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    • 2. 发明专利
    • 真空バルブ
    • 真空阀
    • JP2016211639A
    • 2016-12-15
    • JP2015094808
    • 2015-05-07
    • NECエンジニアリング株式会社
    • 山口 慶太小野寺 浩行児玉 浩三中島 透大野 春彦
    • F16K3/18F16K31/54F16K51/02
    • 【課題】バルブを閉じた状態での気密性が損なわれ難くするとともに、バルブの開閉動作に必要なスペースを抑えることができる真空バルブを提供する。 【解決手段】弁体301は、連通穴301cが形成された開部301aと、連通穴が形成されていない閉部301bと、を有する。支持部材302は、弁体301の左右側方にそれぞれ一以上配置される。支持部材302は、長手方向一端にはピニオンギヤ303が取り付けられ、長手方向他端は弁体301の側面に回動自在に軸支される。ラックギヤ304は、前後方向に延在するギヤ部304aがピニオンギヤ303と噛み合うよう弁体301の左右側方にそれぞれ配置される。駆動部306は、複数のラックギヤ304を、前後方向の一方の位置と前後方向の他方の位置との間で同期して往復直線移動させる。 【選択図】図1
    • A一起使用的气密性在阀的关闭状态下不易受损,提供一种真空阀,其能够抑制阀的所需的空间打开和关闭。 阀体301具有连通孔301c的开口部分301A中形成,其上未形成连通孔的闭合部件301B中,。 支撑构件302被布置为一个在阀主体301的左侧和右侧。 支撑构件302,小齿轮303被安装在一个纵向端,纵向另一端被可旋转地支撑所述阀体301的侧表面上。 齿条304,其延伸在纵向上的齿轮部304A在右侧分别设置左侧和阀体301的两侧,从而与小齿轮303啮合。 驱动单元306中,多个齿条304,同步移动一个位置并且在纵向方向上的另一位置的前后方向之间往复直线。 点域1