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1. 发明专利

JP2015050893A リニアモータ、露光装置、デバイス製造方法、及びコイルユニット审中-公开
标题翻译：线性电动机，曝光装置，装置制造方法和线圈单元
公开(公告)号：JP2015050893A
公开(公告)日：2015-03-16
申请号：JP2013182931
申请日：2013-09-04
申请人：株式会社ニコン , Nikon Corp , Ckd株式会社 , Ckd Corp , Ckd株式会社
发明人： MORIMOTO SHIGE , YOSHIMOTO HIROMITSU , TANAKA KOJI , ITO AKIHIRO , KOKETSU MASAYUKI
IPC分类号： H02K41/03 , H02K9/19
摘要：【課題】簡単な構成で冷却効率の良いリニアモータを提供する。【解決手段】リニアモータのコイルユニット50は、上面が磁石ユニットに対向して配置される恒温プレート66と、恒温プレート66の下面側に設けられ、複数のコイル62を含む上コイル部64と、上コイル部64に対して恒温プレート66とは反対側に設けられ、複数のコイル56を含む下コイル部58と、上コイル部64と下コイル部58との間に設けられ、上コイル部64及び下コイル部58を冷却する冷却プレート60と、を備え、上コイル部64と恒温プレート66との間に形成された空気層82により、上コイル部64と恒温プレート66との間の熱伝達が阻害される。【選択図】図4
摘要翻译：要解决的问题：提供一种以简单的结构实现良好冷却效率的线性电动机。解决方案：线性电动机的线圈单元50包括：恒温板66，其被设置为使得上表面面对磁体单元; 设置在恒温板66的下表面侧并包括多个线圈62的上部线圈部64; 相对于上线圈部64设置在恒温板66的相对侧的下线圈部58，并且包括多个线圈56; 以及设置在上部线圈部64和下部线圈部58之间并冷却上部线圈部64和下部线圈部58的冷却板60.形成在上部线圈部64与恒温板之间的空气层82 66在上部线圈部64和恒温板66之间形成热传递。

2. 发明专利

JP2015050405A 電磁コイルの冷却構造、及び電磁アクチュエータ审中-公开
标题翻译：电磁线圈和电磁致动器的冷却结构
公开(公告)号：JP2015050405A
公开(公告)日：2015-03-16
申请号：JP2013182810
申请日：2013-09-04
申请人： Ckd株式会社 , Ckd Corp , Ckd株式会社 , 株式会社ニコン , Nikon Corp
发明人： ITO AKIHIRO , KOKETSU MASAYUKI , MORIMOTO SHIGE , YOSHIMOTO HIROMITSU , TANAKA KOJI
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20
CPC分类号： H01F7/08 , H01F5/00 , H01F7/06 , H01F27/16 , H02K3/24 , H02K9/19 , H02K9/22 , H02K41/02 , H02K2201/18
摘要：【課題】電磁コイルの軸線方向の端面を冷却する構造において、複数の電磁コイルを並列に任意に配置することを可能とする。【解決手段】第1電磁コイル30の冷却構造は、所定軸線Z方向に延びる空間32が内部に形成された第1電磁コイル30と、第1電磁コイル30の所定軸線Z方向の端面30eに取り付けられ、内部に流体の流路が形成された冷却部材20と、空間52の内部において冷却部材20の流路の入口21及び出口26にそれぞれ接続され、空間32を通じて電磁コイル30の外部まで延びた入口配管22及び出口配管27と、を備える。【選択図】図6
摘要翻译：要解决的问题：为了在电磁线圈的轴向冷却端面的结构中使多个电磁线圈平行地布置。解决方案：第一电磁线圈30的冷却结构包括：第一电磁线圈30，其中形成有沿预定轴向方向Z延伸的空间32; 冷却部件20，其安装在第一电磁线圈30的预定轴向方向Z的端面30e上，并具有形成在其内部的流体的流路; 以及分别连接到空间52内的冷却构件20的流路的入口21和出口26的入口管22和出口管27，并且通过空间32延伸到电磁线圈30的外部。

3. 发明专利

JP2015032693A 電磁コイル、電磁コイルの製造方法、及び電磁アクチュエータ有权
标题翻译：电磁线圈，制造电磁线圈的方法和电磁致动器
公开(公告)号：JP2015032693A
公开(公告)日：2015-02-16
申请号：JP2013161360
申请日：2013-08-02
申请人： Ckd株式会社 , Ckd Corp , Ckd株式会社
发明人： KOKETSU MASAYUKI , ITO AKIHIRO , ITO KAZUHISA , HOSONO TAKASHI , MUTO SADAYOSHI
IPC分类号： H01F5/06 , H01F5/00 , H01F7/14 , H01F41/12
CPC分类号： H01F5/06 , F16K31/0675 , F16K49/00 , H01F5/00 , H01F7/08 , H01F27/08 , H01F41/064 , H01F41/125 , H01J35/14 , H01J2235/087 , H01J2235/1287 , Y10T29/49073 , Y10T137/6416
摘要：【課題】電磁コイルの軸線方向の端面からの放熱性を向上させる。【解決手段】電磁コイルは、所定軸線の周りに複数回巻かれた導体12bにより形成された導体巻体12aと、導体巻体12aにおける所定軸線方向の端面に溶射により形成され、表面が平坦化されているセラミック層12cと、を備える。セラミック層12cの厚さの最大値t12は、所定軸線方向の端面において複数の導体12bにより形成された段差の最大値t11の3倍以下に設定されている。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提高从电磁线圈的轴线方向的端面的散热特性。电磁线圈包括：卷绕导体本体12a，其由围绕预定轴线多次缠绕的导体12b形成 ; 以及通过在卷绕的导体本体12a的预定的轴线方向上的端面上进行热喷涂而形成的具有扁平表面的陶瓷层12c。陶瓷层12c的厚度的最大值t12被设定为由预定轴线方向上的端面上的多个导体12b形成的台阶差的最大值t11的三倍以下。

4. 发明专利

JP2013024702A Position sensor, measuring system, and plane stage 有权
标题翻译：位置传感器，测量系统和平面图
公开(公告)号：JP2013024702A
公开(公告)日：2013-02-04
申请号：JP2011159145
申请日：2011-07-20
申请人： Ckd Corp , Ckd株式会社
发明人： ITO AKIHIRO
IPC分类号： G01B7/00 , G01B7/30
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To measure the displacement of an object to be measured with a simple structure using electrostatic capacitance.SOLUTION: The present invention provides a plane stage having a moving stage that moves relatively in a plane with respect to a fixed section. The plane stage comprises a first sensor that is a position sensor for measuring the position of the moving stage. The first sensor has a fixed electrode section having a first pair of fixed opposite electrodes and a second pair of fixed opposite electrodes that face each other at predetermined intervals and a movable electrode section having first movable electrodes 222 partially inserted between the first pair of fixed opposite electrodes and second movable electrodes 221 partially inserted between the second pair of fixed opposite electrodes. The first pair of fixed opposite electrodes has a first electrostatic capacitance varying depending on an insertion state of the first movable electrodes 222, and the second pair of fixed opposite electrodes has a second electrostatic capacitance varying depending on an insertion state of the second movable electrodes 221.
摘要翻译：要解决的问题：使用静电电容以简单的结构测量待测物体的位移。解决方案：本发明提供了一种具有相对于固定部分相对于平面移动的移动台的平面台。平面台包括作为用于测量移动台的位置的位置传感器的第一传感器。第一传感器具有固定电极部分，其具有第一对固定的相对电极和以预定间隔彼此面对的第二对固定相对电极;以及可移动电极部分，其具有部分地插入在第一对固定相对电极电极和第二可动电极221，其部分地插入在第二对固定的相对电极之间。第一对固定的相对电极具有根据第一可移动电极222的插入状态而变化的第一静电电容，并且第二对固定的相对电极具有根据第二可移动电极221的插入状态而变化的第二静电电容。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

5. 发明专利

JP2013024701A Position sensor, measuring system, and plane stage 有权
标题翻译：位置传感器，测量系统和平面图
公开(公告)号：JP2013024701A
公开(公告)日：2013-02-04
申请号：JP2011159144
申请日：2011-07-20
申请人： Ckd Corp , Ckd株式会社
发明人： ITO AKIHIRO
IPC分类号： G01B7/00 , G01B7/30 , G01D5/241
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To measure the displacement of an object to be measured with a simple structure using electrostatic capacitance.SOLUTION: The present invention provides a position sensor 100 for measuring the position of a moving stage. The position sensor 100 comprises: first movable electrodes 131 partially inserted between a first pair of fixed opposite electrodes 111 and 121; second movable electrodes 132 partially inserted between a second pair of fixed opposite electrodes 112 and 122; and third movable electrodes 133 partially inserted between a third pair of fixed opposite electrodes 113 and 123. The first opposite electrodes are disposed in a position shifted in a first direction with respect to the second opposite electrodes, and the third opposite electrodes are disposed in a position shifted in a second direction with respect to the first opposite electrodes.
摘要翻译：要解决的问题：使用静电电容以简单的结构测量待测物体的位移。解决方案：本发明提供一种用于测量移动台的位置的位置传感器100。位置传感器100包括：部分插入在第一对固定的相对电极111和121之间的第一可动电极131; 部分地插入在第二对固定的相对电极112和122之间的第二可移动电极132; 以及第三可动电极133，其部分地插入在第三对固定的相对电极113和123之间。第一相对电极相对于第二相对电极设置在沿第一方向移动的位置，并且第三相对电极设置在位置相对于第一相对电极在第二方向上移动。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

6. 发明专利

JP2011039035A Thermal flowmeter 有权
标题翻译：热流量计
公开(公告)号：JP2011039035A
公开(公告)日：2011-02-24
申请号：JP2010128122
申请日：2010-06-03
申请人： Ckd Corp , シーケーディ株式会社
发明人： SEKO YOSHITSUGU , NIWA TORU , ITO AKIHIRO , FUJIYOSHI ATSUSHI
IPC分类号： G01F1/684 , G01F1/692
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thermal flowmeter capable of improving a measuring precision of a flow rate of a fluid. SOLUTION: The thermal flowmeter 70 comprises a sensor flow passage S for constructing a heat wire for measuring the flow rate of the fluid to be measured and a bypass flow passage B for the sensor flow passage S has a measuring chip 60 provided with the heat wire and a sensor substrate 78 for mounting the measuring chip 60 and provided with an electric circuit electrically connected to the measuring chip 60. The thermal flowmeter mounts the measuring chip 60 on the sensor substrate 78 by joining resistor electrodes 64, 65, 66, 67, 68, 69 of the measuring chip 60 and circuit electrodes 54, 55, 56, 57, 58, 59 of the sensor substrate 78 with a joint material, and is provided with through-holes in the circuit electrodes 54, 55, 56, 57, 58, 59 of the sensor substrate 78. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够提高流体的流量的测量精度的热式流量计。解决方案：热流量计70包括用于构造用于测量待测流体的流量的热丝的传感器流路S，并且用于传感器流路S的旁通流路B具有设置有测量芯片60的测量芯片60 热线和用于安装测量芯片60并设置有电连接到测量芯片60的电路的传感器基板78.热流量计通过连接电阻器电极64,65,66将测量芯片60安装在传感器基板78上，67,68,69以及具有接头材料的传感器基板78的电路电极54,55,56,57,58,59，并且在电路电极54,55中设置有通孔，传感器基板78的56,57,58,59。版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

7. 发明专利

JP2008281367A Thermal flowmeter 有权
标题翻译：热流量计
公开(公告)号：JP2008281367A
公开(公告)日：2008-11-20
申请号：JP2007123869
申请日：2007-05-08
申请人： Ckd Corp , シーケーディ株式会社
发明人： ITO AKIHIRO , TSUKAHARA MASAHIRO , MATSUOKA YOSHIHIRO , SHIBUYA YUSAKU
IPC分类号： G01F1/684
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thermal flowmeter capable of detecting accurately the flow rate of fluid to be measured even in a wide flow rate range without being large-sized. SOLUTION: This thermal flowmeter 1 equipped with a bypass channel B to a sensor channel S other than the sensor channel S wherein resisters R1, R2 for measuring the flow rate are installed, is provided with an inflow channel 43 for communicating an inflow port 42 with the bypass channel B, an outflow channel 45 for communicating an outflow port 46 with the bypass channel B, a communication channel C for communicating the inflow channel 43 with the outflow channel 44 without the aid of the sensor channel S and the bypass channel B, and a CPU substrate 63 for calculating the flow rate of the fluid to be measured based on output signals from the resisters R1, R2. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供即使在大流量范围内也能够精确地检测待测流体的流量的热式流量计，而不会大型化。解决方案：安装有传感器通道S的除了传感器通道S之外的传感器通道S的热式流量计1，其中安装了用于测量流量的电阻R1，R2，用于连通流入端口42与旁通通道B，用于将流出端口46与旁通通道B连通的流出通道45，用于在没有传感器通道S和旁路的帮助下将流入通道43与流出通道44连通的连通通道C 通道B和CPU基板63，用于根据来自电阻R1，R2的输出信号计算待测流体的流量。版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

8. 发明专利

JP2004325335A Thermal flowmeter 有权
标题翻译：热流量计
公开(公告)号：JP2004325335A
公开(公告)日：2004-11-18
申请号：JP2003122151
申请日：2003-04-25
申请人： Ckd Corp , シーケーディ株式会社
发明人： NOMURA MASAYUKI , ITO KATSUTOSHI , ITO AKIHIRO , SEKO YOSHITSUGU
IPC分类号： G01F1/684
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To form an inexpensive sensor flow passage of high reliability. SOLUTION: In this thermal flowmeter 1 provided with the sensor flow passage S and a main flow passage M, the sensor flow passage S is formed between a measuring chip 11 and a sensor substrate 21 by a weir constituted of a solder 64 and overcoat glasses 62, 63, by mounting, using the solder 64, the measuring chip 11 on the sensor substrate 21 with the weir (of which the bottom face is a substrate texture face 61) formed by the overcoat glasses 62, 63 in substantial parallel to a flowing direction of a measured fluid. COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI
摘要翻译：要解决的问题：形成高可靠性的便宜的传感器流路。解决方案：在具有传感器流路S和主流路M的热式流量计1中，传感器流路S由测量芯片11和传感器基板21之间，由焊料64和大面积眼镜62,63通过使用焊料64将测量芯片11安装在传感器基板21上，其中由外罩玻璃62,63形成的堰（其底面是基板纹理面61）基本平行到测量流体的流动方向。版权所有（C）2005，JPO＆NCIPI

9. 发明专利

JP2002168669A THERMAL FLOWMETER 失效
公开(公告)号：JP2002168669A
公开(公告)日：2002-06-14
申请号：JP2000368801
申请日：2000-12-04
申请人： CKD CORP
发明人： ITO AKIHIRO , KAWAI YOSHIHIKO
IPC分类号： G01F1/692 , G01F1/698
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thermal flowmeter which avoids the use of wire bonding in a connection of a hot wire of a measuring chip to an electrical circuit, by using a sensor as the chip having the hot wire. SOLUTION: A board 21A, in which the measuring chip 11 is mounted, is made to closely contact with a body 41A to form a main channel M and a sensor channel S1 in the body 41A. At the same time, the hot wire for the sensor provided at the chip 11 and the hot wire for a flowing speed sensor are bridged to the channel S1, and a flow rate of a gas to be measured flowing in the body 41A is measured via the electrical circuit of the rear surface of the board 21A. The wire for the temperature sensor and the hot wire for the speed sensor provided in the chip 11 are connected to the electrical circuit of the rear surface of the board 21A, by making the electrode for the wire of the chip 11 adhere to the electrodes for the circuit of the boards 21A.

10. 发明专利

JP2012042437A Thermal type flowmeter and method for manufacturing thermal type flowmeter 有权
标题翻译：热式流量计和制造热式流量计的方法
公开(公告)号：JP2012042437A
公开(公告)日：2012-03-01
申请号：JP2010186570
申请日：2010-08-23
申请人： Ckd Corp , シーケーディ株式会社
发明人： WASHIMI HARUHIKO , SEKO YOSHITSUGU , ITO AKIHIRO
IPC分类号： G01F1/684
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thermal type flowmeter for improving the measurement accuracy of the flow rate of fluid and a method of manufacturing the thermal type flowmeter.SOLUTION: In one embodiment of the invention, the thermal type flowmeter 1 has a sensor chip 50 provided with resistors Ra, Rb, Rh and Rt and electrodes 76 to 86 for resistors and a sensor substrate 12 provided with electrodes 58 to 68 for electric circuit connected to an electric circuit for performing measurement principle using the resistors Ra, Rb, Rh and Rt and an insulation part 70 for securing the electric insulation property of the electric circuit. The insulation part 70 is installed in the periphery of an area where the electrodes 58 to 68 for electric circuit are installed, and the electrodes 76 to 86 for resistors and the electrodes 58 to 68 for electric circuit are electrically connected in such a state that the sensor chip 50 is brought into contact with the insulation part 70 by self-weight.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于提高流体流量的测量精度的热式流量计和制造热式流量计的方法。解决方案：在本发明的一个实施例中，热式流量计1具有设置有电阻器Ra，Rb，Rh和Rt的传感器芯片50和用于电阻器的电极76至86以及设置有电极58至68的传感器基板12 用于使用电阻器Ra，Rb，Rh和Rt进行测量原理的电路连接的电路和用于确保电路的电绝缘性能的绝缘部件70。绝缘部70安装在安装有电路用电极58〜68的区域的周围，电阻用电极76〜86和电路用电极58〜68电连接，传感器芯片50通过自重与绝缘部件70接触。版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

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