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1. 发明专利

JP2016121071A 単結晶引き上げ方法有权
标题翻译：单晶拉拔方法
公开(公告)号：JP2016121071A
公开(公告)日：2016-07-07
申请号：JP2016074864
申请日：2016-04-04
申请人：株式会社SUMCO
发明人：濱田建 , 佐藤智 , 高梨啓一
IPC分类号： C30B15/26
摘要：【課題】チョクラルスキー法による単結晶の引き上げにおいて融液の液面位置を正確に測定する。【解決手段】チョクラルスキー法により引き上げられる単結晶とルツボ12内の原料融液との境界を形成するメニスカス部の画像を撮像し、撮像した画像の輝度分布に基づきメニスカス部に表れるフュージョンリングを検出する際、ルツボ12の周囲に設けられたヒータ15からの光rがメニスカス部に映り込む第1の期間においては、第1の参照値を用いてフュージョンリングを検出し、ヒータ15からの光がメニスカス部に映り込まない第2の期間においては、第1の参照値よりも大きな第2の参照値を用いてフュージョンリングを検出する。【選択図】図4
摘要翻译：要解决的问题：以切克劳斯基法在单晶拉伸中精确测量熔体的液面位置。解决方案：用于形成以切克拉斯基方法拉伸的单晶的边界的弯月面的图像和在摄取坩埚12，并且基于拍摄图像的亮度分布检测出弯月面中出现的融合环。此时，在设置在坩埚12的周围的加热器15的光r被引入弯液面的第一时段中，通过使用第一参考值来检测熔融环，并且通过使用第二个在来自加热器15的光未被引入弯液面的第二周期中，该参考值高于第一参考值。选择的图示：图4

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