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1. 发明专利

JP2015038892A 高スループットＳＥＭツール有权
标题翻译：高通量扫描仪刀具
公开(公告)号：JP2015038892A
公开(公告)日：2015-02-26
申请号：JP2014236819
申请日：2014-11-21
申请人：アプライドマテリアルズイスラエルリミテッド , Applied Materials Israel Ltd , アプライドマテリアルズイスラエルリミテッド
发明人： GILAD ALMOGY , AVISHAI BARTOV , JUERGEN FROSIEN , PAVEL ADAMEC , HELMUT BANZHOF
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/06 , H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/29
CPC分类号： H01J37/05 , H01J37/10 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01J2237/0635 , H01J2237/1508 , H01J2237/2449 , H01J2237/2817
摘要：【課題】ウェハパターンを検査するためにマルチビーム走査式電子ビームデバイスを提供する。【解決手段】マルチビーム走査式電子ビームデバイスを説明する。カラムを有するマルチビーム走査式電子ビームデバイスは、複数の電子ビームを放出するためのマルチビームエミッタと、複数の電子ビームのうちの少なくとも2つのための共通開口を有し、複数の電子ビームのうちの少なくとも2つに共通に作用するように構成される少なくとも1つの共通電子ビーム光学要素と、複数の電子ビームに個別に作用するための少なくとも1つの個別電子ビーム光学要素と、複数の電子ビームのうちの少なくとも2つを集束するための共通励磁を有し、複数の信号ビームを発生させるために試料上に複数の電子ビームを集束するように構成される複数の電子ビームを集束するための共通対物レンズアセンブリと、各信号ビームを対応する検出要素上で個別に検出するための検出アセンブリを含む。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种多光束扫描电子束装置来检查晶片图案。解决方案：描述多光束扫描电子束装置。具有列的多光束扫描电子束装置包括：用于发射多个电子束的多光束发射器; 至少一个共用电子束光学元件具有用于所述多个电子束中的至少两个的公共开口，并且适于共同影响所述多个电子束中的至少两个; 用于单独影响多个电子束的至少一个单独的电子束光学元件; 用于聚焦具有共同激发的多个电子束的公共物镜组件，用于聚焦多个电子束中的至少两个，并适于将多个电子束聚焦到样本上以产生多个信号光束; 以及检测组件，用于单独地检测相应的检测元件上的每个信号光束。

2. 发明专利

JP2013232422A High throughput sem tool 有权
标题翻译：高通量扫描仪刀具
公开(公告)号：JP2013232422A
公开(公告)日：2013-11-14
申请号：JP2013125732
申请日：2013-06-14
申请人： Applied Materials Israel Ltd , アプライドマテリアルズイスラエルリミテッド
发明人： GILAD ALMOGY , AVISHAI BARTOV , JUERGEN FROSIEN , PAVEL ADAMEC , HELMUT BANZHOF
IPC分类号： H01J37/28 , H01L21/66
CPC分类号： H01J37/05 , H01J37/10 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01J2237/0635 , H01J2237/1508 , H01J2237/2449 , H01J2237/2817
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a multi-beam scanning type electron beam device.SOLUTION: A multi-beam scanning type electron beam device having a column comprises: a multi-beam emitter for emitting plural electron beams; at least one common electron beam optical element having a common aperture for at least two of the plural electron beams and constituted to commonly act on at least two of the plural electron beams; at least one individual electron beam optical element for individually acting on the plural electron beams; a common objective lens assembly for converging the plural electron beams having common magnetization for converging at least two of the plural electron beams, and constituted to converge the plural electron beams on a specimen for generating plural signal beams; and a detection assembly for individually detecting each signal beam on a corresponding detection element.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种多光束扫描型电子束装置。解决方案：具有列的多光束扫描型电子束装置包括：用于发射多个电子束的多光束发射器; 至少一个共用电子束光学元件具有用于所述多个电子束中的至少两个的公共孔，并且被构造成共同作用于所述多个电子束中的至少两个; 至少一个单独的电子束光学元件，用于单独地作用在所述多个电子束上; 用于会聚具有用于会聚多个电子束中的至少两个的共同磁化的多个电子束的公共物镜组件，并且被构造成将多个电子束会聚在用于产生多个信号光束的样本上; 以及检测组件，用于单独地检测相应的检测元件上的每个信号光束。

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