粘合膜
公开(公告)号：JP2015013977A
公开(公告)日：2015-01-22
申请号：JP2013178626
申请日：2013-08-29
申请人：東京応化工業株式会社 , Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
发明人： NOGUCHI TAKUYA , OGATA HISAYUKI , KUBO ATSUSHI , IMAI HIROFUMI , YOSHIOKA TAKAHIRO , SUZUKI YASUO
IPC分类号： C09J125/08 , C09J7/00 , C09J133/00 , C09J153/02 , C09J157/02
摘要：【課題】レジスト溶剤による膨潤及び支持体からの剥れを低減することができる接着剤組成物及び接着フィルムを提供する。【解決手段】接着剤組成物は、主鎖の構成単位としてスチレン単位を含み、当該スチレン単位の含有量が14重量%以上、50重量%以下であるエラストマーと、炭化水素樹脂と、アクリル系樹脂とを含んでいる。【選択図】なし
摘要翻译：要解决的问题：提供一种粘合剂组合物和粘合剂膜，其可以减少由抗蚀剂溶液引起的溶胀和从支撑体剥离。粘合剂组合物包含下述弹性体，烃类树脂和丙烯酸类树脂：弹性体含有作为主链的结构单元的苯乙烯单元，其中苯乙烯单元的含量为14重量％以上且50重量％以下。

6. 发明专利

JP2014013801A Laminated body 有权
标题翻译：层压体
公开(公告)号：JP2014013801A
公开(公告)日：2014-01-23
申请号：JP2012149974
申请日：2012-07-03
申请人： Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd , 東京応化工業株式会社
发明人： YOSHIOKA TAKAHIRO , IMAI HIROFUMI , KUBO ATSUSHI , NOGUCHI TAKUYA , OGATA HISAYUKI
IPC分类号： H01L21/304 , B32B9/00
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce warpage of a laminated body which occurs when the laminated body is heated.SOLUTION: A laminated body 10 is formed by laminating a substrate 1 and a support body 2 supporting the substrate 1. In the laminated body 10, a warpage reducing film 5 for reducing warpage of the laminated body 10, which is caused by heating, is provided on a surface of the support body 2 which is opposite to the side where the substrate 1 is laminated.
摘要翻译：要解决的问题：为了减少层叠体加热时发生的层叠体的翘曲。解决方案：通过层叠基板1和支撑基板1的支撑体2，形成层叠体10.在层叠体10中，在与基板1层叠的一侧相反的支撑体2的表面上设置有用于减少由加热引起的层叠体10的翘曲的翘曲缩小膜5。

7. 发明专利

JP2010132664A New compound, and its production method, and polymer 有权
标题翻译：新化合物及其生产方法和聚合物
公开(公告)号：JP2010132664A
公开(公告)日：2010-06-17
申请号：JP2009298493
申请日：2009-12-28
申请人： Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd , 東京応化工業株式会社
发明人： OGATA HISAYUKI , MATSUMARU SHOGO , SHIONO HIROHISA , HANEDA HIDEO
IPC分类号： C07C309/23 , C07B61/00 , C07C303/28 , C08F20/38 , G03F7/039
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technique related to a resist composition which can improve resolution.
SOLUTION: There are provided a compound represented by general formula (K-1) [wherein, R
3 to R
4 are each independently H or a 1-12C alkyl; R
5 is a 1-5C alkyl or a 1-5C halogenated alkyl; (a) is 1; (t) is 0 or an integer of 1 to 3]; a method for producing the compound comprises reacting tetracyclododecene alcohol with R
5 -SO
2 -Cl (R
5 is a 1-5C alkyl, or a 1-5C halogenated alkyl) in the presence of a base catalyst to obtain the compound represented by general formula (K-1); a polymer containing the compound as constituting units.
COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供可以提高分辨率的与抗蚀剂组合物相关的技术。提供由通式（K-1）表示的化合物[其中，R 3和R 4中的每一个独立地为H或1-12C 烷基; R 5是1-5C烷基或1-5C卤代烷基; （a）为1; （t）为0或1〜3的整数]。一种制备该化合物的方法包括使四环十二碳烯醇与R 5 SP 5 - （R 5）是1-5C烷基或 1-5C卤代烷基），得到通式（K-1）表示的化合物; 含有该化合物作为构成单元的聚合物。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

8. 发明专利

JP2009149819A Adhesive composition and adhesive film 有权
标题翻译：胶粘组合物和粘合膜
公开(公告)号：JP2009149819A
公开(公告)日：2009-07-09
申请号：JP2007330853
申请日：2007-12-21
申请人： Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd , 東京応化工業株式会社
发明人： IMAI HIROFUMI , MISUMI KOICHI , OGATA HISAYUKI , ASAI TAKAHIRO , TAKAHASHI MOTOKI
IPC分类号： C09J201/00 , C09J7/02 , C09J11/08 , H01L21/304
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an adhesive composition from which an adhesive having favorable peeling property (solubility) can be formed even when the adhesive is exposed to a high temperature environment, particularly, to an environment at 200°C or higher. SOLUTION: The adhesive composition comprises at least two kinds of resins having different mass average molecular weights from each other, and includes an adhesive resin having a larger mass average molecular weight and having adhesiveness, and a low molecular weight resin having a smaller mass average molecular weight. The obtained adhesive composition can give an adhesive having favorable peeling property even when the adhesive is exposed to a high temperature environment. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种粘合剂组合物，即使当粘合剂暴露于高温环境，特别是在200℃或更高的环境下，也可以形成具有良好剥离性（溶解性）的粘合剂的粘合剂组合物。粘合剂组合物包含彼此具有不同质量平均分子量的至少两种树脂，并且包括具有较大质均分子量并具有粘合性的粘合剂树脂和具有较小粘合性的低分子量树脂质均分子量。得到的粘合剂组合物即使当粘合剂暴露于高温环境下时，也可以得到具有良好剥离性的粘合剂。版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

9. 发明专利

JP2014037458A Adhesive composition, adhesive film, and adhesion method 审中-公开
标题翻译：胶粘组合物，粘合膜和粘合方法
公开(公告)号：JP2014037458A
公开(公告)日：2014-02-27
申请号：JP2012179310
申请日：2012-08-13
申请人： Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd , 東京応化工業株式会社
发明人： IMAI HIROFUMI , OGATA HISAYUKI , KUBO ATSUSHI , YOSHIOKA TAKAHIRO , NOGUCHI TAKUYA
IPC分类号： C09J125/04 , B32B27/00 , B32B27/30 , C09J153/02
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an adhesive composition, an adhesive film, and an adhesion method in which a wafer and a support medium are easily separated.SOLUTION: An adhesive composition includes a styrene unit as a constitutional unit of a main chain, wherein a content of the styrene unit is at least 10 wt.% and at most 90 wt.%, at least 40 wt.% of an elastomer in which a weight average molecular weight is at least 10,000 and at most 200,000 is included, and an adhesive layer comprising the adhesive composition is swelled by a solvent, thereby adhesiveness of the surface is lowered.
摘要翻译：要解决的问题：提供粘合剂组合物，粘合剂膜和其中晶片和载体介质容易分离的粘合方法。溶液：粘合剂组合物包含作为主链的结构单元的苯乙烯单元，其中苯乙烯单元的含量为包含重均分子量为至少10,000且至多为20万的弹性体的至少10重量％，至多90重量％，至少40重量％，和包含粘合剂组合物的粘合剂层被溶剂溶胀，因此表面的粘附性降低。

10. 发明专利

JP2014034632A Adhesive composition, adhesive film and adhesion method 审中-公开
标题翻译：胶粘组合物，粘合膜和粘合方法
公开(公告)号：JP2014034632A
公开(公告)日：2014-02-24
申请号：JP2012176489
申请日：2012-08-08
申请人： Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd , 東京応化工業株式会社
发明人： KUBO ATSUSHI , TAMURA KOKI , OGATA HISAYUKI , IMAI HIROFUMI , YOSHIOKA TAKAHIRO , NOGUCHI TAKUYA
IPC分类号： C09J153/02 , C09J5/00 , C09J7/02 , C09J191/06
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an adhesive composition from which an adhesive layer having excellent chemical resistance can be formed while maintaining easy sticking property and easy stripping property, and to provide an adhesive film and an adhesion method.SOLUTION: The adhesive composition for adhering a substrate and a support body of the substrate comprises an elastomer containing a styrene unit as a structural unit of the main chain, and wax. Thereby, hydrophobicity of the surface of an adhesive layer formed from the adhesive composition can be increased while maintaining a viscoelastic parameter and adhesiveness.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够形成具有优异的耐化学性的粘合剂层的粘合剂组合物，同时保持容易的粘着性和易剥离性，并提供粘合剂膜和粘合方法。粘合剂组合物基材的基材和支持体包括含有作为主链的结构单元的苯乙烯单元的弹性体和蜡。由此，可以在保持粘弹性参数和粘合性的同时提高由粘合剂组合物形成的粘合剂层的表面的疏水性。

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