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    • 9. 发明专利
    • 静電容量検出装置
    • JP2021076511A
    • 2021-05-20
    • JP2019204468
    • 2019-11-12
    • NISSHA株式会社
    • 森 富士男徳野 勝己渡津 裕次
    • G01L5/00G01L1/14G01L5/16
    • 【課題】従来の静電容量型検出装置は、高精度な圧力分布は測定困難な問題があった。さらに、平面に対して平行な面方向(X軸方向、Y軸方向)の応力、すなわちせん断力の検出はできなかった。 【解決手段】長方形、平行四辺形、楕円などの島状パターンの第一電極をマトリックス状に形成し、その第一電極上に絶縁層を形成し、絶縁層上に交差する複数本の線状パターンからなる上部電極と下部電極の二層からなる第二電極を形成した静電容量検出装置であって、真上から見たとき(平面視)において第一電極の島状パターンの一部と前記上部電極のパターンの一部および前記下部電極のパターンの一部とが、それぞれ重なっているようにしたことを特徴とする静電容量検出装置を提供する。島状パターンの第一電極と下部電極との間の静電容量値および島状パターンの第一電極と上部電極との間の静電容量値を測定して、せん断力を正確に測定できる。 【選択図】図1